【技术实现步骤摘要】
陶瓷膜上料机
[0001]本专利技术涉及半导体行业领域，具体涉及一种陶瓷膜上料机。
技术介绍
[0002]半导体行业普遍应用的陶瓷膜料片厚度为20
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100微米，尺寸分别为6、8、10寸，料片的检测区域开满3
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10万个30
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50微米的微孔，目前使用的检测技术需要人工将陶瓷膜料片放置于检测机构上面，人工上料存在的主要问题有：每次只能拿一张陶瓷膜料片，效率低；人工放置位置有偏差，影响检测效率。
[0003]因此，亟需一种陶瓷膜料片自动上料技术，以解决人工上料存在的效率低、放置位置存在偏差影响检测效率的问题；然而，由于陶瓷膜料片为超薄产品，直接使用机器进行夹持容易损伤物料表面、不易输送而且不利于机构定位，成为实现陶瓷膜料片自动上料的首要障碍。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中存在的上述缺陷，本专利技术的目的在于提供一种陶瓷膜上料机，用于陶瓷膜料片的自动上料，旨在解决直接使用机器夹持超薄产品存在的容易损伤物料表面、不易输送而且不利于机构定位的问...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.陶瓷膜上料机，其特征在于，包括：上料升降机构(03)，上料升降机构(03)为多个，用于承载待检测的陶瓷膜料片(010)，上料升降机构(03)由上料升降机构固定台(030)固定；抓取机构(02)，抓取机构(02)包括第一抓取装置(021)和第二抓取装置(022)，第一抓取装置(021)和第二抓取装置(022)分别从不同的上料升降机构(03)抓取待检测的陶瓷膜料片(010)，抓取机构(02)的数量与上料升降机构(03)的数量相对应，第一抓取装置(021)的底部设有第一吹气装置(0210)，第二抓取装置(022)的底部设有第二吹气装置(0220)，第一吹气装置(0210)和第二吹气装置(0220)用于将上料升降机构(03)上的待检测的陶瓷膜料片(010)的褶皱吹平；运输机构(01)，运输机构(01)用于将抓取机构(02)运送至指定位置；第一除静电装置(0051)、第二除静电装置(0052)，用于去除上料升降机构(03)上的待检测的陶瓷膜料片(010)的静电；拖链(004)，拖链(004)用于安装线材和气管；控制面板(003)，包括操作触摸屏(0031)和操作按钮(0032)，用于操作人员通过操作触摸屏(0031)和/或操作按钮(0032)启动、停止及控制上料升降机构(03)、抓取机构(02)、运输机构(01)的运行；紧急挚(0011)，用于操作人员在突然情况下紧急制动上料升降机构(03)、抓取机构(02)、运输机构(01)；电箱(006)，用于为所述陶瓷膜上料机提供工作电源；UPS(007)，用于对电箱(006)的供电电源进行稳压、稳频、滤波、抗电磁和射频干扰、防电压冲浪，以输出适用于的所述陶瓷膜上料机的工作电压和频率；框架(002)，用于固定及安装上料升降机构(03)、抓取机构(02)、运输机构(01)、第一除静电装置(0051)、第二除静电装置(0052)、拖链(004)、控制面板(003)、电箱(006)；外壳(001)，覆盖于框架(002)的指定位置，外壳(001)位于框架(002)的前部设有通孔以安装紧急挚(0011)，外壳(001)位于框架(002)的前部还安装有把手(0012)，以便操作人员打开或关闭，UPS(007)放置于外壳(001)位于框架(002)的底部上面；抓取机构(02)与运输机构(01)相连接并且安装于运输机构(01)的下部，上料升降机构(03)位于抓取机构(02)的下方，拖链(004)安装于运输机构(01)的前部，第一除静电装置(0051)和第二除静电装置(0052)分别安装于上料升降机构(03)的顶部的两侧，第一除静电装置(0051)和第二除静电装置(0052)的位置与上料升降机构(03)上升的指定位置平行；电箱(006)安装于框架(002)的底部后端，UPS(007)位于电箱(006)前方的一侧。2.根据权利要求1所述的陶瓷膜上料机，其特征在于，上料升降机构(03)包括第一对射光纤传感器(0301)、第二对射光纤传感器(0302)、第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)、第一底板(03041)、第二底板(03042)、第三底板(03043)、第一调整块(03051)、第二调整块(03052)、第三调整块(03053)、第四调整块(03054)、上料机构第一把手(03061)、上料机构第二把手(03062)、第一增长板(030611)、第二增长板(030621)、片托板(03071)、圆盘(03072)、光电感应器(0361)、接近感应开关(037)，第一底板(03041)、第二底板(03042)、第三底板(03043)通过螺丝按照固定相
连，第二底板(03042)位于第一底板(03041)和第三底板(03043)之间，第一底板(03041)位于顶部，第三底板(03043)位于底部，第一底板(03041)、第二底板(03042)、第三底板(03043)的中间设有面积相同的贯穿的圆形空环，第一底板(03041)、第二底板(03042)、第三底板(03043)相连接之后，第一底板(03041)、第二底板(03042)、第三底板(03043)的中间设有贯穿的圆形空环形成具有一定厚度的圆形空腔，上料机构第一把手(03061)通过第一增长板(030611)固定于第一底板(03041)的一侧，上料机构第二把手(03062)通过第二增长板(030621)固定于第一底板(03041)的另一侧，第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)垂直向上固定于第一底板(03041)设有的通孔内，第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