确定靶在极紫外光源中的移动性质制造技术

描述了一种用于测量当前靶在其沿着轨迹朝向靶空间行进时的移动性质的方法。该方法包括：在当前靶进入靶空间之前检测由于当前靶与多个诊断探针中的每一个诊断探针之间的相互作用而产生的光的多个二维表示；基于对检测到的光的多个二维表示的分析来确定当前靶的一个或多个移动性质，该确定在当前靶进入靶空间之前完成；以及，如果所确定的当前靶的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。

【技术实现步骤摘要】
确定靶在极紫外光源中的移动性质
[0001]分案申请说明
[0002]本申请是申请日为2019年03月13日、申请号为201780056385.5、名称为“确定靶在极紫外光源中的移动性质”的中国专利申请的分案申请。


[0003]所公开的主题涉及用于在激光等离子体极紫外光源中沿着靶的轨迹测量靶的各方面的系统和方法。

技术介绍

[0004]极紫外(EUV)光，例如具有波长为约50nm或更小的电磁辐射(有时也被称为软x射线)，并且包括波长为约13nm的光，可以被用在光刻工艺中以在例如硅晶片的衬底中产生极小的特征。
[0005]产生EUV光的方法包括但不必限于将具有元素(例如氙、锂或锡)的材料转换为等离子体状态的EUV范围内的发射线。在一种这样的方法中，通常被称为激光等离子体(“LPP”)的所需等离子体可以通过用可以被称为驱动激光的放大光束，例如以材料的滴、板、带、流或簇的形式照射靶材料来产生。对于该过程，等离子体通常在密封容器(例如真空腔室)中产生，并使用各种类型的量测设备进行监测。

