【技术实现步骤摘要】
一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置
[0001]本技术属于半导体零部件清洗
，具体涉及一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，若其使用的零部件表面附带杂质颗粒，则会影响到半导体的生产质量，因此，对零部件的清洁度、表面均匀度等要求较高，而在零部件的清洗时需要使用到清洗液，清洗液是通过将水与清洗溶剂按比例混合后制成，其在使用后，清洗液会带着冲洗下的油污和杂质颗粒，出于环保和清洗成本的考虑需要将清洗液回收净化，便于清洗液的再次利用，但是现有技术中的针对清洗液溶解的油污处理较为困难，为此我们提出一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置，包括处理箱，所述处理箱的上端设置有除油槽，且除油槽的一侧通过管道连通清洗设备排水口...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置，包括处理箱(1)，其特征在于：所述处理箱(1)的上端设置有除油槽(2)，且除油槽(2)的一侧通过管道连通清洗设备排水口，所述处理箱(1)的上端等间距设置有多个水冷除油辊(3)，每个所述水冷除油辊(3)的顺时针一侧均设置有油污收集槽(4)，所述油污收集槽(4)的上端靠近水冷除油辊(3)的一侧设置有四氟刮板(5)，且四氟刮板(5)与水冷除油辊(3)的外壁相抵，所述处理箱(1)的右侧设置有热泵机组(8)，且热泵机组(8)的冷水循环管路与水冷除油辊(3)连通，多个所述水冷除油辊(3)的里侧均通过蜗轮蜗杆传动机构(6)与驱动电机传动连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置，其特征在于：所述热泵机组(8)的两端均设置有冷水循环管道(7)，所述水冷除油辊(3)的两端分别通过旋转接头(17)与两侧的冷水循环管道(7)连通，且热泵机组(8)通过冷水循环管道(7)在水冷除油辊(3)内循环冷水，所述热泵机组(8)的上端设置有加热箱(9)，所述加热箱(9)连接处理箱(1)的排水端，且加热箱(9)的出水管连接清洗液储罐。3.根据权利要求2所述的一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置，其特征在于：所述热泵机组(8)的上端设置有多个换热管道(14)，且多个...
【专利技术属性】
技术研发人员：辛长林，阚云峰，刘洪刚，
申请(专利权)人：安徽高芯众科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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