一种长方片清洗机制造技术

技术编号:33567878 阅读:41 留言:0更新日期:2022-05-26 23:09
本实用新型专利技术公开了一种长方片清洗机,属于晶片加工技术领域,包括底板,所述底板的顶部四角处均固定安装有立柱,几个所述立柱的顶部固定安装有清洗舱,所述清洗舱的内侧固定安装有若干个晶片放置组件,所述清洗舱的内侧活动设置有推板,所述推板上且于每个晶片放置组件的对应位置均开设有贯穿孔,所述底板上还设置有水循环组件,通过设置晶片放置组件和水循环组件,水泵将清洗舱的内侧的水抽出,杂质随着水被水泵输送过滤舱的内侧,当冲洗水到达过滤舱的内侧后,会通过过滤网回落至清洗舱的内侧,并落至推板的上方,杂质被过滤网过滤在过滤舱的内侧,从而达到分离水和杂质的效果,避免杂质重新附着到长方体表面的问题。免杂质重新附着到长方体表面的问题。免杂质重新附着到长方体表面的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种长方片清洗机


[0001]本技术涉及晶片加工
,更具体地说,它涉及一种长方片清洗机。

技术介绍

[0002]长方晶片是硅晶片的一种,由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造,长方片在制造的过程中,表面会沾染上很多杂质,需要进行清洗。
[0003]现有的长方片清洗机在使用时还是存在一定的问题,例如现有的长方片清洗机在清洗时,无法将清洗后的杂质过滤出来,杂质掺杂在水中,很容易重新附着到长方体的表面。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种长方片清洗机,其具有的特点能够使得水和杂质分离。
[0005]为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:
[0006]一种长方片清洗机,包括底板,所述底板的顶部四角处均固定安装有立柱,几个所述立柱的顶部固定安装有清洗舱,所述清洗舱的内侧固定安装有若干个晶片放置组件,所述清洗舱的内侧活动设置有推板,所述推板上且于每个晶片放置组件的对应位置均开设有贯穿孔,所述底板上还设置有水循环组件,所述晶片放置组件包括支腿和清洗罩,所述支腿固定安装于清洗舱的内侧底面,所述清洗罩固定安装于支腿的顶部,所述支腿内侧为中空结构,所述清洗罩的顶部固定安装有顶部框架,所述清洗罩的顶部四角处且于顶部框架的内侧固定安装有套柱,所述清洗罩的顶部通过套柱可拆卸安装有封盖。
[0007]通过采用上述技术方案,水循环组件和推板工作可以过滤清洗后的水。
[0008]进一步地,所述清洗舱的内侧底面四角处均固定安装有凸块,几个所述凸块的顶部均固定安装有圆柱,所述推板活动套接于几个圆柱之间,所述圆柱的外侧且于推板和凸块之间活动套接有弹簧。
[0009]通过采用上述技术方案,清洗舱内侧推板上方的水越来越多,水的重力向下按压推板,使得推板受到水的压力向下移动,推板向下移动的过程中会挤压弹簧,使得弹簧形变产生弹力。
[0010]进一步地,所述水循环组件包括水泵,所述水泵固定安装于底板的上表面,所述清洗舱的底部设置有出水口,所述水泵的进水端固定连接有出水管,所述出水管远离水泵的一端和出水口固定连接,所述水泵的出水端固定连接有水管,所述清洗舱的上表面固定安装有支架,所述支架的顶端固定安装有过滤舱,所述水管远离水泵的一端和过滤舱固定连接,所述过滤舱的底部开设有回水口,所述回水口的内侧固定安装有过滤网。
[0011]通过采用上述技术方案,水泵将清洗舱的内侧的水抽出,杂质随着水被水泵输送过滤舱的内侧,当冲洗水到达过滤舱的内侧后,会通过过滤网回落至清洗舱的内侧,并落至
推板的上方,杂质被过滤网过滤在过滤舱的内侧,从而达到分离水和杂质的效果。
[0012]进一步地,所述清洗罩的底部均开设有漏孔,所述支腿的底部开设有两个底部贯穿槽,所述底部贯穿槽的高度和凸块的高度一致。
[0013]通过采用上述技术方案,清洗水可以通过漏孔从清洗罩的内侧脱离。
[0014]进一步地,所述圆柱的顶部固定安装有防脱结构,所述推板的上表面开设有贯穿槽,所述推板上且于贯穿槽的内侧可拆卸安装有密封塞。
[0015]通过采用上述技术方案,清洗舱内侧推板下方的水被抽出干净后,可以将密封塞从贯穿槽的内侧取出,使得推板上方的水通过贯穿槽回落至清洗舱内侧推板的下方,随着推板上方的水量减少。
[0016]综上所述,本技术具有以下有益效果:
[0017]1、通过设置晶片放置组件和水循环组件,水泵将清洗舱的内侧的水抽出,杂质随着水被水泵输送过滤舱的内侧,当冲洗水到达过滤舱的内侧后,会通过过滤网回落至清洗舱的内侧,并落至推板的上方,杂质被过滤网过滤在过滤舱的内侧,从而达到分离水和杂质的效果,避免杂质重新附着到长方体表面的问题。
[0018]2、通过设置水循环组件和推板,水泵抽取清洗舱内侧的水的过程中,清洗舱内侧推板上方的水越来越多,水的重力向下按压推板,使得推板受到水的压力向下移动,推板向下移动的过程中会挤压弹簧,使得弹簧形变产生弹力,使得被过滤后的水和未被过滤的水被推板隔离。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图;
[0020]图2为本技术的整体结构剖视图;
[0021]图3为本技术中晶片放置组件结构爆炸图;
[0022]图4为本技术图2中A处放大图。
[0023]图中:
[0024]1、底板;2、立柱;3、清洗舱;4、推板;5、过滤舱;6、水管;7、支架;8、密封塞;9、水泵;10、出水口;11、过滤网;12、支腿;13、出水管;15、封盖;16、套柱;17、顶部框架;18、清洗罩;19、底部贯穿槽;20、防脱结构;21、凸块;22、圆柱;23、弹簧。
具体实施方式
[0025]实施例:
[0026]以下结合附图1

