一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法技术

本发明专利技术公开了一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，从硅块中获得金属硅粉，然后将金属硅粉制成水性浆料，将水性浆料导入可燃气体和氧气燃烧形成的高温火焰中爆燃，与氧气反应制得球形二氧化硅。本发明专利技术的一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，将金属硅粉制成浆料，以液体形式将金属硅粉导入高温火焰中氧化制得球形二氧化硅，解决了供料不稳，大大提高生产效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法


[0001]本专利技术涉及二氧化硅制备方法，尤其涉及一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法。

技术介绍

[0002]半导体封装，基板等使用的球形二氧化硅的制造方法之一是将金属硅粉末投入到高温火焰中燃烧，金属硅经氧化得球形二氧化硅。但由于金属硅粉体的流动性不好，容易在管道中产生堵塞导致供料量不稳定等问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于现有技术的上述缺陷，本专利技术所要解决的技术问题是制备球形二氧化硅时使用金属硅粉流动性不好，造成在管道中产生堵塞从而导致供料量不稳定的问题。本专利技术提供了一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，将金属硅粉制成浆料，以液体形式将金属硅粉导入高温火焰中氧化制得球形二氧化硅，解决了供料不稳，大大提高生产效率。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，从硅块中获得金属硅粉，然后将金属硅粉制成水性浆料，将水性浆料导入可燃气体和氧气燃烧形成的高温火焰中爆燃，与氧气反应制得球形二氧化硅。
[0005]进一步地，水性浆料的pH设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，其特征在于，从硅块中获得金属硅粉，然后将所述金属硅粉制成水性浆料，将所述水性浆料导入可燃气体和氧气燃烧形成的高温火焰中爆燃，与氧气反应制得球形二氧化硅。2.如权利要求1所述的一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，其特征在于，所述水性浆料的pH设置为大于等于1，小于等于7。3.如权利要求1所述的一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，其特征在于，所述可燃气体和氧气燃烧形成的高温火焰的火焰温度设置为2000
°
～2700
°
。4.如权利要求2所述的一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，其特征在于，所述水性浆料的制备方法如下：将硅块切割成金属硅粉，所述金属硅粉需要满足以下条件，D50粒径少于等于1微米，D10粒径大于等于0.1微米；然后将所述金属硅粉分散于含有水的液体中，形成悬浮液；所述含水的液体中包括有机溶剂和分散剂和有机酸或无机酸。5.如权利要求4所述的一种浆料爆燃制得球形二氧化硅的方法，其特征在于，将硅块切割成金属硅粉，然后将所述金属硅粉分散于含有水的液体中，形成悬浮液，具体包括：利用金刚石线锯滴加切割液切割单晶硅块或多晶硅块得到D10＝0.1微米，D50＝0.6微米，D90＝2.2微米的硅粉...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐雪莹，
申请(专利权)人：常州市天辰车辆部件有限公司，
类型：发明
国别省市：