一种高低温真空密封探针台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高低温真空密封探针台，包括底座，所述底座的顶端安装有升降组件且升降组件包括空心柱、圆柱块、连接杆和升降气缸，所述探针台左侧端固定连接有支撑板且支撑板的顶端安装有机械部件，所述探针台的顶端开设有密封槽，所述探针台的右侧端固定连接有L型板且L型板的顶端安装有电动转盘，所述电动转盘的顶端安装有电动伸缩杆且电动伸缩杆的顶端固定连接有顶板，所述顶板的底端安装有下开口壳，本实用新型专利技术探针台的高度能进行调节，并且能进行真空密封加工。并且能进行真空密封加工。并且能进行真空密封加工。

【技术实现步骤摘要】
一种高低温真空密封探针台


[0001]本技术涉及探针台，特别涉及一种高低温真空密封探针台。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，本技术涉及一种高低温真空密封探针台。
[0003]专利号：CN109596870A的公布了一种探针台，该设计探针支架可旋转及探针可手动上下调整的设计，取代了三个旋钮的功能。工作人员在使用时，不需要反复调节三个旋钮，手动调整探针对准电极触点即可，由于传感器电极触点尺寸很小，手动调整比旋钮调整更方便准确。此外，利用探针机构自身结构进行导电，并将电路结构集成在第二底座内，统一与外接电源连通，对线路进行了简化和规整。由此可见，本专利技术尺寸小、结构简单，大幅降低制作成本，制造和使用简单方便。
[0004]但是上述专利还存在以下不足：1、上述设计探针台的高度不能进行调节，所以需要进行改进。2、上述设计不能进行真空密封加工，所以需要进行改进。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种高低温真空密封探针台，探针台的高度能进行调节，并且能进行真空密封加工，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种高低温真空密封探针台，包括底座，所述底座的顶端安装有升降组件且升降组件包括空心柱、圆柱块、连接杆和升降气缸，所述探针台左侧端固定连接有支撑板且支撑板的顶端安装有机械部件，所述探针台的顶端开设有密封槽，所述探针台的右侧端固定连接有L型板且L型板的顶端安装有电动转盘，所述电动转盘的顶端安装有电动伸缩杆且电动伸缩杆的顶端固定连接有顶板，所述顶板的底端安装有下开口壳。
[0008]进一步地，所述底座的顶端四周均安装有空心柱且空心柱的内部滑动连接有圆柱块，所述圆柱块的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的顶端安装有探针台，所述探针台的底端与底座的顶端之间安装有升降气缸。
[0009]进一步地，所述升降气缸的动力输出端与探针台的动力输入端相连接，升降气缸带动探针台的上下移动。
[0010]进一步地，所述电动伸缩杆的动力输出端与顶板的动力输入端相连接，电动伸缩杆带动顶板的上下移动。
[0011]进一步地，所述下开口壳的顶端安装有真空抽气泵，真空抽气泵用于将下开口壳中的空气排出，让内部真空。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：通过升降气缸带动探针台的上下移动，探针台带动圆柱块的上下移动，圆柱块顺着空心柱的内部直线移动，圆柱块带动连
接杆的向上移动，需要说明的是圆柱块和空心柱内部横截面相同，四个圆柱块和空心柱能很好的维持探针台的直线移动，能很好的调节探针台的高度，当探针台的高度调节完成后，将需要加工的部件放入探针台中间的加工工位进行加工，然后给电动转盘通入外部电源，打开电动转盘的开关，电动转盘带动电动伸缩杆的转动，从而将下开口壳移动到密封槽的正上方（如图1所示），然后给电动伸缩杆通入内部电源，通过电动伸缩杆的控制器控制电动伸缩杆的收缩，电动伸缩杆带动顶板的向下移动，顶板带动下开口壳的向下移动，下开口壳向下插入密封槽中（密封槽中沾接有橡胶块，能很好贴紧下开口壳的表面，密封性能十分好），然后通过真空抽气泵将下开口壳中的空气排出，即可进行真空密封加工，机械部件为高低温试验箱，能很好的进行高低温加工。
附图说明
