一种检测系统和检测设备技术方案

本发明专利技术实施例公开了一种检测系统和检测设备，检测系统包括光源模块，用于为耦合器模块提供光源；耦合器模块，用于将光源模块发出的光分别发射至待检测光器件和参考反射镜，并将待检测光器件反射的光以及参考反射镜反射的光发生干涉，得到干涉光束；探测信号模块，用于接收干涉光束并进行准直后送入数据采集模块；数据采集模块，用于对干涉光束进行分析处理，并将分析结果送入上位机；反馈控制模块，用于获取并处理耦合器模块的第四端反射的干涉光束的反射光，并基于处理结果对发射至参考反射镜的光束进行补偿修正。本申请实现了降低检测系统的装置复杂度，且提高了检测系统的检测速度、测量精度低以及测量稳定性的技术效果。速度、测量精度低以及测量稳定性的技术效果。速度、测量精度低以及测量稳定性的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种检测系统和检测设备


[0001]本专利技术实施例涉及光学检测
，尤其涉及一种检测系统和检测设备。

技术介绍

[0002]光学元器件测量是一项在科学研究和工业生产中具有极其重要意义的技术，在光学元件加工制造领域，测量光学原件结构完整性是一项极其重要的工作。光学元件的完整度信息能够指导光学元件的加工工艺的制定，同时也能反映出产品的加工制造水平，所以基于光学干涉原理实现精密测量有很广泛的应用前景。
[0003]如今光器件生产方向为：集成化、尺寸越来越小内部结构精细。器件尺寸在厘米量级，内部元件的结构间隔为毫米或微米量级，因此需要一种短距离高精度的测量方法。
[0004]但是，传统的低相干度光学反射测量系统的结构较为复杂，其干涉测量速度、稳定性和精度都比较低，并且需要对干涉仪的光程及光源的波长进行扫描，耗时且操作复杂。

