本实用新型专利技术的课题是提供一种能够将形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。该减压干燥装置(1)具备腔室(10)、载物台(20)、多个排气口(16a)～(16d)、减压机构(30)和控制部(80)。减压机构(30)具有独立调节来自多个排气口(16a～16d)的排气量的多个独立阀(Va)～(Vd)。控制部(80)在腔室(10)内减压时，以每次变更多个独立阀(Va)～(Vd)中的一部分的独立阀的开闭状态或开度的方式依次对独立阀变更一部分。由此，依次切换来自多个排气口(Va)～(Vd)的排气量。通过这样做，沿基板(9)上表面形成的气流方向发生变化。结果，能够抑制由溶剂蒸气引起的干燥不均。因此，能够均匀地干燥基板(9)上表面的涂布层。干燥基板(9)上表面的涂布层。干燥基板(9)上表面的涂布层。
【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置
[0001]本技术涉及一种通过减压使形成在基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置。
技术介绍
[0002]一直以来，在有机EL显示装置的制造工序中，在基板上表面形成作为空穴注入层、空穴传输层或发光层的涂布层。通过喷墨装置将涂布层部分地涂布于基板上表面。另外，形成了涂布层的基板被搬送到减压干燥装置的腔室，接受减压干燥处理。由此，涂布层中包含的溶剂汽化从而使涂布层干燥。
[0003]减压干燥装置具备收纳基板的腔室和从腔室抽吸气体的减压机构。例如，专利文献1中记载了现有的减压干燥装置。
[0004]专利文献1：日本特开2018
‑
49806号公报。
[0005]现有的减压干燥装置中，排出腔室内气体的排气口设置于腔室的底面。这是为了在腔室减压时，在基板上表面侧形成均匀的气流。但是，在基板上表面中，在被涂布层覆盖的涂布区域中涂布层中的溶剂随着减压而汽化，与此相对的是，在未被涂布层覆盖的非涂布区域中溶剂不汽化。因此，当基板上表面侧的气流方向始终恒定时，在气体从非涂布区域流向涂布区域的部分和气体从涂布区域流向非涂布区域的部分，由于溶剂的蒸气的影响，涂布区域的端缘部中的干燥的进展程度产生差异。其结果是，存在涂布层干燥不均的情况。
技术实现思路
[0006]本技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的是提供一种能够将形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。
[0007]为解决上述课题，本申请的第一技术是通过减压将形成在基板上表面的含溶剂的涂布层干燥的减压干燥装置，具备：收纳基板的腔室；载物台，在所述腔室的内部从下方支撑基板；多个排气口，设置于所述腔室；减压机构，经由多个所述排气口抽吸所述腔室内的气体；以及控制部，控制所述减压机构。所述减压机构具有对来自多个所述排气口的排气量进行独立调节的多个独立阀。所述控制部执行切换处理，在所述切换处理中，以每次变更所述多个独立阀中的一部分的独立阀的开闭状态或开度的方式依次对所述独立阀变更所述一部分。
[0008]本申请的第二技术是第一技术的减压干燥装置中，多个所述排气口位于由所述载物台支撑的基板的下方。
[0009]本申请的第三技术是第一技术或第二技术的减压干燥装置中，多个所述独立阀为开闭阀，所述控制部以每次关闭一部分的独立阀并打开其他独立阀的方式依次对所述独立阀变更所述一部分。
[0010]本申请的第四技术是第三技术的减压干燥装置中，所述控制部以每次关闭一个独立阀并打开其他独立阀的方式依次变更一个独立阀。
[0011]本申请的第五技术是第一技术或第二技术的减压干燥装置中，多个所述独立阀是能调节开度的开度控制阀，所述控制部以每次使一部分的独立阀的开度小于其他独立阀的开度的方式依次对所述独立阀变更所述一部分。
[0012]本申请的第六技术是第五技术的减压干燥装置中，所述控制部以每次使一个独立阀的开度小于其他独立阀的开度的方式依次变更一个独立阀。
[0013]本申请的第七技术是第一技术或第二技术的减压干燥装置中，所述减压机构具有一端与多个所述排气口连接的多个独立配管，以及与多个所述独立配管的另一端连接的一个主配管。在多个所述独立配管上分别设置有所述独立阀。所述减压机构还具有设置于所述主配管的能调节开度的主阀。
[0014]本申请的第八技术是第七技术的减压干燥装置中，所述控制部根据多个所述独立阀的开闭状态或开度来控制所述主阀的开度。
