匀胶机制造技术

本实用新型专利技术提供一种匀胶机，其包括至少一组承载组件、主旋转轴和至少一副旋转轴，一组所述承载组件与一所述副旋转轴传动连接以通过所述副旋转轴驱动所述承载组件旋转，各所述副旋转轴均与所述主旋转轴传动连接，以通过所述主旋转轴驱动各所述副旋转轴带动与其传动连接的各所述承载组件绕所述主旋转轴旋转；所述主旋转轴的轴心线与任一副旋转轴的轴心线错开。本实用新型专利技术实施例可以降低通过匀胶机形成在基板上的薄膜中心和薄膜边缘的厚度差异。成在基板上的薄膜中心和薄膜边缘的厚度差异。成在基板上的薄膜中心和薄膜边缘的厚度差异。

【技术实现步骤摘要】
匀胶机


[0001]本技术涉及匀胶机设备
，尤其涉及一种匀胶机。

技术介绍

[0002]匀胶机也称为旋转涂覆仪、旋转涂膜仪等，是用于涂覆各类胶液的设备诸如半导体产业和科研领域中常见的设备，匀胶机其能够快速、精准的在基板上形成涂覆层，因此被广泛用于OLED和QLED等发光器件的制备。
[0003]相关技术中，匀胶机的工作原理是：将基板放置于匀胶机的一承载组件诸如托盘上，托盘采用真空吸片的方式吸住基板，托盘能够被匀胶机的一旋转轴驱动旋转以带动基板高速旋转，利用旋转轴旋转所产生的离心力使滴在基板上的胶涂覆在基板上。
[0004]然而，基板中心所受到的离心力远小于基板边缘所受到的离心力，即基板中心所受到的离心力与基板边缘所受到的离心力之间相差较大，导致涂覆在基板上所形成薄膜中心的厚度与薄膜边缘的厚度相差较大。尤其是基板的尺寸越大时，薄膜中心的厚度与薄膜边缘的厚度相差就越大。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种匀胶机，降低通过匀胶机形成在基板上的薄膜中心和薄膜边缘的厚度差异。
[0006]本技术实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种匀胶机，其特征在于，包括至少一组承载组件、主旋转轴和至少一副旋转轴，一组所述承载组件与一所述副旋转轴传动连接以通过所述副旋转轴驱动所述承载组件旋转，各所述副旋转轴均与所述主旋转轴传动连接，以通过所述主旋转轴驱动各所述副旋转轴带动与其传动连接的各所述承载组件绕所述主旋转轴旋转；所述主旋转轴的轴心线与任一副旋转轴的轴心线错开。2.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于，各所述承载组件于各所述副旋转轴上呈间隔设置。3.根据权利要求2所述的匀胶机，其特征在于，所述承载组件包括载物台，所述载物台与所述副旋转轴固定连接以通过所述副旋转轴驱动所述载物台旋转；所述载物台的半径小于所述主旋转轴的轴心线至与该所述载物台传动连接的副旋转轴的轴心线之间的距离。4.根据权利要求3所述的匀胶机，其特征在于，所述主旋转轴的轴心线至所述载物台的边缘的最近距离为所述主旋转的轴心线至所述副旋转轴的轴心线之间距离的一半。5.根据权利要求3所述的匀胶机，其特征在于，还包括至少一个第一防护罩，所述第一防护罩具有第一容置空间，一个所述载物台以及与其传动连接的副旋转轴均位于所述第一容置空间；所述第一防护罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：林通，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：