无尘室风扇过滤系统技术方案

技术编号:33511045 阅读:41 留言:0更新日期:2022-05-19 01:19
一种无尘室风扇过滤系统,用于具有无尘室的生产工艺环境,可以过滤无尘室中的空气,达到更高的洁净度;该无尘室风扇过滤系统包括一马达风扇组,其包含一马达及一风扇;该马达连接一电源;当该风扇启动时用于使过滤器前方的空气通过该过滤器;一智能动力模块,包含一马达电流控制器通过一电源控制器连接到该马达与该电源的连接线路之间;一马达电流检测器连接该电源控制器,用于读取该马达的电流值;一马达速度控制器用于控制该马达电流控制器而改变该马达的转速;一马达转速控制钮组包含多个按钮连接该马达速度控制器,当该马达速度控制器接收到该按钮的信号时,即找出对应的转速而传送信号到该马达电流控制器,以控制该马达的转速。的转速。的转速。

【技术实现步骤摘要】
无尘室风扇过滤系统


[0001]本专利技术有关于风扇过滤系统,尤其是一种无尘室风扇过滤系统。

技术介绍

[0002]风扇过滤系统(FFU,Fan Filter Unit)广泛地应用在半导体工艺的无尘室,用于过滤无尘室中的灰烬等污染物。一般FFU安装在室内的高处。FFU应用马达控制风扇,以驱动气流,再由风扇后端的过滤器达到洁净空气的目的。在使用上,操作者常需要改变马达的转数。传统上改变马达转速的方式,通过调速开关转动控制输入电压进而改变马达转速,此种方式的缺点在于操作者在操作风扇机组时难以得知目前的马达转速,因此也无法对风扇机组进行准确的控制。在系统上往往需要额外通过中控或联控系统链接风扇机组,才能由系统得知转速,此方式相当不便。再者当操作者单独操作风机时也不易由外部控制器得知目前马达转速。
[0003]再者由于风扇过滤系统的过滤器在长期使用后会造成阻塞而使得在过滤器的前端接近风扇叶片处的排气不顺畅,所以造成紊流;此种紊流会阻扰叶片的转动,使得该叶片的转动变慢,相对的使得该马达的转速及马达电流值变低。若未及时更换过滤器,风扇过滤系统则会持续操作在效率不佳的状态也较耗电,长久下来就必须将过滤器卸下重新清洁或更换过滤网。此项操作相当费时费力。
[0004]故本专利技术希望提出一种崭新的风扇过滤系统,以解决上述现有技术上的缺陷。

