蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统制造方法及图纸

本公开涉及一种蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统，所述蓝宝石晶片的擦洗装置包括第一擦洗部、用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以及第二擦洗部，所述第一擦洗部和第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性清洁件，所述第一擦洗部上设置有操作部，以通过操作该操作部使得所述第一擦洗部能够进行接近或远离所述第二擦洗部的第一运动，以及在接触所述第二擦洗部的状态下沿所述第二擦洗部往复擦洗的第二运动。通过上述技术方案，本公开提供的蓝宝石晶片的擦洗装置操作简便，清洗效率高，清洗效果好。清洗效果好。清洗效果好。

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统


[0001]本公开涉及蓝宝石清洗
，具体地，涉及一种蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统。

技术介绍

[0002]单晶蓝宝石作为GaN基发光二极管(LED)应用最广泛的衬底材料，晶片的表面质量直接决定外延质量，进而影响最终LED产品的发光性能及寿命，这就要求蓝宝石晶片加工表面具有很高的完整性，表面平整度好、无划痕、无位错、低非晶相变和亚表面损伤。要获得优质的蓝宝石晶片，清洗这道工序必不可少。传统的蓝宝石清洗工工艺由人工进行单片清理，需要耗费较多的人力工时，清洗成功率低，清洗稳定性差。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种操作简便、清洗效率高、清洗效果好的蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统。
[0004]为了实现上述目的，根据本公开的第一方面，提供一种蓝宝石晶片的擦洗装置，包括第一擦洗部、用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以及第二擦洗部，所述第一擦洗部和第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性清洁件，所述第一擦洗部上设置有操作部，以通过操作该操作部使得所述第一擦洗部能够进行接近或远离所述第二擦洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶片的擦洗装置，其特征在于，包括第一擦洗部、用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以及第二擦洗部，所述第一擦洗部和第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性清洁件，所述第一擦洗部上设置有操作部，以通过操作该操作部使得所述第一擦洗部能够进行接近或远离所述第二擦洗部的第一运动，以及在接触所述第二擦洗部的状态下沿所述第二擦洗部往复擦洗的第二运动。2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的擦洗装置，其特征在于，所述柔性清洁件为棉布或海绵。3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的擦洗装置，其特征在于，所述第一擦洗部形成有第一擦洗面(11)，所述第二擦洗部形成有第二擦洗面(21)，所述第一擦洗面(11)及第二擦洗面(21)为平面，所述柔性清洁件为分别铺设在所述第一擦洗面(11)和第二擦洗面(21)的棉布。4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶片的擦洗装置，其特征在于，所述第一擦洗部两端分别形成有向上延伸的固定部(13)，所述棉布的两端固定在所述固定部(13)上。5.根据权利要求4所述的蓝宝石晶片的擦洗装置，其特征在于，所述第一擦洗部由第一长形板件(1)形成，所述第一长形板件(1)两端向上弯折以形成所述固定部(13)，所述操作部为固定在所述第一长形板件...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭世超，宋亚滨，翟虎，陆继波，陈桥玉，赵亨山，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：