一种氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置，包括激光器，所述激光器与准直镜、扫描振镜、场镜依次连接，所述场镜下方设有气浴反应室，气浴反应室内设有氮化铝陶瓷。激光由激光器输出，依次经过准直镜、扫描振镜、场镜，产生会聚光束，经过气浴反应室后光束聚焦于待加工的氮化铝陶瓷的表面，形成微孔氧化层。本实用新型专利技术能够得到均匀、表面平整无气孔的高质量氧化层，无需传统方法的后续图形化工艺过程，且提高了加工效率。且提高了加工效率。且提高了加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置


[0001]本技术涉及金属化加工
，具体涉及一种在氮化铝陶瓷表面制备微孔氧化层的图形化加工方法。

技术介绍

[0002]公开该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本技术的总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
[0003]氮化铝陶瓷是一种综合性能良好，具有广阔使用前景的新型陶瓷材料，由于其本身不导电，将其应用于电子器件封装时需要将其表面附着一层金属(金属化),以便制备金属线路。然而，氮化铝陶瓷的浸润性很差，在表面直接附着金属十分困难。
[0004]氮化铝陶瓷金属化常用的方法为直接覆铜法。在空气中高温加热分解氮化铝，使氮化铝陶瓷表面产生氧化层，将加热后的铜膜铺覆在陶瓷表面。但加热形成的氧化层孔隙较大并伴随裂纹产生，这些缺陷会大大削弱了金属层的粘结强度，也会减少覆铜氮化铝陶瓷板的热循环次数。

技术实现思路

[0005]为了克服上述问题，本技术设计了一种氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置，能够得到均匀、表面平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置，其特征在于，包括激光器，所述激光器与准直镜、扫描振镜、场镜依次连接，所述场镜下方设有气浴反应室，气浴反应室内设有氮化铝陶瓷。2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置，其特征在于，所述气浴反应室内设有三轴运动平台，三轴运动平台上设有氮化铝陶瓷。3.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置，其特征在于，三轴运动平台设置于气浴反应室外部，带动气浴反应室和氮化铝陶瓷共同运动。4.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图形化加工装置，其特征在于，所述气浴反应室设有透明上盖。5.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷表面微孔氧化层图...

【专利技术属性】
技术研发人员：董浩，邵晶，孙树峰，张若兰，韩素立，张丰云，李卓，王英明，
申请(专利权)人：青岛理工大学，
类型：新型
国别省市：