一种托液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种托液装置，包括装置本体和托臂，所述托臂安装于所述装置本体，所述托臂设有凹陷部，用于对扫描液滴进行承接。采用这种方案，本实用新型专利技术所提供托液装置的托臂设置有凹陷部，可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落；这样，当该托液装置配合气相分解金属沾污收集系统中的其他部件进行使用时，可以较好地完成对待测试样边缘部的扫描取样，使得对于待测试样的边缘部的采样检测成为可能。的采样检测成为可能。的采样检测成为可能。

【技术实现步骤摘要】
一种托液装置


[0001]本技术涉及取样扫描部件
，具体涉及一种托液装置。

技术介绍

[0002]高性能、低功耗的芯片在制备过程中需要引入大量新的化学元素，而不同化学元素的引入会造成芯片制造过程中金属沾污控制难度的提升。目前，最为常见的金属沾污检测设备是气相分解金属沾污收集系统和电感耦合等离子体质谱仪，但这些检测设备对于待测晶圆的检测主要是集中在待测晶圆的中心区域。以气相分解金属沾污收集系统为例，其通常是采用扫描液滴对待测晶圆的表面进行扫描取样，如果对待测晶圆的边缘部进行扫描取样，扫描液滴容易掉落，进而导致边缘部无法进行有效取样。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种托液装置，该托液装置的托臂可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落，进而能够辅助完成对于待测试样边缘部的扫描取样。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种托液装置，包括装置本体和托臂，所述托臂安装于所述装置本体，所述托臂设有凹陷部，用于对扫描液滴进行承接。
[0005]采用这种方案，本技术所提供托液装置的托臂设置有凹陷部，可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落。这样，当该托液装置配合气相分解金属沾污收集系统中的其他部件进行使用时，可以较好地完成对待测试样边缘部的扫描取样，使得对于待测试样的边缘部的采样检测成为可能。
[0006]可选地，所述托臂包括臂部和柔性膜，所述柔性膜安装于所述臂部，常态下，所述柔性膜处于下凹状态，用于形成所述凹陷部。
[0007]可选地，还包括吹吸部件，所述臂部内设有流体通道，所述流体通道的一端与所述吹吸部件相连，所述流体通道的另一端连通所述柔性膜的下侧；所述吹吸部件用于向所述流体通道内输送流体或者抽吸流体，以使所述柔性膜在鼓起状态和下凹状态之间进行切换。
[0008]可选地，所述臂部设有凹槽，常态下，所述柔性膜与所述凹槽的槽内壁面相贴合。
[0009]可选地，所述柔性膜的材质为耐腐蚀材料。
[0010]可选地，所述装置本体包括驱动机构，所述驱动机构与所述托臂传动连接，用于驱使所述托臂进行位移。
[0011]可选地，所述驱动机构为驱转机构，所述驱转机构包括旋转轴，所述旋转轴与所述托臂传动连接，用于驱使所述托臂进行旋转位移。
[0012]可选地，还包括转接臂，所述旋转轴通过所述转接臂与所述托臂相连。
[0013]可选地，所述装置本体还配置有调高部件，用于对所述托臂的安装高度进行调节。
[0014]可选地，所述托液装置的各部件中，至少所述托臂的材质为耐腐蚀材料，或者，至
少所述托臂涂覆有耐腐蚀涂层。
附图说明
[0015]图1为本技术所提供托液装置的一种具体实施方式的结构示意图；
[0016]图2为托臂在柔性膜处于鼓起状态时的剖面图；
[0017]图3为一种边缘扫描系统的结构示意图。
[0018]图1
‑
图3中的附图标记说明如下：
[0019]1装置本体、11驱转机构、111旋转轴、112驱动电机、113电机支架、
[0020]114联轴器、115轴承、116固定板、117固定螺钉、118定位销、119连接键、12转接臂、13调节螺钉；
[0021]2托臂、21臂部、211流体通道、212凹槽、22柔性膜；
[0022]3平台板；
[0023]4喷头；
[0024]5清洁装置；
[0025]6罩壳；
[0026]A待测试样。
具体实施方式
[0027]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0028]请参考图1
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图3，图1为本技术所提供托液装置的一种具体实施方式的结构示意图，图2为托臂在柔性膜处于鼓起状态时的剖面图，图3为一种边缘扫描系统的结构示意图。
