柔性太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术揭示了一种柔性太阳能电池及其制备方法，所述制备方法包括：在生长衬底上生长刻蚀停止层；在刻蚀停止层上倒装生长太阳能电池外延结构；在太阳能电池外延结构的背面制备背面电极；在背面电极上制备柔性衬底；将刚性衬底与柔性衬底进行键合；去除生长衬底及刻蚀停止层；在太阳能电池外延结构的正面进行器件工艺；将刚性衬底与柔性衬底进行解键合。本发明专利技术柔性太阳能电池的制备方法中只需进行一次刚性衬底与柔性衬底的键合与解键合，简化了制备工艺、降低了工艺成本；紫外光解键合相比于机械解键合，对电池的损伤更小，有利于提高良品率，相比于激光解键合，能降低设备成本。能降低设备成本。能降低设备成本。

【技术实现步骤摘要】
柔性太阳能电池及其制备方法


[0001]本专利技术属于太阳能电池
，具体涉及一种柔性太阳能电池及其制备方法。

技术介绍

[0002]传统能源资源有限且环境污染问题日益严重，人们对于绿色生活的向往和追求已成为大势所趋，而太阳能作为一种随处可见、用之不竭的清洁能源一直备受关注。
[0003]柔性多结太阳能电池具有重量轻、比功率高、弯曲性能好、温系数低等优异特性，可以扩展多结太阳能电池的应用范围，属于第三代新型薄膜太阳能电池，成为目前研究的热点。高效柔性多结太阳能电池目前主要应用于军事领域，有望提升未来军事作战武器的续航能力及作战装备的轻便性，并且随着商业航天和民用通讯的发展，柔性多结太阳能电池的应用领域不断扩展，但由于其成本过高，很大程度上限制了其应用的扩展，因此需要尽可能地简化工艺、提高良品率，从而降低成本，开发柔性太阳能电池的潜在应用领域。
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种柔性太阳能电池及其制备方法。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种柔性太阳能电池及其制备方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：在生长衬底上生长刻蚀停止层；在刻蚀停止层上倒装生长太阳能电池外延结构；在太阳能电池外延结构的背面制备背面电极；在背面电极上制备柔性衬底；将刚性衬底与柔性衬底进行键合；去除生长衬底及刻蚀停止层；在太阳能电池外延结构的正面进行器件工艺；将刚性衬底与柔性衬底进行解键合。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述刚性衬底与柔性衬底通过双面胶带进行键合，所述双面胶带包括胶带本体、与刚性衬底键合的第一胶面及与柔性衬底键合的第二胶面。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，“将刚性衬底与柔性衬底进行键合”包括：将双面胶带的第一胶面通过真空层压的方式与柔性衬底进行键合；将双面胶带的第二胶面通过光照固化的方式与刚性衬底进行键合，光照选用紫外光或紫色可见光。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，真空层压的温度为45℃～100℃；光照固化时光线的波长为350nm～410nm，光照时间为0.5min～2min，且刚性衬底中光线的透过率大于或等于第一透过率阈值。5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，“将刚性衬底与柔性衬底进行解键合”具体为：通过紫外光透过刚性衬底照射双面胶带，使双面胶带的第一胶面和第二胶面带产生气体，实现第一胶面与柔性衬底、第二胶面与刚性衬底的解键合；或，通过紫外光透过刚性衬底照射双面胶带，使双面胶带的第二胶面带产生气体，实现第二胶面与刚性衬底的解键合，再通过机械剥离...

【专利技术属性】
技术研发人员：王霞，陆书龙，龙军华，孙强健，宣静静，张怡，吴晓旭，陈志韬，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：