一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法，包括样品台、高精度测距仪、三维位移台和控制器；所述的样品台上设有夹持机构，用于将待测的二次曲面光学元件水平固定在样品台上；所述的三维位移台设置在样品台的正上方；所述的高精度测距仪固定在三维位移台的下端面，朝向样品台；所述三维位移台的X、Y轴与光学元件的轴心互相垂直，用于承载高精度测距仪进行二维平移；三维位移台的Z轴与光学元件的轴心互相平行，用于承载高精度测距仪轴向平移；所述的控制器分别与高精度测距仪和三维位移台电连接。利用本发明专利技术，可以实现二次曲面光学元件的非接触式、自动化轴心测量。自动化轴心测量。自动化轴心测量。

【技术实现步骤摘要】
一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法


[0001]本专利技术涉及光学
，尤其是涉及一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法。

技术介绍

[0002]相比于经典的球面光学元件，非球面光学元件具有极大的灵活性和自由性。作为实现光束聚焦和分散的重要的手段，同时又可以校正光学系统的多种像差，减少系统中光学元件的数量，因此非球面光学元件得到了越来越普遍的关注和应用。二次曲面是非球面光学元件中使用最为广泛的类型之一，因为他们具有旋转对称的结构，较容易进行加工和检测，所以具有特殊的地位。常见的二次曲面如抛物面、双曲面等，将其旋转轴称之为轴心。
[0003]表面缺陷是评价二次曲面光学元件的重要参数，当前主流采用显微成像系统对被检二次曲面进行扫描成像，从而获得表面缺陷的形貌与分布。在进行二次曲面光学元件检测时，需要首先完成轴心测量，以轴心与二次曲面的交点作为参考点，进行检测路径的规划。此外，在进行包含二次曲面光学元件的系统装调过程中，也需要准确测量出轴心位置，避免产生偏心，从而保证光学系统的质量。
[0004]现有的专利多是针对球面光学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二次曲面光学元件的轴心测量装置，其特征在于，包括样品台、高精度测距仪、三维位移台和控制器；所述的样品台上设有夹持机构，用于将待测的二次曲面光学元件水平固定在样品台上；所述的三维位移台设置在样品台的正上方；所述的高精度测距仪固定在三维位移台的下端面，朝向样品台；所述三维位移台的X、Y轴与光学元件的轴心互相垂直，用于承载高精度测距仪进行二维平移；三维位移台的Z轴与光学元件的轴心互相平行，用于承载高精度测距仪轴向平移；所述的控制器分别与高精度测距仪和三维位移台电连接。2.根据权利要求1所述的二次曲面光学元件的轴心测量装置，其特征在于，将待测的二次曲面光学元件水平固定在样品台上，指的是二次曲面光学元件的光轴垂直于水平面放置。3.根据权利要求1所述的二次曲面光学元件的轴心测量装置，其特征在于，所述的高精度测距仪采用一种距离测量传感器，测量方向与Z轴平行，用于测量二次曲面光学元件上采样点距离高精度测距仪的相对距离。4.根据权利要求1所述的二次曲面光学元件的轴心测量装置，其特征在于，所述的高精度测距仪采用工作距离25
±
3mm，线性精度
±
2.4μm，分辨率0.25μm。5.根据权利要求1所述的二次曲面光学元件的轴心测量装置，其特征在于，所述的三维位移台采用大行程、高精度的三维位...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙焕宇，刘钰波，张峻铵，吕雄涛，刘东，
申请(专利权)人：浙江大学嘉兴研究院，
类型：发明
国别省市：