[0029]如图1所示，本技术提供一种托液装置，包括装置本体1和托臂2，托臂2安装于装置本体1，且托臂2设有凹陷部，用于对扫描液滴进行承接。
[0030]采用这种方案，本技术所提供托液装置的托臂2设置有凹陷部，可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落。这样，当该托液装置配合气相分解金属沾污收集系统中的其他部件进行使用时，可以较好地完成对待测试样A边缘部的扫描取样，使得对于待测试样A的边缘部的采样检测成为可能。
[0031]上述的凹陷部可以为设置于托臂2的凹槽212。
[0032]或者，具体到本技术实施例中，托臂2可以包括臂部21和柔性膜22，柔性膜22可以安装于臂部21，常态下，柔性膜22可以处于下凹状态，用于形成凹陷部。也就是说，托臂2将主要通过柔性膜22与扫描液滴相接触。
[0033]实际上，凹槽212和柔性膜22可以是同时存在的，这样，在常态下，柔性膜22可以与凹槽212的槽内壁面相贴合，凹槽212的槽内壁面可以对柔性膜22进行支撑，能够较大程度地避免保证柔性膜22与托部21的连接部位因受到扫描液滴的重力拉扯而产生破裂的情形，进而可以较大程度地保证柔性膜22与托部21的可靠连接。
[0034]进一步地，还可以包括吹吸部件(图中未示出)，臂部21内可以设有流体通道211，流体通道211的一端可以与吹吸部件相连，流体通道211的另一端可以连通柔性膜22的下
侧。
[0035]在具体工作时，吹吸部件用于向流体通道211内输送流体或者抽吸流体，以使柔性膜22在鼓起状态和下凹状态之间进行切换；当柔性膜22处于下凹状态时，柔性膜22可以形成凹陷部，以对扫描液滴进行承接；而当扫描液滴对于待测试样A边缘部的取样扫描完毕后，吹吸部件可以通过流通通道211向柔性膜22的下方输送流体，以驱使柔性膜22处于鼓起状态，能够更好地配合喷头4(参见后文描述)对扫描液滴进行回收，且由于柔性膜22处于鼓起状态，还可以较好地避免扫描液滴在凹陷部内的残留，能够保证扫描液滴的回收量。
[0036]吹吸部件的具体种类在此不做限定，只要能够实现上述功能即可，例如，该吹吸部件可以为注射泵。流体通道211内的流体可以为气体，也可以为液体，气体以及液体的种类均不做限定。
[0037]在进行金属沾污取样扫描时，所使用的扫描液滴通常具有一定的腐蚀性，为保证设备在长时间内的使用寿命、以及对于扫描液滴成分所可能产生的影响，本技术实施例可以将柔性膜22的材质设定为耐腐蚀材料。耐腐蚀材料的具体种类在此不做限定，实际应用中，本领域技术人员可以根据具体使用环境中腐蚀性物质的种类等实际情况进行确定。
[0038]托臂2可以相对装置本体1处于静止状态，即托臂2在实际使用时可以不作位移。或者，托臂2也可以相对装置本体1能够产生位移，此时，托臂2可以根据不同的工作需求切换至不同的工位，当需要对扫描液滴进行承接时，托臂2可以移动至能够对扫本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种托液装置，其特征在于，包括装置本体(1)和托臂(2)，所述托臂(2)安装于所述装置本体(1)，所述托臂(2)设有凹陷部，用于对扫描液滴进行承接。2.根据权利要求1所述托液装置，其特征在于，所述托臂(2)包括臂部(21)和柔性膜(22)，所述柔性膜(22)安装于所述臂部(21)，常态下，所述柔性膜(22)处于下凹状态，用于形成所述凹陷部。3.根据权利要求2所述托液装置，其特征在于，还包括吹吸部件，所述臂部(21)内设有流体通道(211)，所述流体通道(211)的一端与所述吹吸部件相连，所述流体通道(211)的另一端连通所述柔性膜(22)的下侧；所述吹吸部件用于向所述流体通道(211)内输送流体或者抽吸流体，以使所述柔性膜(22)在鼓起状态和下凹状态之间进行切换。4.根据权利要求2所述托液装置，其特征在于，所述臂部(21)设有凹槽(212)，常态下，所述柔性膜(22)与所述凹槽(212)的槽内壁面相贴合。5.根据权利要求2所述托液装置，其特征在于，所述柔性膜(22)的材质为耐腐蚀材料。6.根据权利要求1
‑
5中任一项所述托液装置，其特征在于，所述装置本体(1)包括驱动机构，所述驱动机构与所述托臂(2)传动连接，用于驱使所述托臂(2)进行位移。7.根据权利要求6所述托液装置，其特征在于，所述驱动机构为驱转机构(11)，所述驱转机构(11)包括旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟庆国，程实然，石小丽，朱小庆，崔虎山，胡冬冬，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：