密封波纹管的漏率检测系统技术方案

本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统。该漏率检测系统的冷却腔室内形成有冷却腔，冷却装置与冷却腔室连接，用于调节冷却腔内的温度以模拟工艺腔室的工艺环境；冷却腔室上开设有多个连通口，用于使冷却腔能与密封波纹管的内部空间密封连通；检测腔室内形成有多个与连通口一一对应设置的容置腔，并且容置腔与连通口密封连接，容置腔用于容置并限位密封波纹管；检测抽气组件与冷却腔连通，用于对冷却腔抽真空，以及根据冷却腔内的检测气体含量，判断密封波纹管是否发生泄露。本申请实施例实现了对多个密封波纹管的批量检测，而且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。

【技术实现步骤摘要】
密封波纹管的漏率检测系统


[0001]本申请涉及半导体加工
，具体而言，本申请涉及一种密封波纹管的漏率检测系统。

技术介绍

[0002]目前，随着半导体工艺设备的迅速发展，工艺温度所需要的范围也在逐渐扩大，低温工艺应用的场景也越来越多。为保证低温工艺的顺利进行，承载装置的静电卡盘需要使用冷水机(Chiller)进行降温，这就会导致承载装置内的温度保持在零度以下，承载装置内部带动晶圆升降的密封波纹管的温度同样会保持在零度以下，密封波纹管主要用于与静电卡盘密封，并且其还用于装载有顶针，以带动顶针相对静电卡盘表面升降，从而带动晶圆相对于静电卡盘升降。
[0003]现有技术中半导体工艺设备中大多数工艺温度是零度以上，目前无法确认密封波纹管是否可以在零度以下正常工作，因此导致密封波纹管在零度以下的工艺环境出现漏率不合格的情况十分普遍，一旦密封波纹管漏率不合格，就会导致工艺腔室漏率不合格，对工艺性能及会有很大的影响。因此需要对密封波纹管进行低温漏率的检测，以保证低温工艺的使用性能。现有技术中一般通过对工艺腔室进行检测，从而实现对密封波纹管的漏率进行检测，但是由于安装过程十分繁琐，从而造成检测效率低下；并且若漏率检测不合格，则需要频繁开启工艺腔室以重复安装过程，进一步造成检测效率的低下，而且无法确认是哪一个密封波纹管出现问题，并且还可能对机台整体参数产生较大影响。