)分布于第一底板(03041)设有的贯穿的圆形空环的周边，圆盘(03072)通过螺丝固定安装于片托板(03071)的下面，圆盘(03072)的面积与第一底板(03041)设有的贯穿的圆形空环的面积相同，第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)的顶部穿过片托板(03071)设有的通孔以使片托板(03071)能够沿着第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)做垂直运动，光电感应器(0361)通过光电感应器安装板(0362)安装于圆盘(03072)的底部的一侧，第一对射光纤传感器(0301)通过第一对射光纤传感器安装板(03011)固定于上料机构第一把手(03061)的内侧，第二对射光纤传感器(0302)通过第二对射光纤传感器安装板(03021)固定于上料机构第二把手(03062)的内侧；片托板(03071)与第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)形成料盒，待检测的陶瓷膜料片(010)放置于片托板(03071)上面，第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)固定待检测的陶瓷膜料片(010)的位置；第一对射光纤传感器(0301)和第二对射光纤传感器(0302)用于检测片托板(03071)是否运动至指定位置；接近感应开关(037)安装于第三底板(03043)的下面，用于检测片托板(03071)是否被取出；光电感应器(0361)用于检测片托板(03071)上是否放置有待检测的陶瓷膜料片(010)；上料升降机构(03)还包括支撑托架第一侧板(03101)、支撑托架第二侧板(03102)、支撑托架底板(03103)、第一直线轴承(0311)、第二直线轴承(0312)、第三直线轴承(0313)、第四直线轴承(0314)、第一升降导杆(0321)、第二升降导杆(0322)、第三升降导杆(0323)、第四升降导杆(0324)、第一光电开关(0331)、第二光电开关(0332)、第三光电开关(0333)、光眼感应片(0334)、导杆连接块(03341)、光电开关安装板(0335)、步进减速电机(034)、电机安装板(0341)、电机加强板(0342)、第一推盘联件(0351)、第二推盘联件(0352)、推盘连杆(0353)；支撑托架第一侧板(03101)和支撑托架第二侧板(03102)分别安装于支撑托架底板(03103)的两边，支撑托架第一侧板(03101)和支撑托架第二侧板(03102)的顶部位于第三底板(03043)的下方，推盘连杆(0353)的顶部通过第一推盘联件(0351)固定于圆盘(03072)的下方，推盘连杆(0353)的下部从支撑托架底
板(03103)中间设有的长方形通孔穿出，第一升降导杆(0321)、第二升降导杆(0322)、第三升降导杆(0323)、第四升降导杆(0324)分别通过第一直线轴承(0311)、第二直线轴承(0312)、第三直线轴承(0313)以及第四直线轴承(0314)固定于支撑托架底板(03103)设有的安装孔上，第一升降导杆(0321)、第二升降导杆(0322)、第三升降导杆(0323)、第四升降导杆(0324)的顶部与圆盘(03072)的底部相接，第一升降导杆(0321)、第二升降导杆(0322)、第三升降导杆(0323)、第四升降导杆(0324)的底部从第三底板(03043)的安装孔中穿出，电机安装板(0341)的顶部通过螺丝固定安装于第三底板(03043)朝下的一面，步进减速电机(034)固定安装于电机安装板(0341)上，电机加强板(0342)的一边与第三底板(03043)朝下的一面通过螺丝固定相接，电机加强板(0342)的另一边与电机安装板(0341)相对的一面通过螺丝固定相接；步进减速电机(034)的轴端通过第二推盘联件(0352)与推盘连杆(0353)相连；步进减速电机(034)通过第二推盘联件(0352)带动推盘连杆(0353)的底部在支撑托架底板(03103)中间设有的长方形通孔中做往复运动，从而使得推盘连杆(0353)的顶部通过圆盘(03072)带动片托板(03071)沿着第一导向杆(03031)、第二导向杆(03032)、第三导向杆(03033)、第四导向杆(03034)、第五导向杆(03035)、第六导向杆(03036)、第七导向杆(03037)、第八导向杆(03038)做垂直升降运动；第一升降导杆(0321)、第二升降导杆(0322)、第三升降导杆(0323)、第四升降导杆(0324)通过第一直线轴承(0311)、第二直线轴承(0312)、第三直线轴承(0313)以及第四直线轴承(0314)使得圆盘(03072)带动片托板(03071)的升降运动平稳；光电开关安装板(0335)通过螺丝安装于支撑托架第一侧板(03101)的外侧指定位置上，第一光电开关(0331)、第二光电开关(0332)、第三光电开关(0333)依次安装于光电开关安装板(0335)的指定位置上，第一光电开关(0331)与第二光电开关(0332)相邻，第三光电开关(0333)位于第二光电开关(0332)上方且相隔一定距离，第一光电开关(0331)、第二光电开关(0332)、第三光电开关(0333)用于上料升降机构(03)归零和最大位移位置的电器限位。3.根据权利要求2所述的陶瓷膜上料机，其特征在于，第一推盘联件(0351)为U型结构，第一推盘联件(0351)的顶部通过螺丝固定安装于圆盘(03072)的底部，推盘连杆(0353)的顶部通过连接轴固定于第一推盘联件(0351)的U型结构的中间，所述连接轴的两端分别固定安装于第一推盘联件(0351)的侧壁设有的通孔上。4.根据权利要求3所述的陶瓷膜上料机，其特征在于，上料升降机构(0...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晓雷，徐帅，
申请(专利权)人：深圳市索恩达电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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