柔性显示器件的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种柔性显示器件的制备方法，包括以下步骤：将待剥离柔性显示器件置于剥离平台上，并使待剥离柔性显示器件朝向剥离平台；对待剥离柔性显示器件与载体基板之间的界面进行激光扫描处理，以在中间区受到至少两次入射方向不同的激光扫描处理，在周边区受到一次以下次数的激光扫描处理。通过该制备方法避免了载体基板表面异物颗粒及缺陷影响柔性衬底对激光能量的吸收，且能保证搬运过程中无脱落、无位移，从而有效地改善了激光剥离工艺的可靠性及良品率。可靠性及良品率。可靠性及良品率。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示器件的制备方法


[0001]本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种柔性显示器件的制备方法。

技术介绍

[0002]近几年，柔性显示(Flexible Display)、可折叠显示(Foldable Display)技术发展迅猛，是国内外高校、研究所关注的重点，也是显示企业、终端厂商争相布局的关键技术。随着制作工艺、技术的不断发展，柔性显示器形态越来越丰富，屏幕尺寸不断增大的同时显示质量也再不断提高，终端厂家也陆续推出柔性、可折叠终端产品。柔性显示器是用柔性衬底材料作为器件承载基板，并要求电极层、TFT矩阵、显示器件以及封装层均有一定的弯曲半径才能实现柔性化，包括电子纸、柔性液晶显示器和柔性有机电致发光显示器件。与普通显示器相比，柔性显示器具有诸多优点：重量轻、体积小、薄型化，携带方便；耐高低温、耐冲击、抗震能力更强，能适应的工作环境更广；可卷曲，外形更具有艺术设计的美感；采用印刷工艺的卷带式生产工艺，成本更加低廉；功耗低，更节能；有机材料更加绿色环保。
[0003]目前，柔性显示产品主要是采用S2S(sheet to sheet)生产工艺，以玻璃基板为载体，结合柔性基板贴附取下等方法进行制备。贴附取下是先将柔性基板贴附在硬质载体基板上制备显示器件，制备完显示器件之后再剥离硬质基板，取出柔性显示器件。这种方法不影响显示器件的制作精度，且制作设备和工艺与制作传统的TFT
‑
LCD相仿，无需做较大的调整，因此短期内更接近于量产应用。贴附取下的工艺大致分为两类：一种是激光剥离技术(LLO：Laser Lift
‑
Off)，利用激光直接作用在塑料衬底与载体的界面处，通过高能激光破坏塑料衬底与载体的结合力从而进行分离；另一种机械剥离技术(MLO：Mechanical Lift
‑
Off)，利用特殊离型层与衬底和载体基板的结合力不同，通过将边缘结合强的部分切割去除从而进行分离。激光剥离工艺运用于柔性显示器制作，已经在柔性OLED手机上量产应用，但是，仍然存在剥离良率较低、搬运过程中柔性显示器件容易脱落及载体基板容易滑移等问题。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种剥离良率较高、搬运可靠性较好的柔性显示器件的制备方法。
[0005]一种柔性显示器件的制备方法，包括以下步骤：
[0006]在载体基板上制备待剥离柔性显示器件，所述待剥离柔性显示器件具有中间区和周边区；
[0007]将形成于所述载体基板上的所述待剥离柔性显示器件置于剥离平台上，并使所述待剥离柔性显示器件朝向所述剥离平台；
[0008]对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理，以在所述中间区受到至少两次入射方向不同的激光扫描处理，在所述周边区受到一次以下次数的激光扫描处理。
[0009]本专利技术的柔性显示器件的制备方法中，对待剥离柔性显示器件与载体基板之间的界面进行至少两次入射方向不相同的激光扫描处理，以在中间区受到至少两次激光扫描处理，且在周边区仅受到一次以下激光扫描处理。如此，一方面激光束并非重复地垂直入射，而是以一定角度从侧面入射分别进行扫描，前一次激光扫描时被异物颗粒及缺陷影响到的点位均受到了后一次扫描的激光处理，而后一次激光扫描被异物颗粒及缺陷影响的点位均已接受了前一次扫描的激光处理，从而两次入射方向不相同的激光扫描处理相互补充，避免了载体基板表面异物颗粒及缺陷影响柔性衬底对激光能量的吸收。另一方面，周边区的柔性衬底边缘部分仅受单次以下激光扫描，柔性衬底与载体基板之间的粘接力较大，能保证搬运过程中无脱落、无位移，而中间区的柔性衬底区域经历两次扫描，吸收的激光能量更强，更有利于柔性衬底与载体基板的分离。因此，通过该制备方法，受到两次以上扫描的中间区的柔性衬底与载体基板的粘接力大大降低，且异物颗粒及缺陷对应的点位也均受到一次激光扫描，相较于激光垂直入射扫描，更有利于中间区的柔性衬底与载体基板的分离，而仅受到一次以下扫描的周边区柔性衬底与载体基板之间的粘接力较大，能保证搬运过程中无脱落、无位移，提高了搬运可靠性，从而有效地改善了激光剥离工艺的可靠性及良品率。
[0010]在其中一个实施例中，通过对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理，以使所述中间区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的粘结力小于所述周边区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的粘结力。
[0011]在其中一个实施例中，在对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理的步骤之后，还包括以下步骤：将所述周边区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板分离；
[0012]将所述中间区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板分离。
