【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具备防水功能的端子板组件,尤其涉及适用于具有一个以上端子的端子板的防水型端子板组件,所述端子用于电连接冷却型线性电动机中的线圈与外部电路。
技术介绍
在半导体制造装置或液晶制造装置中,作为用于安装工件确定其位置的定位装置的驱动源,线性电动机的需求增大。但是,线性电动机中线圈是不可欠缺的,线圈不可避免地要成为发热源。因此,需要严格的温度管理的装置、例如分档器等所使用的线性电动机中线圈的冷却结构不可欠缺。具有线圈冷却结构的线性电动机称为冷却型线性电动机,公开在例如日本特开2001-275337号公报中。一般来说,冷却型线性电动机大多采用由金属或树脂等壳体包覆线圈以便在线圈的周围获得空间、使制冷剂在壳体内流动冷却线圈的方式。在壳体内设置具有一个以上用于连接内部的线圈与外部电路的端子的端子板。采用这种方式的线性电动机的问题是如何密封端子板、如何提高维修保养性和廉价地设置的问题。下面说明现有技术的冷却型线性电动机的端子板结构的第1~第3例。第1~第3例中每一例的端子板除端子外,主要部分均由绝缘性树脂材料构成。第1例使用图1所示的市售端子板100。端子板10 ...
【技术保护点】
一种防水型端子板组件,其特征在于,包括:端子板,具有一个设有一个以上端子的面,所述端子用于连接引线部件;绝缘板,被安装在上述端子板的上述一个面上,在与包括上述一个以上端子及其周围区域的部分相对应的部分具有从与上述一个面接触的面到相反 面的第1贯通孔;金属板,被安装在上述绝缘板的上述相反面上,在与上述一个以上端子相对应的部分具有一个以上从与上述绝缘板接触的面到相反面的第2贯通孔,上述引线部件穿过上述第1、第2贯通孔,从上述金属板的上述相反面一侧引出;上述第 1、第2贯通孔由填充到其中的粘接剂密封。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:筱平大辅,臼井道太郎,森英彦,小梁川靖,
申请(专利权)人:住友重机械工业株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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