透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池制造技术

本申请提供一种透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池，涉及太阳能电池技术领域领域。透明导电氧化物薄膜包括种子层、导电层和保护层，种子层包括氧化铟锡膜和/或镓

【技术实现步骤摘要】
透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池


[0001]本申请涉及太阳能电池
，具体而言，涉及一种透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池。

技术介绍

[0002]透明导电氧化物(TCO)薄膜因其优异的光电性能在low
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E玻璃、平板显示、发光二极管、光电探测、光电通信、太阳电池等泛光电半导体领域得到了广泛应用。
[0003]在异质结太阳电池(SHJ)应用中，TCO薄膜具有三大重要功能：1、充当光生载流子的有效收集和传输载体，需具备较好的导电性；2、充当表面减反射窗口层；3、充当表面保护层。此外，TCO薄膜除了必须具备满足电池性能所需要的光电性能外，还需严格控制TCO薄膜的物料及制备成本。
[0004]其中，氧化铟锡(ITO)薄膜是一种常用的TCO薄膜，但是目前铟的价格较高，导致氧化铟锡(ITO)薄膜的成本较高。而铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜是另外一种常用的TCO薄膜，因该薄膜主要成分是Zn和Al，其成本仅为ITO薄膜的1/10左右。现有技术中，为了减少成本，有通过使用低成本的AZO薄膜替代ITO薄膜，但是AZO薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透明导电氧化物薄膜，其特征在于，其包括：种子层，所述种子层包括氧化铟锡膜或镓
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铝共掺杂氧化锌膜；导电层，所述导电层设于所述种子层的表面；所述导电层包括镓
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铝共掺杂氧化锌膜；保护层，所述保护层设于所述导电层的表面，所述保护层包括氧化铟锡膜。2.根据权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜，其特征在于，所述透明导电氧化物薄膜中的所述氧化铟锡膜的厚度小于所述镓
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铝共掺杂氧化锌膜的厚度。3.一种异质结太阳能电池，其特征在于，其包括：硅片；在所述硅片的两个表面的本征非晶硅薄膜；在其中一个所述本征非晶硅薄膜表面的P型掺杂非晶硅薄膜，以及在另一个所述本征非晶硅薄膜表面的N型掺杂非晶硅薄膜；权利要求1或2所述的透明导电氧化物薄膜，所述透明导电氧化物薄膜设于所述P型掺杂非晶硅薄膜和N型掺杂非晶硅薄膜的表面；所述种子层靠近所述P型掺杂非晶硅薄膜和N型掺杂非晶硅薄膜设置；以及电极，所述电极设于所述透明导电氧化物薄膜的表面。4.根据权利要求3所述的异质结太阳能电池，其特征在于，所述N...

【专利技术属性】
技术研发人员：石建华，张海川，袁强，蒙春才，孟凡英，刘正新，程琼，周华，周丹，
申请(专利权)人：中威新能源成都有限公司，
类型：新型
国别省市：