一种制备电子级磷酸的熔融结晶器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种制备电子级磷酸的熔融结晶器及其方法与电子级磷酸，所述熔融结晶器包括双层结晶壳体、第一恒温槽与第二恒温槽；所述双层结晶壳体的内部设置有冷却管，所述冷却管下方设置有圆台底座；所述第一恒温槽与冷却管连接；所述第二恒温槽与双层结晶壳体连接。本实用新型专利技术提供的熔融结晶器通过在冷却管底部设置圆台底座可有效防止晶体堵塞排液口，让晶层均匀分布在冷却管外壁；通过双恒温槽对熔体进行内外降温，实现在管内冷却介质降温使晶层生长的同时，缓慢降低外层介质温度使磷酸液体慢冷，增大传热推动力，解决了随着晶层厚度增加热阻增大的问题，有效提高了晶层生长速率。长速率。长速率。

【技术实现步骤摘要】
一种制备电子级磷酸的熔融结晶器


[0001]本技术属于磷酸纯化
，涉及一种制备电子级磷酸的熔融结晶器。

技术介绍

[0002]电子级磷酸是微电子工业中使用的一种超高纯化学试剂，广泛用于集成电路、薄膜液晶显示器、硅圆片光刻等电子器件生产过程的湿法清洗和湿法蚀刻。如果金属离子或不溶性固体存在于微细电路中，可能会引起大规模电路短路报废，因此在电子器件制作的每一步工艺开始前都需要进行清洗，这对用于湿法清洗的磷酸提出了非常高的质量要求。通过湿法或热法工艺得到的工业级、食品级或低端电子级磷酸，距离半导体元器件生产的应用要求仍较大，其砷、铁、锑、铬、镍、钠等离子杂质，会在电路板蚀刻过程中大大降低产品质量及使用可靠性。因此在将磷酸应用于电子电路板、液晶屏等高端电子元器件之前，必须要进行进一步的净化，以得到超高纯电子级磷酸。
[0003]熔融结晶法不需要引入溶剂、经结晶
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发汗即可达到较好的纯化效果，具有很好的应用前景，该方法主要问题在于结晶器的选择。电子级磷酸制备常采用的结晶塔式，将磷酸通入结晶塔内，利用冷却介质对结晶器内原料磷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制备电子级磷酸的熔融结晶器，其特征在于，所述熔融结晶器包括双层结晶壳体、第一恒温槽与第二恒温槽；所述双层结晶壳体的内部设置有冷却管，所述冷却管下方设置有圆台底座；所述第一恒温槽与冷却管连接；所述第二恒温槽与双层结晶壳体连接。2.根据权利要求1所述的熔融结晶器，其特征在于，所述双层结晶壳体下方设置排液口。3.根据权利要求1所述的熔融结晶器，其特征在于，所述冷却管包括旋转冷却管。4.根据权利要求1所述的熔融结晶器，其特征在于，所述冷却管包括直形冷凝管、球形冷凝管或蛇形冷凝管中的任意一种。5.根据权利要求1所述的熔融结晶器，其特征在于，所述圆台底座...

【专利技术属性】
技术研发人员：程景才，张碧玉，杨超，张妍，杨丽，李媛媛，
申请(专利权)人：中国科学院过程工程研究所，
类型：新型
国别省市：