【技术实现步骤摘要】
处理液供给装置
[0001]本公开涉及一种处理液供给装置。
技术介绍
[0002]专利文献1中公开了一种更换药液收纳容器的方法。在该方法中，使用以与容器的配置方式大致相同的方式配置有各LED的LED显示部，在容器内的药液空了时，点亮LED显示部的对应的LED。操作者在更换容器71的作业之前，通过条形码读取器来读取未使用容器的条形码。条形码读取对照机将未使用容器的条形码数据与登记在数据库中的同点亮中的LED对应的容器的条形码数据进行对照。而且，在通过条形码读取对照机判断为两容器的药液种类相同的情况下，LED的显示从点亮显示转移到闪烁显示。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2006
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218391号公报
技术实现思路
[0006]技术要解决的问题
[0007]本公开所涉及的技术在处理液供给装置中对处理液的贮存容器进行更换时，以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式通知更换后的贮存容器是否适当。
[0008]用于
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种处理液供给装置，对使用处理液来处理基板的基板处理装置供给处理液，该处理液供给装置的特征在于，具备：收容部，其具有多个分区，各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器；获取部，针对所述分区分别设置所述获取部，所述获取部从附在设置于对应的所述分区的所述贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息；以及通知部，针对所述分区分别设置所述通知部，所述通知部基于对应的所述分区的所述获取部的获取结果，以发光元件的发光状态来通知该分区中的所述贮存容器的设置状态，其中，所述通知部的所述发光元件朝向所述一侧面侧发光。2.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，所述收容部具有第一设置台以及第二设置台，所述第一设置台以及所述第二设置台分别具有所述分区，所述获取部具有针对所述第一设置台设置的第一获取部和针对所述第二设置台设置的第二获取部，所述通知部具有针对所述第一设置台设置的第一通知部和针对所述第二设置台设置的第二通知部，所述第二设置台位于比所述第一设置台低的位置，以所述第一设置台的高度位置为基...
【专利技术属性】
技术研发人员：宇都宫由典，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：新型
国别省市：
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