用于静电卡盘的螺旋多相电极制造技术

本申请案涉及用于静电卡盘的螺旋多相电极。静电卡盘包含各自具有围绕所述静电卡盘的表面的中心的螺旋形状的多个电极，以提供多相静电卡盘。各电极可连接到不同相位的电力。所述螺旋形状可各自相互避开以及避开所述静电卡盘中的所述表面中的孔或开口。所述螺旋形状可使用处理器用算法确定。这些静电卡盘可包含三个或更多个电极。制造所述静电卡盘的方法包含确定所述电极中的每一者的形状及提供所述电极中的每一者。电极中的每一者。电极中的每一者。

【技术实现步骤摘要】
用于静电卡盘的螺旋多相电极


[0001]本公开涉及用于静电卡盘中的电极，特定来说用于提供多相静电卡盘的多个电极的螺旋图案。

技术介绍

[0002]静电卡盘可用于在半导体处理中保持晶片。静电卡盘可使用不同相位的交流(AC)电压来帮助管理在使用AC电压操作卡盘时周期性发生的力损失。可通过离散区域或通过梳状设计提供两个相位。可在离散区域中提供多于两个相位。由于由不同区域施加的力随使用的交流电随时间而变化，因此针对每一相位使用离散区域可致使晶片不平衡。当存在用于晶片的其他支撑物，例如销(晶片通过静电卡盘的力固持到其)时，此可尤其显著，因为基于由静电卡盘的不同区域施加的力，晶片可围绕支撑物倾斜。

技术实现思路

[0003]本公开涉及用于静电卡盘中的电极，特定来说用于提供多相静电卡盘的多个电极的螺旋图案。
[0004]相互交错的螺旋图案容许多个电极中的每一者围绕静电卡盘的中心，而不是必须将卡盘划分为用于每一相位的离散区域。此容许将经固定晶片更一致地固持于卡盘中，从而抑制归因于功率变化的位置变动及归因于交流电的性质的某些相位丢失。位置变动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘，其特征在于所述静电卡盘包括以螺旋图案形成于表面上的多个电极，其中所述多个电极中的每一者相互交错且所述多个电极中的每一者围绕所述表面的中心。2.根据权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于所述表面是陶瓷表面。3.根据权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于所述螺旋图案经配置以避开形成于所述表面中的一或多个孔。4.根据权利要求1或3所述的静电卡盘，其特征在于所述表面的形状是大体上圆形。5.根据权利要求1或3所述的静电卡盘，其特征在于所述多个电极中的每一者连接到经配置以提供不同相位...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊泓，J，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：新型
国别省市：