技术实现思路

[0005]所以本专利技术的目的为解决上述现有技术上的问题,本专利技术中提出一种无尘室风扇过滤系统,可以快速且方便地操作马达的转速及使得系统更省电,并使得过滤器的使用效率更高、使用寿命更长。也可由操作者自由排定过滤器更换的优先级,更有故障及异常通报机制。应用本专利技术的方式,当马达的电流受到后端过滤器紊流阻力增加而下降,使得马达所驱动的风扇的出风减少时,本专利技术可应用自动或手动方式将马达的转速持续增加到不同的级数,使得该马达所驱动的风扇的出风速可以维持在固定范围,因此可以维持后端的过滤器一定的过滤功能。本专利技术的结构可更加准确地控制风扇机组的运作,并且也通过LED灯体的显示可轻易得知马达转速。本专利技术提供一种简易且方便的改变马达转速的方式,可以维持后端风扇的出风速,而不需要通过额外的中控或联控系统即可得知转速,相对的操作者由于操作方便,所以可利用调整马达转速而提高过滤器的效率,因此可以拉长过滤器使用期限,中间不必清洗或更换。整体上节省人工及相对应的清理成本。
[0006]为达到上述目的本专利技术中提出一种无尘室风扇过滤系统,用于具有无尘室的生产工艺环境,可以过滤无尘室中的空气,达到更高的洁净度;该无尘室风扇过滤系统包含一马达风扇组,包含一马达;该马达连接一电源;一风扇连接该马达,由该马达驱动;其中当该风扇启动时用于将位于该风扇一端的过滤器的前方的空气扰动而通过该过滤器以过滤空气;一智能动力模块(IPM,Intelligent Power Module),包含一马达电流控制器,通过一电源控制器连接到该马达与该电源的连接线路之间;该马达电流控制器用于控制该电源控制器
而改变该电源输入该马达的电流值;一马达电流检测器,连接该电源控制器,用于读取该马达的马达电流值,以了解该马达的马达电流值变化情况;一马达速度控制器(Motor MCU,Motor Micro Control Unit)连接该智能动力模块的该马达电流控制器;其中该马达速度控制器用于控制该马达电流控制器,进而改变该马达的转速并进行需要的转速调变;以及一马达转速控制钮组,包含多个按钮连接该马达速度控制器,该按钮用于控制该马达的转速,当该马达速度控制器接收到该按钮的信号时,即找出对应的转速而传送信号到该马达电流控制器,以控制该马达的转速;因此用户可通过按压该按钮而改变该马达的转速。
[0007]由下文的说明可更进一步了解本专利技术的特征及其优点,阅读时并请参考附图。
附图说明
[0008]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0009]图1显示本专利技术的组件组合架构示意图。
[0010]图2显示马达电流值未经调整的变化示意图。
[0011]图3显示本专利技术中马达电流值经多次调整的变化示意图。
[0012]图4显示本专利技术的另一组件组合架构示意图。
[0013]附图标记说明1
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电源81
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马达电流检测器2
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电源控制器90
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马达速度自动调整单元5
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马达风扇组91
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重力传感器10
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马达92
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声音传感器11
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马达电流控制器100空气30
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过滤器500马达动力模块40
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马达速度控制器511第一按钮50
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马达转速控制钮组512第二按钮51
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按钮600电控模块60
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灯排组700中控端人机界面70
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风扇800电子信息装置80
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智能动力模块。
具体实施方式
[0014]现就本专利技术的结构组成,及所能产生的功效与优点,配合说明书附图,举本专利技术的一较佳实施例详细说明如下。
[0015]请参考图1至图4所示,显示本专利技术的无尘室风扇过滤系统,用于具有无尘室的生产工艺环境(如电子、半导体、晶圆、或者是家用或其他一般应用产品等工艺),可以过滤无尘室中的空气,达到更高的洁净度,该无尘室风扇过滤系统包含下列组件:一马达风扇组5,包含:一马达10;该马达10为DC马达10,应用DC马达10可以使整个系统的功率较AC马达节省30%。该马达10连接一电源1。
[0016]一风扇70连接该马达10,由该马达10驱动。
[0017]其中当该风扇70启动时用于将位于该风扇70一端的过滤器30的前方的空气100扰动而通过该过滤器30以过滤空气。
[0018]上述的该马达风扇组5安装在一马达动力模块500中。
[0019]一智能动力模块(IPM,Intelligent Power Module) 80,包含:一马达电流控制器11,通过一电源控制器2连接到该马达10与该电源1的连接线路之间。该马达电流控制器11用于控制该电源控制器2而改变该电源1输入该马达10的电流值。该马达电流控制器11控制该电源控制器2的可变电阻的电阻大小,而改变该电源1输入到该马达10的电流大小,因此控制该马达10的转速。
[0020]一马达电流检测器81,连接该电源控制器2,用于读取该马达10的马达电流值,以了解该马达10的马达电流值变化情况。
[0021]一马达速度控制器40(Motor MCU,Motor Micro Control Unit)连接该智能动力模块80的该马达电流控制器11。其中该马达速度控制器40用于控制该马达电流控制器11,进而改变该马达10本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无尘室风扇过滤系统,用于具有无尘室的生产工艺环境,可以过滤无尘室中的空气,达到更高的洁净度;其特征在于,该无尘室风扇过滤系统包含:一马达风扇组,包含:一马达;该马达连接一电源;一风扇连接该马达,由该马达驱动;其中当该风扇启动时用于将位于该风扇一端的过滤器的前方的空气扰动而通过该过滤器以过滤空气;一智能动力模块,包含:一马达电流控制器,通过一电源控制器连接到该马达与该电源的连接线路之间;该马达电流控制器用于控制该电源控制器而改变该电源输入该马达的电流值;一马达电流检测器,连接该电源控制器,用于读取该马达的马达电流值,以了解该马达的马达电流值变化情况;一马达速度控制器连接该智能动力模块的该马达电流控制器;其中该马达速度控制器用于控制该马达电流控制器,进而改变该马达的转速并进行需要的转速调变;以及一马达转速控制钮组,包含多个按钮连接该马达速度控制器,该按钮用于控制该马达的转速,当该马达速度控制器接收到该按钮的信号时,即找出对应的转速而传送信号到该马达电流控制器,以控制该马达的转速;因此用户可通过按压该按钮而改变该马达的转速。2.如权利要求1所述的无尘室风扇过滤系统,其特征在于,还包括一灯排组连接该马达速度控制器,该灯排组的灯号对应到该马达转速控制钮组;该灯排组应用灯号显示该马达的转速。3.如权利要求1所述的无尘室风扇过滤系统,其特征在于,该多个按钮包含一第二按钮,用于控制该马达的转速,每次当该第二按钮被按压时,该马达速度控制器会依序找出不同级数的转速而指令该马达电流控制器以控制该马达切换到对应的转速,即通过该第二按钮在每次被按压时将控制该马达依序切换到不同级数的转速,达到多段式变速的目的。4.如权利要求1所述的无尘室风扇过滤系统,其特征在于,该多个按钮包含一第一按钮,用于控制该马达的启动及关闭。5.如权利要求1所述的无尘室风扇过滤系统,其特征在于,该马达速度控制器还包含...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱官柏潘瑞斌林怡谋谢秀明
申请(专利权)人:兴讯科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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