技术实现思路

[0005]本专利技术实施例提供一种检测系统和检测设备，解决了传统的低相干度光学反射测量系统的结构复杂、测量精度低、测量速度慢以及稳定性较差的技术问题。
[0006]本专利技术实施例提供了一种检测系统，所述检测系统包括光源模块、耦合器模块、参考反射镜、反馈控制模块、探测信号模块以及数据采集模块；
[0007]所述光源模块与所述耦合器模块的第一端电连接；所述耦合器模块的第二端与待检测光器件电连接；所述耦合器模块的第三端与所述参考反射镜电连接，所述耦合器模块的第四端与所述探测信号模块电连接；所述反馈控制模块设置于所述耦合器模块的第三端与第四端之间；所述探测信号模块与所述数据采集模块电连接；所述数据采集模块与上位机电连接；
[0008]所述光源模块用于为所述耦合器模块提供光源；
[0009]所述耦合器模块用于将所述光源模块发出的光分别发射至所述待检测光器件和所述参考反射镜，并将所述待检测光器件反射的光以及所述参考反射镜反射的光发生干涉，得到干涉光束；
[0010]所述探测信号模块用于接收所述干涉光束并进行准直，对准直后的光进行探测，得到不同波长的干涉信号；
[0011]所述数据采集模块用于采集不同波长的所述干涉信号，并将所述干涉信号送入所述上位机；
[0012]所述反馈控制模块用于获取并处理所述耦合器模块的第四端反射的所述干涉光束的反射光，并基于处理结果对发射至所述参考反射镜的光束进行补偿修正。
[0013]进一步地，所述耦合器模块包括耦合器、多个光纤自准直透镜、光环形器、光纤布拉格光栅、光探测器以及压电陶瓷；
[0014]所述耦合器的第一端通过单模光纤与所述光源模块电连接；
[0015]所述耦合器的第二端通过一个所述光纤自准直透镜与所述待检测光器件电连接；
[0016]所述耦合器的第三端依次通过所述压电陶瓷、一个所述光纤自准直透镜与所述参考反射镜电连接；
[0017]所述耦合器的第四端依次通过所述光环形器、所述光纤布拉格光栅、一个所述光纤自准直透镜与所述探测信号模块电连接；
[0018]所述反馈控制模块的一端通过所述光探测器与所述光环形器电连接，所述反馈控制模块的第二端与所述压电陶瓷电连接。
[0019]进一步地，所述探测信号模块包括平柱透镜、闪耀光栅以及电荷耦合器；
[0020]所述闪耀光栅与所述耦合器模块的第四端电连接，所述平柱透镜设置于所述闪耀光栅与所述电荷耦合器之间，所述电荷耦合器与所述数据采集模块电连接。
[0021]进一步地，所述反馈控制模块包括顺次电连接的电流
‑
电压转换器、微分器、第一积分器以及第二积分器；
[0022]所述电流
‑
电压转换器与所述光探测器电连接，用于接收所述光探测器传送的用于表征所述干涉光束的反射光的电信号，并将所述电信号转换为电压信号；
[0023]所述微分器用于将过滤所述电压信号中的直流电压；
[0024]所述第一积分器用于将滤除直流电压的所述电压信号做积分还原处理得到优化后的所述电压信号；
[0025]所述第二积分器用于对所述电压信号进行积分处理，得到补偿信号。
[0026]进一步地，所述反馈控制模块还包括控制器，所述控制器与所述第二积分器电连接；
[0027]所述控制器用于基于所述补偿信号判断所述耦合器在检测过程中是否受到环境干扰。
[0028]进一步地，若所述补偿信号的值为0，则表明所述耦合器未受到环境干扰；若所述补偿信号的值不为0，则表明所述耦合器受到环境干扰，并将所述补偿信号作用于所述压电陶瓷。
[0029]进一步地，所述检测系统还包括所述上位机；
[0030]所述上位机用于接收所述数据采集模块发送的所述干涉信号，并基于所述干涉信号分析判断所述待检测光器件是否裂缝，并在判断结果为存在裂缝时确定所述裂缝的相对位置。
[0031]进一步地，所述光源模块包括低相干光源。
[0032]进一步地，所述数据采集模块通过USB接口与所述上位机电连接。
[0033]本专利技术实施例还提供了一种检测设备，所述检测设备包括上述任一实施例所述的检测系统。
[0034]本专利技术实施例公开了一种检测系统和检测设备，检测系统包括光源模块、耦合器模块、参考反射镜、反馈控制模块、探测信号模块以及数据采集模块；光源模块用于为耦合器模块提供光源；耦合器模块用于将光源模块发出的光分别发射至待检测光器件和参考反射镜，并将待检测光器件反射的光以及参考反射镜反射的光发生干涉，得到干涉光束；探测信号模块用于接收干涉光束并进行准直后送入数据采集模块；数据采集模块用于对干涉光束进行分析处理，并将分析结果送入上位机；反馈控制模块用于获取并处理耦合器模块的
第四端反射的干涉光束的反射光，并基于处理结果对发射至参考反射镜的光束进行补偿修正。本申请解决了传统的低相干度光学反射测量系统的结构复杂、测量精度低、测量速度慢以及稳定性较差的技术问题，实现了降低检测系统的装置复杂度，且提高了检测系统的检测速度、测量精度低以及测量稳定性的技术效果。
附图说明
[0035]图1是本专利技术实施例提供的一种检测系统的结构图；
[0036]图2是本专利技术实施例提供的另一种检测系统的结构图；
[0037]图3是本专利技术实施例提供的反馈控制模块的结构图。
具体实施方式
[0038]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0039]需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于限定特定顺序。本专利技术下述各个实施例可以单独执行，各个实施例之间也可以相互结合执行，本专利技术实施例对此不作具体限制。
[0040]图1是本专利技术实施例提供的一种检测系统的结构图。
[0041]如图1所示，该检测系统包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统包括光源模块、耦合器模块、参考反射镜、反馈控制模块、探测信号模块以及数据采集模块；所述光源模块与所述耦合器模块的第一端电连接；所述耦合器模块的第二端与待检测光器件电连接；所述耦合器模块的第三端与所述参考反射镜电连接，所述耦合器模块的第四端与所述探测信号模块电连接；所述反馈控制模块设置于所述耦合器模块的第三端与第四端之间；所述探测信号模块与所述数据采集模块电连接；所述数据采集模块与上位机电连接；所述光源模块用于为所述耦合器模块提供光源；所述耦合器模块用于将所述光源模块发出的光分别发射至所述待检测光器件和所述参考反射镜，并将所述待检测光器件反射的光以及所述参考反射镜反射的光发生干涉，得到干涉光束；所述探测信号模块用于接收所述干涉光束并进行准直，对准直后的光进行探测，得到不同波长的干涉信号；所述数据采集模块用于采集不同波长的所述干涉信号，并将所述干涉信号送入所述上位机；所述反馈控制模块用于获取并处理所述耦合器模块的第四端反射的所述干涉光束的反射光，并基于处理结果对发射至所述参考反射镜的光束进行补偿修正。2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述耦合器模块包括耦合器、多个光纤自准直透镜、光环形器、光纤布拉格光栅、光探测器以及压电陶瓷；所述耦合器的第一端通过单模光纤与所述光源模块电连接；所述耦合器的第二端通过一个所述光纤自准直透镜与所述待检测光器件电连接；所述耦合器的第三端依次通过所述压电陶瓷、一个所述光纤自准直透镜与所述参考反射镜电连接；所述耦合器的第四端依次通过所述光环形器、所述光纤布拉格光栅、一个所述光纤自准直透镜与所述探测信号模块电连接；所述反馈控制模块的一端通过所述光探测器与所述光环形器电连接，所述反馈控制模块的第二端与所述压电陶瓷电连接。3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述探测信号模块包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰雨，彭沐曦，张磊，陶雪飞，
申请(专利权)人：中国农业银行股份有限公司，
类型：发明
国别省市：