离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构制造技术

本实用新型专利技术公开了离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构，包括至少四组找平装置，所述四组找平装置呈矩形阵列设置在安装板的顶部，找平装置的顶部固定安装有瓷柱，瓷柱的顶部安装有变压器；找平装置包括壳体、底盖、第一转轴、第二转轴和升降台；本实用新型专利技术操作时，通过在第二空腔内插入内六角扳手转动第二转轴，带动第一转轴转动，从而驱动升降台的升降来调整瓷柱的高度，进而调整变压器的水平；结构简单，如果需要的话，在调整完毕后，还可以将内六角扳手焊接在壳体上，从而保证升降台的高度不变。变。变。

【技术实现步骤摘要】
离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构


[0001]本技术涉及一种找平结构，具体是离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构。

技术介绍

[0002]离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入；
[0003]在离子注入机中内配备的变压器需要与安装面之间保证绝缘同时还要保证变压器的水平，在现有技术中，通常陶瓷柱垫在变压器底部保证绝缘性，但是陶瓷柱的结构固定不可以进行调整，所以需要在陶瓷柱底部增加找平结构来保证变压器的水平。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构，包括至少四组找平装置，所述四组找平装置呈矩形阵列设置在安装板的顶部，找平装置的顶部固定安装有瓷柱，瓷柱的顶部安装有变压器；找平装置包括壳体、底盖、第一转轴、第二转轴和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.离子注入机中变压器方便瓷柱找平结构，包括至少四组找平装置，其特征在于，所述四组找平装置呈矩形阵列设置在安装板的顶部，找平装置的顶部固定安装有瓷柱，瓷柱的顶部安装有变压器；找平装置包括壳体、底盖、第一转轴、第二转轴和升降台；所述壳体内开设有两个圆柱形的第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔底部连通设置，第一空腔和第二空腔的顶部均伸出壳体顶部，所述第一空腔内转动设有第一转轴，第二空腔内转动设有第二转轴，第一转轴和第二转轴底部均与底盖转动连接；所述第一转轴的底部固定套接有第一齿轮，第二转轴的底部固定套接有第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮相互啮合；所述第一转轴的上部为螺杆部，所述升降台的底部开设有螺纹孔，螺纹孔与螺杆部相互配合设置；所述升降台的侧壁设有若干导向条，其中第一空腔的侧壁开设有若干导向...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭强祥，刘仁杰，
申请(专利权)人：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：