4对本技术作进一步详细说明。
[0027]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种长方片清洗机,如图1

4所示,一种长方片清洗机,包括底板1,底板1的顶部四角处均固定安装有立柱2,几个立柱2的顶部固定安装有清洗舱3,清洗舱3的内侧固定安装有若干个晶片放置组件,清洗舱3的内侧活动设置有推板4,推板4上且于每个晶片放置组件的对应位置均开设有贯穿孔,底板1上还设置有水循环组件,晶片放置组件包括支腿12和清洗罩18,支腿12固定安装于清洗舱3的内侧底面,清洗罩18固定安装于支腿12的顶部,支腿12内侧为中空结构,清洗罩18的顶部固定安装有顶部框架17,清洗罩18的顶部四角处且于顶部框架17的内侧固定安装有套柱16,清洗罩
18的顶部通过套柱16可拆卸安装有封盖15,清洗舱3的内侧底面四角处均固定安装有凸块21,几个凸块21的顶部均固定安装有圆柱22,推板4活动套接于几个圆柱22之间,圆柱22的外侧且于推板4和凸块21之间活动套接有弹簧23,清洗罩18的底部均开设有漏孔,支腿12的底部开设有两个底部贯穿槽19,底部贯穿槽19的高度和凸块21的高度一致,圆柱22的顶部固定安装有防脱结构20,推板4的上表面开设有贯穿槽,推板4上且于贯穿槽的内侧可拆卸安装有密封塞8。
[0028]本实施例中,清洗舱3的内侧且于推板4的下方装载有清洗水,将需要清洗的多个长方片分别放置在几个清洗罩18的内侧,在清洗舱3的内侧进行清洗,清洗时,长方片表面的杂质脱离,并通过漏孔排出至清洗罩18的外侧,清洗完成后启动水泵9,使得水泵9将清洗舱3的内侧的水抽出,杂质随着水被水泵9输送过滤舱5的内侧,当冲洗水到达过滤舱5的内侧后,会通过过滤网11回落至清洗舱3的内侧,并落至推板4的上方,杂质被过滤网11过滤在过滤舱5的内侧,从而达到分离水和杂质的效果。
[0029]如图1

4所示,水循环组件包括水泵9,水泵9固定安装于底板1的上表面,清洗舱3的底部设置有出水口10,水泵本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长方片清洗机,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部四角处均固定安装有立柱(2),几个所述立柱(2)的顶部固定安装有清洗舱(3),所述清洗舱(3)的内侧固定安装有若干个晶片放置组件,所述清洗舱(3)的内侧活动设置有推板(4),所述推板(4)上且于每个晶片放置组件的对应位置均开设有贯穿孔,所述底板(1)上还设置有水循环组件。2.根据权利要求1所述的一种长方片清洗机,其特征在于:所述晶片放置组件包括支腿(12)和清洗罩(18),所述支腿(12)固定安装于清洗舱(3)的内侧底面,所述清洗罩(18)固定安装于支腿(12)的顶部,所述支腿(12)内侧为中空结构,所述清洗罩(18)的顶部固定安装有顶部框架(17),所述清洗罩(18)的顶部四角处且于顶部框架(17)的内侧固定安装有套柱(16),所述清洗罩(18)的顶部通过套柱(16)可拆卸安装有封盖(15)。3.根据权利要求2所述的一种长方片清洗机,其特征在于:所述清洗舱(3)的内侧底面四角处均固定安装有凸块(21),几个所述凸块(21)的顶部均固定安装有圆柱(22),所述推板(4)活动套接于几个圆柱(22)之间,所述圆柱(22)的外侧且于推...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗吉如
申请(专利权)人:深圳市晶迅捷科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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