[0013]图1为本技术一种高低温真空密封探针台的整体结构示意图；
[0014]图2为本技术一种高低温真空密封探针台中空心柱内部结构示意图。
[0015]图中：1、底座；2、升降组件；201、空心柱；202、圆柱块；203、连接杆；204、升降气缸；3、探针台；4支撑板；5、机械部件；6、密封槽；7、L型板；8、电动转盘；9、电动伸缩杆；10、顶板；11、下开口壳；12、真空抽气泵。
具体实施方式
[0016]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0017]如图1
‑
2所示，一种高低温真空密封探针台，包括底座1，所述底座1的顶端安装有升降组件2且升降组件2包括空心柱201、圆柱块202、连接杆203和升降气缸204，所述探针台3左侧端固定连接有支撑板4且支撑板4的顶端安装有机械部件5，所述探针台3的顶端开设有密封槽6，所述探针台3的右侧端固定连接有L型板7且L型板7的顶端安装有电动转盘8，所述电动转盘8的顶端安装有电动伸缩杆9且电动伸缩杆9的顶端固定连接有顶板10，所述顶板10的底端安装有下开口壳11。
[0018]其中，所述底座1的顶端四周均安装有空心柱201且空心柱201的内部滑动连接有圆柱块202，所述圆柱块202的顶端固定连接有连接杆203，所述连接杆203的顶端安装有探针台3，所述探针台3的底端与底座1的顶端之间安装有升降气缸204。
[0019]其中，所述升降气缸204的动力输出端与探针台3的动力输入端相连接，升降气缸204带动探针台3的上下移动。
[0020]其中，所述电动伸缩杆9的动力输出端与顶板10的动力输入端相连接，电动伸缩杆9带动顶板10的上下移动。
[0021]其中，所述下开口壳11的顶端安装有真空抽气泵12，真空抽气泵12用于将下开口壳11中的空气排出，让内部真空。
[0022]需要说明的是，本技术为一种高低温真空密封探针台，通过升降气缸204带动探针台3的上下移动，探针台3带动圆柱块202的上下移动，圆柱块202顺着空心柱201的内部直线移动，圆柱块202带动连接杆203的向上移动，需要说明的是圆柱块202和空心柱201内部横截面相同，四个圆柱块202和空心柱201能很好的维持探针台3的直线移动，能很好的调
节探针台3的高度，当探针台3的高度调节完成后，将需要加工的部件放入探针台3中间的加工工位进行加工，然后给电动转盘8通入外部电源，打开电动转盘8的开关，电动转盘8带动电动伸缩杆9的转动，从而将下开口壳11移动到密封槽6的正上方（如图1所示），然后给电动伸缩杆9通入内部电源，通过电动伸缩杆9的控制器控制电动伸缩杆9的收缩，电动伸缩杆9带动顶板10的向下移动，顶板10带动下开口壳11的向下移动，下开口壳11向下插入密封槽6中（密封槽6中沾接有橡胶块，能很好贴紧下开口壳11的表面，密封性能十分好），然后通过真空抽气泵12将下开口壳11中的空气排出，即可进行真空密封加工，机械部件5为高低温试验箱，能很好的进行高低温加工。
[0023]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高低温真空密封探针台，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶端安装有升降组件（2）且升降组件（2）包括空心柱（201）、圆柱块（202）、连接杆（203）和升降气缸（204），所述探针台（3）左侧端固定连接有支撑板（4）且支撑板（4）的顶端安装有机械部件（5），所述探针台（3）的顶端开设有密封槽（6），所述探针台（3）的右侧端固定连接有L型板（7）且L型板（7）的顶端安装有电动转盘（8），所述电动转盘（8）的顶端安装有电动伸缩杆（9）且电动伸缩杆（9）的顶端固定连接有顶板（10），所述顶板（10）的底端安装有下开口壳（11）。2.根据权利要求1所述的一种高低温真空密封探针台，其特征在于：所述底座（1）的顶端四...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓晶，
申请(专利权)人：天津宇杰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：