一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，包括MEMS支架、安装在MEMS支架上的一维MEMS振镜、中空的旋转底盘、位于电机内的环形磁铁以及位于电机下方的半透半反镜、激光准直镜、激光器、激光接收器和激光接收聚焦镜，所述一维MEMS振镜及半透半反镜位于环形磁铁的中轴线上，所述旋转底盘固定在环形磁铁内侧，所述MEMS支架固接在旋转底盘上，所述半透半反镜、激光准直镜以及激光器依次排列于激光发射线上，所述半透半反镜、激光接收聚焦镜以及激光接收器依次排列于激光接收线上，所述激光发射线或激光接收线与环形磁铁的中轴线相重合。本实用新型专利技术降低了电机的负载重量和激光雷达功耗。整体设计紧凑，减少了装置的体积。减少了装置的体积。减少了装置的体积。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达


[0001]本技术涉及一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，属于激光探测


技术介绍

[0002]近几年来，随着机器人、无人驾驶领域的蓬勃发展，对智能感知传感器的需求越来越紧迫。激光雷达作为关键核心智能感知传感器之一，因测距精度高，方向性强，响应快，不受地面杂波影响等优势，且能有效提供机器人、车辆決策与控制系统所需之信息，成为目前机器人、无人驾驶等环境感测最有效方案。
[0003]目前的三维扫描激光雷达多采用多线扫描方式，即发射模块使用多个激光管顺序发射，结构为多个激光管纵向排列，每个激光管与竖向之间有一定的夹度，垂直发射视场在20
‑
40
°
。接收模块在对应角度进行接收，每一个接收探测器对应一个发射角度，接收模块和发射模块在两侧对称排布，内部使用反光镜进行光路转折，然后在水平方向旋转实现三维扫描测距，多线激光雷达采用控制多个竖直方向排列的发射二极管顺序发射，同时对应多个发射二极管安装同等数量的接收探测器，造成竖直方向体积增大，功耗散热高，成本居高不下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：包括MEMS支架、安装在MEMS支架上的一维MEMS振镜、中空的旋转底盘、位于电机内的环形磁铁以及位于电机下方的半透半反镜、激光准直镜、激光器、激光接收器和激光接收聚焦镜，所述一维MEMS振镜及半透半反镜位于环形磁铁的中轴线上，所述旋转底盘固定在环形磁铁内侧，所述MEMS支架固接在旋转底盘上，所述半透半反镜、激光准直镜以及激光器依次排列于激光发射线上，所述半透半反镜、激光接收聚焦镜以及激光接收器依次排列于激光接收线上，所述激光发射线或激光接收线与环形磁铁的中轴线相重合，激光器发射的激光经激光准直镜准直后经半透半反镜作用照射在一维MEMS振镜上，由一维MEMS振镜反射至探测物上并产生漫反射，漫反射光经一维MEMS振镜反射后进入半透半反镜，半透半反镜将漫反射光反射或透射，经激光接收聚焦镜聚焦至激光接收器，环形磁铁带动旋转底盘旋转，一维MEMS振镜随着同步旋转实现360
°
...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟义晖，王丽，罗海燕，朱天凤，
申请(专利权)人：上海市激光技术研究所，
类型：新型
国别省市：