技术实现思路

[0004]本申请针对现有方式的缺点，提出一种密封波纹管的漏率检测系统，用以解决现有技术存在检测效率低下以及无法精确检测哪一个密封波纹管出现漏率不合格的技术问题。
[0005]第一个方面，本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统，包括：冷却腔室、检测腔室、冷却装置及检测抽气组件；所述冷却腔室内形成有冷却腔，所述冷却装置与所述冷却腔室连接，用于调节所述冷却腔内的温度；所述冷却腔室上开设有多个连通口，用于与多个所述密封波纹管的承载端密封连接，以使所述冷却腔能与所述密封波纹管的内部空间密封连通；所述检测腔室内形成有多个容置腔，多个所述容置腔与多个所述连通口一一对应设置，所述容置腔用于容置并限位所述密封波纹管，所述检测腔室的侧壁开设有与所述容置腔对应的通气口，所述通气口用于向所述容置腔内通入检测气体；所述检测抽气组件与所述冷却腔室连通，所述检测抽气组件用于对所述冷却腔抽真空，并检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量，以判断所述密封波纹管是否发生泄露。
[0006]于本申请的一实施例中，所述冷却腔室包括有冷却腔体及底盖，所述底盖盖合于所述冷却腔室的底部，用于在所述冷却腔体内形成有所述冷却腔，所述底盖上贯穿有多个并列排布的所述连通口。
[0007]于本申请的一实施例中，所述检测腔室包括检测腔体及隔板，所述检测腔体盖合于所述底盖的底部，多个所述隔板均设置于所述检测腔体内，并且沿多个所述连通口的排布方向并列排布，用于在所述检测腔体内形成多个所述容置腔。
[0008]于本申请的一实施例中，所述漏率检测系统还包括有多个限位件，多个限位件一一对应的设置于所述容置腔的底部，用于穿过所述检测腔体后与所述密封波纹管的连接端固定连接，以使所述密封波纹管的承载端能顶抵于所述连通口的外周，并且与所述连通口密封连接。
[0009]于本申请的一实施例中，所述冷却腔体的侧壁贯穿有冷却口；所述冷却装置包括冷却管路、冷却器及转接组件，所述冷却管路设置于所述冷却腔体内，并且与所述冷却口密封连接；所述冷却器通过所述转接组件与所述冷却口密封连接。
[0010]于本申请的一实施例中，所述转接组件包括有转接法兰、连接管及卡套接头，所述转接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上，以将所述连接管的一端与所述冷却口密封连接；所述连接管的另一端通过所述卡套接头与所述冷却器密封连接。
[0011]于本申请的一实施例中，所述检测抽气组件包括检测器、连接法兰及卡箍，所述连接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上，并且与所述冷却腔体密封连接，所述检测器的连通管通过所述卡箍与所述连接法兰密封连接，所述检测器用于检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量。
[0012]于本申请的一实施例中，所述检测抽气组件还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述连通管连通，用于对所述冷却腔进行抽真空。
[0013]于本申请的一实施例中，所述冷却腔室还包括有多个连接件，多个连接件沿所述冷却腔体的周向均匀排布，并且穿过所述冷却腔体的侧壁后与所述检测腔体的侧壁顶端连接。
[0014]于本申请的一实施例中，所述冷却腔体的外侧壁上开设有多个均布的安装槽，用于分别容置多个所述连接件，所述安装槽位于所述冷却腔体的顶壁及外侧壁之间，并且为开放式结构。
[0015]于本申请的一实施例中，所述检测器为氦气检测器，所述冷却腔内的所述温度的取值范围为
‑
15℃～
‑
30℃。
[0016]于本申请的一实施例中，所述漏率检测系统还包括有堵头，所述堵头与所述密封波纹管的规格对应，所述堵头用于封堵与所述容置腔对应的连通口。
[0017]本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
[0018]本申请实施例通过采用冷却腔室来模拟工艺腔室的低温工艺环境，以及通过在检测腔室内设置有多个独立的容置腔，多个密封波纹管分别容置于多个容置腔内，并且分别通过多个连通口与冷却腔室连通，以及再通过向多个容置腔内通入检测气体，检测抽气组件对冷却腔内的检测气体含量进行检测。采用上述设计，使得申请实施例实现了低温环境下对密封波纹管进行批量检测，以及可以实现无需频繁开启工艺腔室即可以实现对多个密封波纹管进行检测，从而大幅提高了本申请实施例的检测效率；由于对多个容置腔分别通入检测气体，还能准确定位漏率不合格的密封波纹管，从而提高检测精确性的同时，进一步提高检测效率。
[0019]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变
得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0020]本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1为本申请实施例提供的一种密封波纹管的漏率检测系统的结构示意图；
[0022]图2为本申请实施例提供的一种冷却腔室的结构示意图；
[0023]图3为本申请实施例提供的一种检测腔室的结构示意图；
[0024]图4为本申请实施例提供的一种密封波纹管的漏率检测系统与密封波纹管配合的结构示意图；
[0025]图5为本申请实施例提供的一种密封波纹管的漏率检测系统与密封波纹管配合的局部结构的剖视示意图；
[0026]图6为本申请实施例提供的一种堵头的结构示意图；
[0027]图7A为现有技术中的一种半导体工艺设备的剖视结构示意图；
[0028]图7B为现有技术中的一种密封波纹管的结构示意图。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，包括：冷却腔室、检测腔室、冷却装置及检测抽气组件；所述冷却腔室内形成有冷却腔，所述冷却装置与所述冷却腔室连接，用于调节所述冷却腔内的温度；所述冷却腔室上开设有多个连通口，用于与多个所述密封波纹管的承载端密封连接，以使所述冷却腔能与所述密封波纹管的内部空间密封连通；所述检测腔室内形成有多个容置腔，多个所述容置腔与多个所述连通口一一对应设置，所述容置腔用于容置并限位所述密封波纹管，所述检测腔室的侧壁开设有与所述容置腔对应的通气口，所述通气口用于向所述容置腔内通入检测气体；所述检测抽气组件与所述冷却腔室连通，所述检测抽气组件用于对所述冷却腔抽真空，并检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量，以判断所述密封波纹管是否发生泄露。2.如权利要求1所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述冷却腔室包括有冷却腔体及底盖，所述底盖盖合于所述冷却腔室的底部，用于在所述冷却腔体内形成有所述冷却腔，所述底盖上贯穿有多个并列排布的所述连通口。3.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述检测腔室包括检测腔体及隔板，所述检测腔体盖合于所述底盖的底部，多个所述隔板均设置于所述检测腔体内，并且沿多个所述连通口的排布方向并列排布，用于在所述检测腔体内形成多个所述容置腔。4.如权利要求3所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述漏率检测系统还包括有多个限位件，多个限位件一一对应的设置于所述容置腔的底部，用于穿过所述检测腔体后与所述密封波纹管的连接端固定连接，以使所述密封波纹管的承载端能顶抵于所述连通口的外周，并且与所述连通口密封连接。5.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述冷却腔体的侧壁贯穿有冷却口；所述冷却装置包括冷却管路、冷却器及转接组件，所述冷却管路设置于所述冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新翌，陈景春，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：