液滴生成器喷嘴制造技术

公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。属密封。属密封。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液滴生成器喷嘴
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2019年10月17日提交的题为“DROPLET GENERATOR NOZZLE”的美国申请No.62/916,723的优先权，该申请在此全文引入作为参考。


[0003]本专利技术涉及一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴，尤其涉及一种制造该喷嘴的方法。

技术介绍

[0004]光刻设备是构造成将期望的图案施加到衬底上的机器。光刻设备可用于例如集成电路(IC)的制造中。光刻设备可以例如将图案从图案形成装置(例如掩模)投射到设置在衬底上的辐射敏感材料层(例如，光致抗蚀剂或简单的抗蚀剂)上。
[0005]为了在衬底上投射图案，光刻设备可以使用电磁辐射。该辐射的波长决定了可以在衬底上形成的特征的最小尺寸。与使用例如波长大于4－20nm的辐射的光刻设备相比，使用波长在4－20nm范围内，例如6.7nm或13.5nm的极紫外(EUV)辐射的光刻设备可用于在衬底上形成更小的特征。
[0006]EUV辐射可以使用等离子体产生。用于产生EUV辐射的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种制造用于液滴生成器的喷嘴的方法，所述方法包括：将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中；加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述通孔的至少一部分是截头体形的。3.根据权利要求2所述的方法，其中将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中包括：设置具有恒定直径的管的形式的所述玻璃毛细管，并且其中所述加热和施加压力改变所述毛细管的形状。4.根据权利要求3所述的方法，其中施加所述压力包括向所述玻璃毛细管施加内部压力，并且至少包括：密封所述玻璃毛细管的第一开口；以及将气体泵送到所述玻璃毛细管的第二开口中。5.根据权利要求1所述的方法，其中施加所述压力包括向所述玻璃毛细管施加内部压力，并且至少包括：密封所述玻璃毛细管的第一开口；以及将气体泵送到所述玻璃毛细管的第二开口中。6.根据权利要求3所述的方法，其中施加所述压力的步骤包括通过向以下中的至少一者施加相对的压缩力来向所述玻璃毛细管施加外部压力：所述玻璃毛细管的从所述通孔延伸的部分；以及所述玻璃毛细管的一端或两端。7.根据权利要求1所述的方法，其中施加所述压力的步骤包括通过向以下中的至少一者施加相对的压缩力来向所述玻璃毛细管施加外部压力：所述玻璃毛细管的从所述通孔延伸的部分；以及所述玻璃毛细管的一端或两端。8.根据权利要求7所述的方法，其中沿所述玻璃毛细管的纵向方向施加所述相对的压缩力。9.根据权利要求7所述的方法，还包括在施加所述外部压力之前将刚性元件插入所述玻璃毛细管中的步骤。10.根据权利要求1所述的方法，其中在加热所述金属装配件期间和/或之后对所述玻璃毛细管施加压力。11.根据权利要求1所述的方法，其中所述玻璃毛细管的热膨胀系数小于或等于所述金属装配件在包括所述喷嘴的工作温度范围和所述喷嘴的制造温度范围的温度范围内的热膨胀系数。12.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属装配件包括钼、钽、钨或金属合金，所述玻璃毛细管包括硼硅酸盐...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：