一种蒸镀用模块化金属掩模板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蒸镀用模块化金属掩模板，包括框架和多个掩模板本体，所述框架上设置有用于与多个所述掩模板本体相适配的开口，所述开口的内侧壁上设置有第一台阶，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶配合的第二台阶。本实用新型专利技术通过设置框架，并设置多个掩模板本体，框架能够对掩模板本体进行限位固定，保证蒸镀工序的正常进行，并且能够在一次蒸镀的过程中进行多个掩模板本体的蒸镀工序，有效提高了蒸镀的效率。有效提高了蒸镀的效率。有效提高了蒸镀的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀用模块化金属掩模板


[0001]本技术涉及蒸镀
，具体涉及一种蒸镀用模块化金属掩模板。

技术介绍

[0002]现有的钙钛矿圆晶、钙钛矿太阳电池器件的电极通常采用蒸镀技术，蒸镀电极时，在真空腔体内，通过高温加热金属材料，使其蒸发为气态金属原子，气态金属原子通过高精度金属掩模板，沉积到基板上。
[0003]中国专利技术专利CN 208234982 U公开了一种金属掩模板组件，包括：框架，由多个框架条首尾相连围合而成；多个第一薄片，多个第一薄片相平行，且每个第一薄片的两端分别与框架条固定连接；多个胶带条，与每个框架条相粘贴，且与每个第一薄片相粘贴。该组件在真空蒸镀时容易胶带条脱落，造成掩模板与基片发生位移。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是解决上述的不足，提供一种蒸镀用模块化金属掩模板。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种蒸镀用模块化金属掩模板，包括框架和多个掩模板本体，所述框架上设置有用于与多个所述掩模板本体相适配的开口，所述开口的内侧壁上设置有第一台阶，多个所述掩模板上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用模块化金属掩模板，其特征在于：包括框架(1)和多个掩模板本体(2)，所述框架(1)上设置有用于与多个所述掩模板本体(2)相适配的开口(11)，所述开口(11)的内侧壁上设置有第一台阶(12)，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶(12)配合的第二台阶(21)。2.如权利要求1所述的蒸镀用模块化金属掩模板，其特征在于：所述第二台阶(21)与所述第一台阶(12)的高度相同。3.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘旭，张辉，叶加久，汪子涵，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：新型
国别省市：