技术实现思路

[0006]在一些一般方面中，执行一种方法，用于测量当前靶在其沿着轨迹朝向靶空间行进时的移动性质。该方法包括：在所述当前靶进入所述靶空间之前检测由于所述当前靶与多个诊断探针(probe)中的每一个诊断探针之间的相互作用而产生的光的多个二维表示；基于对检测到的多个二维光表示的分析来确定所述当前靶的一个或多个移动性质，所述确定是在所述当前靶进入所述靶空间之前完成的；以及，如果所述当前靶的所确定的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导到所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。
[0007]实现可以包括以下一个或多个特征。例如，该方法还可以包括使所述辐射脉冲与所述靶空间中的目前靶相互作用，其中所述目前靶是已经进入所述靶空间的当前靶或已经进入所述靶空间的另一靶，并且其中所述另一靶在所述当前靶进入所述靶空间的时间之后的时间进入所述靶空间。所述另一靶可以沿着所述轨迹与所述当前靶相邻。所述另一靶可以沿着所述轨迹与在所述另一靶和所述当前靶之间的中间靶相邻。
[0008]当所述辐射脉冲与所述目前靶相互作用时，所述辐射脉冲可以将所述目前靶的至少一部分转换成发射极紫外光的等离子体。所述辐射脉冲可以将能量传送到所述目前靶以修改所述目前靶的几何分布。
[0009]该方法可以包括沿着所述轨迹朝向所述靶空间释放所述当前靶，所述靶空间被限定在激光等离子体极紫外光源内。
[0010]检测到的光的二维表示可以是光的二维图像。
[0011]该方法可以包括沿着由垂直于轴向方向的第一方向和所述轴向方向所限定的平面朝向所述当前靶引导至少一个诊断探针，其中所述当前靶沿着具有沿着所述轴向方向的分量的方向行进。可以沿着垂直于所述轴向方向且垂直于所述第一方向的第二方向朝向所述靶空间引导所述辐射脉冲。
[0012]该方法还可以包括将所述诊断探针朝向所述当前靶引导，使得在所述当前靶进入所述靶空间之前每个诊断探针在不同的诊断位置处与所述当前靶相互作用。
[0013]每个诊断探针可以是诊断光束。由于所述当前靶和每个诊断探针之间的相互作用而产生的光可以包括从所述当前靶的表面散射离开的所述诊断光束。由于所述当前靶和所述诊断探针之间的相互作用而产生的光可以包括遮蔽至少一部分诊断光束的所述当前靶的阴影。
[0014]可以通过确定所述当前靶的定位、速度和加速度中的一个或多个来确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质。可以通过确定所述当前靶沿着三维坐标系的每个维度的一个或多个移动性质来确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质。可以通过调节辐射脉冲的释放定时和所述辐射脉冲行进的方向中的一项或多项来调节所述辐射脉冲的所述一个或多个特性。
[0015]该方法可以包括检测在所述当前靶进入所述靶空间之前由于所述当前靶和每个诊断探针之间的相互作用而产生的所述光的多个一维值。
[0016]在先前且相邻的靶在所述靶空间中与先前辐射脉冲已经相互作用之后，所述当前靶可以与所述多个诊断探针相互作用。在所述当前靶至少部分地受到等离子体后推力的影响时所述当前靶可以与所述多个诊断探针相互作用。
[0017]该方法可以包括分析检测到的光的多个二维表示，所述分析包括：标识每个表示内的一个或多个感兴趣区域，每个感兴趣区域对应于所述当前靶沿着所述轨迹的位置；对于每个感兴趣的区域，确定所述感兴趣区域的中心区；并且基于所确定的中心区导出所述当前靶在三维中的定位。
[0018]在其他一般方面，执行一种方法，用于在多个靶中的每个靶沿着其轨迹朝向靶空间行进时测量每个靶的一个或多个移动性质，所述方法包括：在所述多个靶中的每个靶到达所述靶空间之前，并且在先前和相邻靶已经进入所述靶空间之后，在沿着所述靶的轨迹的诊断位置处使多个诊断探针与所述多个靶中的每个靶相互作用。对于所述多个靶中的每个靶：检测由于所述靶与所述诊断探针之间的所述相互作用而产生的光的多个二维表示；分析检测到的二维表示；基于对检测到的二维表示的分析，确定所述靶沿着三维坐标系的每个维度的一个或多个移动性质；以及基于所确定的一个或多个移动性质来确定是否需要调节被引导到所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。
[0019]实现可以包括以下一个或多个特征。例如，所述方法可以包括，对于所述多个靶中的每个靶：检测与所述靶和诊断探针之间的每个相互作用相关联的时间；分析检测到的时间；基于对检测到的时间的分析，确定所述靶沿着所述三维坐标系的至少一个维度的一个或多个移动性质。
[0020]可以通过确定靶的定位、速度和加速度中的一项或多项来确定所述靶的所述一个或多个移动性质。
[0021]可以通过检测光的二维图像来检测所述光的所述二维表示。可以通过标识所述图像内的一个或多个感兴趣区域并计算针对每个所标识的感兴趣区域的质心来分析检测到的二维图像。
[0022]确定是否需要调节所述辐射脉冲的一个或多个特性可以包括：如果所确定的所述靶的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则确定需要调节所述辐射脉冲的一个或多个特性。可以通过调节所述辐射脉冲的释放定时和所述辐射脉冲行进的方向中的一项或多项来调节所述辐射脉冲的所述一个或多个特性。
[0023]可以在所述靶进入所述靶空间之前检测光的二维表示。可以在所述靶进入所述靶空间之前分析检测到的二维表示。并且，可以在所述靶进入所述靶空间之前确定所述靶的一个或多个移动性质。
[0024]在所述靶至少部分地受到等离子体后推力的影响时所述靶可以与所述多个诊断探针相互作用。
[0025]在其他一般方面，一种设备包括：靶传送系统，所述靶传送系统被配置为朝向靶空间释放靶，所述靶包括在被转换成等离子体时发射极紫外(EUV)光的材料；腔室，所述腔室限定所述靶空间和在所述靶传送系统与所述靶空间之间的区域，所述靶空间被定位成接收多个辐射脉冲，每个辐射脉冲在所述靶空间中与所述靶相互作用，致使该靶的至少一部分被转换成发射EUV光的等离子体；诊断系统；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种诊断设备，包括：探针模块，被配置为将探针光朝向正朝向靶空间行进的靶的靶轨迹引导，所述探针光具有限定沿着所述靶轨迹的探测距离D
p
的程度，并且所述探针光在当前靶进入所述靶空间之前与所述当前靶相互作用；以及检测模块，相对于所述探针模块布置，所述检测模块包括多个检测设备，每个检测设备被配置为检测所述当前靶的多个二维表示，所述当前靶的每个二维表示是由所述探针光与所述当前靶之间的所述相互作用产生的。2.根据权利要求1所述的诊断设备，其中在检测设备处检测到的所述当前靶的所述二维表示是由在多个位置和时间在探针光与所述当前靶之间的所述相互作用产生的。3.根据权利要求1所述的诊断设备，还包括控制系统，所述控制系统与所述检测模块通信，并且所述控制系统被配置为分析来自所述检测模块的输出、并且基于所述分析来确定所述当前靶的一个或多个性质。4.根据权利要求3所述的诊断设备，其中所述控制系统被配置为向光源发送信号，以指令所述光源基于来自所述检测模块的所述输出来调节被引导到所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。5.根据权利要求1所述的诊断设备，其中每个检测设备包括相机、高速相机、电荷耦合器件、红外相机、互补金属氧化物半导体或光电二极管。6.根据权利要求1所述的诊断设备，其中在检测设备处检测到的所述当前靶的每个二维表示包括遮蔽所述探针光的至少一部分的所述当前靶的阴影。7.根据权利要求1所述的诊断设备，其中在检测设备处检测到的所述当前靶的每个二维表示包括的光来自从所述当前靶的表面散射离开的所述探针光或所述当前靶的图像的反射。8.根据权利要求1所述的诊断设备，其中所述探针模块被配置为在所述当前靶与所述靶空间中的辐射脉冲相互作用之前将所述探针光朝向所述靶轨迹引导。9.根据权利要求1所述的诊断设备，还包括控制系统，所述控制系统与所述检测模块通信并且被配置为基于来自所述检测模块的所述输出在所有三个方向X、Y、Z上重建所述靶的轨迹。10.根据权利要求1所述的诊断设备，其中所述探针光包括一个或多个探针光束，每个探针光束在与所述靶相互作用时是准直光束。11.根据权利要求1所述的诊断设备，其中所述探针光包括一个或多个探针光束，每个探针光束是聚焦光束，使得所述探针光束的光束腰与所述靶轨迹重叠。12.根据权利要求1所述的诊断设备，其中每个检测设备具有的帧速率大于或等于生成并朝向所述靶空间引导的靶的速率。13.根据权利要求1所述的诊断设备，其中每个检测设备包括位于平面中的二维成像...

【专利技术属性】
技术研发人员：V，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：