低温泵系统及其监视方法技术方案

本发明专利技术提供一种能够在真空处理装置的运转期间容易确认与低温泵相关的信息的低温泵系统。低温泵系统(100)具备：低温泵(10)；低温泵控制器(110)，控制低温泵(10)；网络(120)，连接低温泵(10)与低温泵控制器(110)，并在低温泵(10)与低温泵控制器(110)之间传输与低温泵(10)相关的信息；及低温泵监视器(130)，与网络(120)连接，并且显示经由网络(120)传输的与低温泵(10)相关的信息。低温泵控制器(110)配置于真空处理装置(200)的框体(206)内，低温泵监视器(130)配置于真空处理装置(200)的框体(206)外。(206)外。(206)外。

【技术实现步骤摘要】
低温泵系统及其监视方法
[0001]本申请主张基于2020年11月25日申请的日本专利申请第2020
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194876号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种低温泵系统及其监视方法。

技术介绍

[0003]低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉到冷却至超低温的低温板上并进行排出的真空泵。低温泵搭载于真空处理装置，从而实现半导体电路制造工艺等中所要求的清洁的真空环境。
[0004]专利文献1：日本特开2008
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2333号公报
[0005]本专利技术人等对搭载于真空处理装置的低温泵系统进行了研究，其结果发现了以下的课题。若能够在真空处理装置的运转期间查看与低温泵相关的信息则会非常方便。这种信息特别有利于在出现了某种异常时确定异常的原因或恢复到正常状态。因此，提出了将显示信息的显示部一体地组装于低温泵的方案。然而，即便如此，事实上在运转中很多时候无法查看信息。这是因为，低温泵安装在真空处理装置内，因此即使设置有显示部，大部分情况下，其被隐藏在从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵系统，其搭载于真空处理装置，其特征在于，具备：至少1个低温泵；低温泵控制器，控制所述低温泵；网络，连接所述低温泵与所述低温泵控制器，并在所述低温泵与所述低温泵控制器之间传输与所述低温泵相关的信息；及低温泵监视器，与所述网络连接，并且显示经由所述网络传输的与所述低温泵相关的信息，所述低温泵控制器配置于所述真空处理装置的框体内，所述低温泵监视器配置于所述真空处理装置的框体外。2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，所述低温泵控制器能够与设置于所述真空处理装置的主控制器连接，所述低温泵监视器不经由所述主控制器而与所述网络连接。3.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，还具备至少1个压缩机，所述至少1个压缩机配置于所述真空处理装置的框体外并且与所述网络连接，所述低温泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥走，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：