一种脱膜及蚀刻液加热节能装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种脱膜及蚀刻液加热节能装置，包括存放蚀刻液的储液箱，储液箱的内侧设置有对其内侧蚀刻液进行加热的加热管，且加热管的进水端通过水管连接有电控阀，储液箱的内侧还设置有耐腐蚀的温度监测机构，电控阀的一端通过水管连接有水箱，且水箱的内侧设置有与电控阀上的水管连接的水泵，加热管的出水端通过管道与水箱连接，水箱的内侧设置有换热机构，通过设置的空气能热泵系统对水箱内的水进行加热，并通过加热的水送向加热管对储液箱内的蚀刻液进行加热，通过利用水作为加热介质具有较好的稳定性避免加热温度过高出现火灾的情况，并且通过空气能热泵系统提供热源能够更好实现节能的效果。够更好实现节能的效果。够更好实现节能的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种脱膜及蚀刻液加热节能装置


[0001]本技术涉及脱膜液或蚀刻液加热
，具体为一种脱膜及蚀刻液加热节能装置。

技术介绍

[0002]在使用蚀刻液或者脱膜液时需要对进加热控温，由于液体存在较强的腐蚀性，加热丝需要采用特氟龙管进行保护，增加了隔热层，导致加热能量损耗大，同时脱膜液燃点较低，当出现加热故障加热温度较高时往往容易出现火灾风险。
[0003]本技术的申请人发现现有的蚀刻液或者脱膜液加热装置对于蚀刻液或者脱膜液的加热存在能耗高，并且存在火灾的风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种脱膜及蚀刻液加热节能装置，旨在改善现有的蚀刻液或者脱膜液加热装置对于蚀刻液或者脱膜液的加热存在能耗高，并且存在火灾的风险的问题。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种脱膜及蚀刻液加热节能装置，包括存放蚀刻液的储液箱，储液箱的内侧设置有对其内侧蚀刻液进行加热的加热管，且加热管的进水端通过水管连接有电控阀，储液箱的内侧还设置有耐腐蚀的温度监测机构，电控阀的一端通过水管连接有水箱，且水箱的内侧设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脱膜及蚀刻液加热节能装置，包括存放蚀刻液的储液箱(1)，其特征在于：所述储液箱(1)的内侧设置有对其内侧蚀刻液进行加热的加热管(3)，且加热管(3)的进水端通过水管连接有电控阀(6)，所述储液箱(1)的内侧还设置有耐腐蚀的温度监测机构(2)，所述电控阀(6)的一端通过水管连接有水箱(4)，且水箱(4)的内侧设置有与电控阀(6)上的水管连接的水泵，所述加热管(3)的出水端通过管道与水箱(4)连接，所述水箱(4)的内侧设置有换热机构(5)，且换热机构(5)与空气能热泵系统连接。2.根据权利要求1所述的一种脱膜及蚀刻液加热节能装置，其特征在于，所述加热管(3)的进水端和出水端均固定设置有连接套(32)，且连接套(32)的一端穿过储液箱(1)的侧壁与外界的水管连接，所述连接套(32)的内侧一端设置有挡圈(31)，且连接套(32)与储液箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖斌，黄饶，吕志勇，梁庆祝，张凯，
申请(专利权)人：浙江长兴合利光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：