[0013]在其中一个实施例中，所述周边区包括分别位于所述中间区两侧的第一周边区和第二周边区；所述第一周边区受到所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的一次激光扫描处理，所述第二周边区受到所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的另一次激光扫描处理。
[0014]在其中一个实施例中，所述第一周边区和所述第二周边区的宽度分别为8mm～17.5mm。
[0015]在其中一个实施例中，所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理各自的入射方向相对于所述载体基板的法线方向成轴对称。
[0016]在其中一个实施例中，定义激光扫描处理的入射方向与所述载体基板的第一侧指向相对的第二侧的方向之间的夹角为入射角，所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的一次激光扫描处理的入射角为锐角，另一次激光扫描处理的入射角为钝角。
[0017]在其中一个实施例中，所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的一次激光扫描处理的入射角为60
°
～75
°
，另一次激光扫描处理的入射角为105
°
～120
°
。
[0018]在其中一个实施例中，所述周边区包括分别位于所述中间区两侧的第一周边区和第二周边区，对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理的步骤包括：
[0019]通过激光剥离设备以第一入射方向对所述第一周边区、所述中间区进行第一激光扫描处理，以第二入射方向对所述第二周边区、所述中间区进行第二激光扫描处理。
[0020]在其中一个实施例中，通过驱动件驱动所述激光剥离设备的出射镜片组旋转，从而使所述第一入射方向和所述第二入射方向不同。
[0021]在其中一个实施例中，将所述周边区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板分离的步骤之前，还包括如下步骤：
[0022]将经激光扫描处理后的所述待剥离柔性显示器件和所述载体基板置于分离平台，且使所述待剥离柔性显示器件位于所述载体基板和所述分离平台之间；
[0023]其中，所述分离平台包括主体部和斜面部，所述主体部用于承载所述中间区的所述待剥离柔性显示器件和所述载体基板，所述斜面部与所述主体部连接，且所述斜面部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在载体基板上制备待剥离柔性显示器件，所述待剥离柔性显示器件具有中间区和周边区；将形成于所述载体基板上的所述待剥离柔性显示器件置于剥离平台上，并使所述待剥离柔性显示器件朝向所述剥离平台；对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理，以在所述中间区受到至少两次入射方向不同的激光扫描处理，在所述周边区受到一次以下次数的激光扫描处理。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，通过对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理，以使所述中间区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的粘结力小于所述周边区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的粘结力。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在对所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板之间的界面进行激光扫描处理的步骤之后，还包括以下步骤：将所述周边区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板分离；将所述中间区的所述待剥离柔性显示器件与所述载体基板分离。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述周边区包括分别位于所述中间区两侧的第一周边区和第二周边区；所述第一周边区受到所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的一次激光扫描处理，所述第二周边区受到所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的另一次激光扫描处理。5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述第一周边区和所述第二周边区的宽度分别为8mm～17.5mm。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理各自的入射方向相对于所述载体基板的法线方向成轴对称。7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，定义激光扫描处理的入射方向与所述载体基板的第一侧指向相对的第二侧的方向之间的夹角为入射角，所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的一次激光扫描处理的入射角为锐角，另一次激光扫描处理的入射角为钝角。8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述至少两次入射方向不同的激光扫描处理中的一次激光扫描处理的入射角为60
°
～75...

【专利技术属性】
技术研发人员：高卓，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：