具有等离激元感测能力的石英晶体微天平制造技术

提出了一种石英晶体微天平(QCM)传感器。该QCM传感器包括压电基板和至少两个电极，该至少两个电极与该基板接触以通过逆压电效应在其中引起剪切变形。该基板具有感测表面以及在该表面上从该表面突出的等离激元纳米粒子堆积物的图案。每个纳米粒子堆积物包括围绕隆起布置的多个等离激元纳米粒子。等离激元热点存在于该图案的相邻堆积物之间，这些堆积物隔开的距离等于或小于该图案的堆积物的平均直径。径。径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有等离激元感测能力的石英晶体微天平
专利

[0001]本专利技术总体上涉及一种用于感测生物、生化和/或化学物质的双原理传感器。更具体地，本专利技术涉及一种能够进行等离激元感测的石英晶体微天平(QCM)传感器，这些等离激元感测例如局域表面等离激元共振(LSPR)、表面增强拉曼光谱法(SERS)和金属增强荧光(MEF)。
[0002]专利技术背景
[0003]QCM传感器包括由石英晶体或其他压电材料制成的晶片。晶片具有设置在其两个表面上的电极。当待分析物质吸附在感测表面上时，这会产生石英晶体振荡器的共振频率的轻微变化。通过经由逆压电效应将石英晶体激发成机械共振，可以测量共振频率偏移并推断出吸附(或去除)的质量。QCM传感器是一种非常灵敏的秤，能够称量到纳克/cm2的数量级。使用解析方程可以将频率偏移与吸附质量相关联。
[0004]QCM是无标记的，并且可以使用在表面上引入的受体来实现分析物特异性。无法判断所有分析物与表面的相互作用是否由于受体而发生(任何无标记检测的常见问题)。这可以通过其他类型的信息，例如来自分子的振动信号或荧光信号来部分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种石英晶体微天平(QCM)传感器，其包括压电基板，至少两个电极，所述至少两个电极与所述基板接触以通过逆压电效应在其中引起剪切变形，所述基板具有感测表面以及在所述表面上从所述表面突出的等离激元纳米粒子堆积物的图案，其中每个纳米粒子堆积物包括围绕隆起布置的多个等离激元纳米粒子，并且其中堆积物间等离激元热点存在于所述图案的相邻堆积物之间，所述堆积物隔开的距离等于或小于所述图案的堆积物的平均直径和10nm中的较小者。2.如权利要求1所述的QCM传感器，其中，所述等离激元纳米粒子是球形的。3.如权利要求1或2所述的QCM传感器，其中，所述等离激元纳米粒子具有在从7至50nm的范围内，优选在从8至40nm的范围内并且甚至更优选在从8至30nm的范围内的平均直径。4.如权利要求1至3中任一项所述的QCM传感器，其中，最近邻纳米粒子之间的堆积物内粒子间间隔等于或小于所述平均纳米粒子直径。5.如权利要求1至4中任一项所述的QCM传感器，其中，所述等离激元纳米粒子包括等离激元金属纳米粒子。6.如权利要求1至5中任一项所述的QCM传感器，其中，所述等离激元金属纳米粒子包括金纳米粒子。7.如权利要求1至6中任一项所述的QCM传感器，其中，所述等离激元纳米粒子用封端剂稳定，所述封端剂例如柠檬酸盐、十六烷基三甲基溴化铵、聚乙烯亚胺、聚乙烯吡咯烷酮或壳聚糖。8.如权利要求1至7中任一项所述的QCM传感器，其中，所述感测表面包括等离激元金属表面，例如金表面。9.如权利要求8所述的QCM传感器，其中，所述感测表面属于所述电极之一。10.如权利要求9所述的QCM传感器，其中，所述等离激元纳米粒子通过所述等离激元纳米粒子的涂层和/或所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：西瓦尚卡尔，
申请(专利权)人：卢森堡科学技术研究院，
类型：发明
国别省市：