中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法技术

本发明专利技术提供一种中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法，其中的制备工装包括：连接板，在连接板上开设有安装孔；基底固定架，基底固定架通过连接件固定在安装孔内，光栅基底固定在基底固定架内；水平仪，水平仪置于光栅基底的背面，用于测量光栅基底的镀膜面相对于水平面的倾斜角度；工件盘，工件盘为环形结构，连接板的两端与工件盘之间分别连接有调节螺钉和紧固螺栓，调节螺钉用于将光栅基底的镀膜面调至水平，紧固螺栓用于将连接板的两端与工件盘锁紧。本发明专利技术能够在保证中阶梯光栅全口径镀膜的基础上，实现对光栅基底的镀膜面的水平调节，确保金属膜层在镀膜面各区域质量的一致性，从而大幅度缩短中阶梯光栅和复制光栅的制作周期。作周期。作周期。

【技术实现步骤摘要】
中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法


[0001]本专利技术涉及光栅金属膜层制作
，特别涉及一种中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法。

技术介绍

[0002]中阶梯光栅是准分子激光器实现线宽压窄的关键器件，其性能直接影响准分子激光曝光光源的性能，进而影响光刻机系统的成像曝光质量。光刻用中阶梯光栅主要有尺寸大、闪耀角大、衍射效率和波前质量要求高等特点，因此对光栅槽形质量要求极高，其母版光栅的制作只能采用机械刻划的方法完成。
[0003]机械刻划的方法制作大尺寸的中阶梯母版光栅，其原理是利用金刚石刻刀对镀在微晶毛坯基底上的金属膜层进行重塑，在金属膜层表面刻划出具有纳米精度的周期性浮雕结构，即光栅槽形。从中阶梯母版光栅的制作过程可以看出，制备金属膜层的质量、金刚石刻刀的抗磨损能力等都会对光栅的质量产生严重影响。另外，在机械刻划的过程中，光栅刻划机对环境温度的变化、振动等方面的影响也十分敏感，因此，要完成单块中阶梯母版光栅的制作，其周期至少需要20天。
[0004]机械刻划对金属膜层的均匀性、附着力及内部致密性等有着严格的要求本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中阶梯光栅金属膜层制备工装，其特征在于，包括：连接板，在所述连接板上开设有安装孔；基底固定架，所述基底固定架通过连接件固定在所述安装孔内，光栅基底固定在所述基底固定架内；水平仪，所述水平仪置于所述光栅基底的背面，用于测量所述光栅基底的镀膜面相对于水平面的倾斜角度；工件盘，所述工件盘为环形结构，所述连接板的两端与所述工件盘之间分别连接有调节螺钉和紧固螺栓，所述调节螺钉用于将所述光栅基底的镀膜面调至水平，所述紧固螺栓用于将所述连接板的两端与所述工件盘锁紧。2.如权利要求1所述的中阶梯光栅金属膜层制备工装，其特征在于，所述基底固定架包括架体、长顶板和短顶板，所述架体包括两块架体长板和两块架体短板，两块架体长板和两块架体短板组合成中空方体结构，所述长顶板和所述短顶板位于所述中空方体结构内，所述光栅基底的一组长侧面与短侧面抵靠在所述架体的一组架体长板与架体短板的内侧，所述光栅基底的另一组长侧面与短侧面通过所述长顶板和所述短顶板顶紧。3.如权利要求2所述的中阶梯光栅金属膜层制备工装，其特征在于，在所述架体的另一组架体长板与架体短板上分别开设有螺纹孔，在所述螺纹孔内螺纹连接有用于顶紧所述长顶板和所述短顶板的顶丝。4.如权利要求3所述的中阶梯光栅金属膜层制备工装，其特征在于，在所述长顶板和所述短顶板上分别开设有凹槽，所述顶丝穿过所述螺纹孔后顶入所述凹槽内。5.如权利要求2～4中任一项所述的中阶梯光栅金属膜层制备工装，其特征在于，在所述架体长板、所述架体短板、所述长顶板和所述短顶板与所述光栅基底接触处分别贴有耐高温胶条。6.如权利要求5中所述的中阶梯光栅金属膜层制备工装，其特征在于，在所述连接板的两端沿宽度方向分别开设有三个螺纹孔，所述连接板一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：糜小涛，江思博，周敬萱，高键翔，于宏柱，李文昊，巴音贺希格，江锐，徐向宇，刘广义，刘进文，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：