[0015]本申请的第九技术是第一技术或第二技术的减压干燥装置中，所述控制部至少在所述涂布层沸腾时执行所述切换处理。
[0016]本申请的第十技术是第一技术或第二技术的减压干燥装置中，所述基板上表面具有被所述涂布层覆盖的部分和从所述涂布层露出的部分。
[0017]根据本申请的第一技术～第十技术，在腔室内减压时，依次切换来自多个排气口的排气量。由此，沿基板上表面形成的气流方向发生变化。其结果是，能够抑制由从涂布层汽化的溶剂蒸气引起的干燥不均。因此，能够均匀地干燥基板上表面的涂布层。
[0018]尤其是，根据本申请的第二技术，腔室内的气体从基板的下方排气。由此，能够使基板上表面侧的气体的流动均匀化。
[0019]尤其是，根据本申请的第四技术，通过仅关闭一个独立阀，能够确保排气量。
[0020]尤其是，根据本申请的第五技术，能够使沿基板上表面形成的气流比使用开闭阀的情况更平缓地变化。
[0021]尤其是，根据本申请的第六技术，通过仅缩小一个独立阀的开度，能够确保排气量。
[0022]尤其是，根据本申请的第八技术，能够抑制减压机构整体的排气量的变化。
[0023]尤其是，根据本申请的第九技术，能够抑制因涂布层沸腾而大量产生的溶剂蒸气沿一个方向流动。因此，能够抑制由溶剂蒸气引起的干燥不均。
附图说明
[0024]图1是减压干燥装置的纵向剖面图。
[0025]图2是减压干燥装置的横向剖面图。
[0026]图3是基板的立体图。
[0027]图4是示意性示出在控制部中实现的功能的框图。
[0028]图5是表示减压干燥处理的流程的流程图。
[0029]图6是表示腔室内的气压变化的图。
[0030]图7是表示载物台配置于上升位置时的腔室内状态的图。
[0031]图8是表示四个独立阀开闭状态变化的时序图。
[0032]图9是基板的局部纵向剖面图。
[0033]图10是表示载物台配置于下降位置时的腔室内状态的图。
[0034]图11是表示变形例的四个独立阀开闭状态变化的时序图。
[0035]图12是变形例的减压干燥装置的纵向剖面图。
[0036]图13是变形例的减压干燥装置的纵向剖面图。
[0037]附图标记的说明
[0038]1 减压干燥装置
[0039]9 基板
[0040]10 腔室
[0041]11 底板部
[0042]12 侧壁部
[0043]13 顶面部
[0044]16a 排气口
[0045]16b 排气口
[0046]16c 排气口
[0047]16d 排气口
[0048]16f 供气口
[0049]20 载物台
[0050]21 支撑板
[0051]22 支撑销
[0052]23 升降机构
[0053]30 减压机构
[0054]31 排气配管
[0055]32 真空泵
[0056]40 底面整流板
[0057]50 侧面整流板
[0058]51 顶面整流板
[0059]60 供气机构
[0060]61 供气配管
[0061]70 压力计
[0062]80本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，通过减压将形成在基板的上表面的含溶剂的涂布层干燥，其特征在于，具备：收纳基板的腔室；载物台，在所述腔室的内部从下方支撑基板；多个排气口，设置于所述腔室；减压机构，经由多个所述排气口抽吸所述腔室内的气体；以及控制部，控制所述减压机构，所述减压机构具有对来自多个所述排气口的排气量进行独立调节的多个独立阀，所述控制部执行切换处理，在所述切换处理中，以每次变更所述多个独立阀中的一部分的独立阀的开闭状态或开度的方式依次对所述独立阀变更所述一部分。2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，多个所述排气口位于由所述载物台支撑的基板的下方。3.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于，多个所述独立阀为开闭阀，所述控制部以每次关闭一部分的独立阀并打开其他独立阀的方式依次对所述独立阀变更所述一部分。4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于，所述控制部以每次关闭一个独立阀并打开其他独立阀的方式依次变更一个独立阀。5.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：高村幸宏，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：新型
国别省市：
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