一种蒸镀用模块化金属掩模板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蒸镀用模块化金属掩模板，包括框架和多个掩模板本体，所述框架上设置有用于与多个所述掩模板本体相适配的开口，所述开口的内侧壁上设置有第一台阶，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶配合的第二台阶。本实用新型专利技术通过设置框架，并设置多个掩模板本体，框架能够对掩模板本体进行限位固定，保证蒸镀工序的正常进行，并且能够在一次蒸镀的过程中进行多个掩模板本体的蒸镀工序，有效提高了蒸镀的效率。有效提高了蒸镀的效率。有效提高了蒸镀的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀用模块化金属掩模板


[0001]本技术涉及蒸镀
，具体涉及一种蒸镀用模块化金属掩模板。

技术介绍

[0002]现有的钙钛矿圆晶、钙钛矿太阳电池器件的电极通常采用蒸镀技术，蒸镀电极时，在真空腔体内，通过高温加热金属材料，使其蒸发为气态金属原子，气态金属原子通过高精度金属掩模板，沉积到基板上。
[0003]中国专利技术专利CN 208234982 U公开了一种金属掩模板组件，包括：框架，由多个框架条首尾相连围合而成；多个第一薄片，多个第一薄片相平行，且每个第一薄片的两端分别与框架条固定连接；多个胶带条，与每个框架条相粘贴，且与每个第一薄片相粘贴。该组件在真空蒸镀时容易胶带条脱落，造成掩模板与基片发生位移。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是解决上述的不足，提供一种蒸镀用模块化金属掩模板。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种蒸镀用模块化金属掩模板，包括框架和多个掩模板本体，所述框架上设置有用于与多个所述掩模板本体相适配的开口，所述开口的内侧壁上设置有第一台阶，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶配合的第二台阶。
[0006]进一步的，所述第二台阶与所述第一台阶的高度相同。
[0007]进一步的，所述开口与所述掩模板本体上的四角分别进行圆角处理。
[0008]进一步的，所述掩模板本体上均匀分布设置有通孔。
[0009]进一步的，多个所述掩模板本体上的所述通孔形状不同。
[0010]进一步的，所述框架上设置有拿取板。
[0011]对比现有技术，本技术具有如下的有益效果：
[0012]1、本技术通过设置框架，并设置多个掩模板本体，框架能够对掩模板本体进行限位固定，保证蒸镀工序的正常进行，并且能够在一次蒸镀的过程中进行多个掩模板本体的蒸镀工序，有效提高了蒸镀的效率；
[0013]2、本技术通过在掩模板本体上设置均匀分布的通孔，首先可以同时进行多个掩模板本体的蒸镀工序，提高蒸镀效率，并且通过设置形状不同的通孔，从而可以在需要时，使用不同形状通孔的掩模板本体同时进行蒸镀工序，从而满足不同器件的电极蒸镀要求，方便使用；
[0014]3、本技术通过设置第一台阶与第二台阶，首先方便将掩模板本体放置在开口中，其次第一台阶与第二台阶的高度相同，能够使得掩模板本体与框架之间紧密贴合，消除空隙，从而显著消除蒸镀过程中的阴影效应，避免了蒸镀过程中产品移动错位。
附图说明
[0015]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0016]图1为本技术一实施例的使用时的俯视结构示意图。
[0017]图2为本技术一实施例的框架的俯视结构示意图。
[0018]图3为本技术一实施例的框架的侧视剖视结构示意图。
[0019]图4为图3中A部分的放大结构示意图。
[0020]图5为本技术一实施例的掩模板的俯视结构示意图。
[0021]图6为本技术一实施例的掩模板的侧视剖视结构示意图。
[0022]图7为图6中B部分的放大结构示意图。
[0023]图8为本技术一实施例的另一种掩模板的俯视结构示意图。
[0024]图9为本技术一实施例的另一种掩模板的背板的俯视结构示意图。
[0025]图中：1、框架；2、掩模板本体；11、开口；12、第一台阶；21、第二台阶；22、通孔；13、拿取板；23、定位机构；231、定位孔；232、固定块；24、背板；241、连接孔。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0028]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，“多个”指两个以上。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0029]如图1
‑
9所示，本技术蒸镀用模块化金属掩模板，包括框架1和多个掩模板本体2，所述框架1上设置有用于与多个所述掩模板本体2相适配的开口11，所述开口11的内侧壁上设置有第一台阶12，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶12配合的第二台阶21。
[0030]使用时，将多个掩模板本体2分别放入框架1上的开口11内，通过第一台阶12与第二台阶21的配合，实现对掩模板本体2的限位固定，便于一次进行多个掩模板本体2的蒸镀
工序，提高蒸镀的效率。
[0031]在一实施例中，所述第二台阶21与所述第一台阶12的高度相同。这样设计，能够使得掩模板本体2与框架1之间紧密贴合，消除空隙，从而显著消除蒸镀过程中的阴影效应，避免了蒸镀过程中产品移动错位。
[0032]在一实施例中，所述开口11与所述掩模板本体2上的四角分别进行圆角处理。这样设计，通过进行圆角处理，避免了开口11和掩模板本体2容易碰伤的情况，方便对掩模板本体2进行放置。
[0033]在一实施例中，所述掩模板本体2上均匀分布设置有通孔22。这样设计，通过均匀分布设置有通孔22，便于对蒸镀后的产品进行收集。
[0034]在一实施例中，多个所述掩模板本体2上的所述通孔22形状不同。这样设计通过多个掩模板本体2上的通孔22形状不同，从而便于在一次蒸镀工序中进行不同形状产品的蒸镀，从而提高掩模板本体2的适用性。
[0035]在一实施例中，所述框架1上设置有拿取板13。这样设计，便于对框架1进行拿取转移，方便工作人员的使用。
[0036]优选的，所述掩模板本体2上设置有定位机构23。这样设计，通过设置定位机构23，从而使得掩模板本体2可以单独使用，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用模块化金属掩模板，其特征在于：包括框架(1)和多个掩模板本体(2)，所述框架(1)上设置有用于与多个所述掩模板本体(2)相适配的开口(11)，所述开口(11)的内侧壁上设置有第一台阶(12)，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶(12)配合的第二台阶(21)。2.如权利要求1所述的蒸镀用模块化金属掩模板，其特征在于：所述第二台阶(21)与所述第一台阶(12)的高度相同。3.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘旭，张辉，叶加久，汪子涵，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：新型
国别省市：