一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座，包括顶板、托板、底座和底板，所述顶板包括钢板框体、横向钢筋、纵向钢筋、竖向钢筋、混凝土和托板，所述混凝土浇筑于顶板内部，所述顶板底部与托板焊接，所述托板底部与底座焊接，所述底板焊接于底座四周外侧。本实用新型专利技术上部为钢筋混凝土基座，下部为钢构基座，焊接为整体，减少了传统混凝土的重量，移动方便，通过托板设置，提高了基座的防微振能力，防微振等级可达VC

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备这种精密仪器对精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]传统的防微振基座有混凝土基座和钢结构基座，混凝土基座需要钢筋配置，混凝土浇筑一次成型，需要布置大量钢筋，基座移动困难，但对于很多精密仪器是不需要这么重的基座进行隔振的，但单纯的钢结构基座，因为刚度较混凝土基座小，又无法满足此类精密仪器对隔振标准的要求，只能选择混凝土基座，造成成本过高，资源浪费等问题。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座，包括顶板、托板、底座和底板，所述顶板包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座，包括顶板、托板、底座和底板，其特征在于，所述顶板包括钢板框体、横向钢筋、纵向钢筋、竖向钢筋、混凝土和托板，所述混凝土浇筑于顶板内部，所述顶板底部与托板焊接，所述托板底部与底座焊接，所述底板焊接于底座四周外侧。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的钢混一体式防微振基座，其特征在于，所述横向钢筋、纵向钢筋和竖向钢筋相互垂直焊接。3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的钢混一体式...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙乐，赵小江，尹波，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：