本发明专利技术提供一种经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间的性能偏差得到抑制的感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法。本发明专利技术的感放射线性树脂组合物的制造方法包括：工序1，使包含第1有机溶剂的第1溶液与第1过滤器接触以清洗第1过滤器；及工序2，使用在工序1中清洗的第1过滤器过滤感放射线性树脂组合物。器过滤感放射线性树脂组合物。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法
[0001]本专利技术涉及一种感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
[0002]在IC(Integrated Circuit，集成电路)及LSI(Large Scale Integrat ed Circuit：大规模集成电路)等半导体器件的制造工艺中，通过使用感放射线性树脂组合物的光刻进行微细加工。
[0003]作为光刻的方法，可以举出由感放射线性树脂组合物形成抗蚀剂膜然后，对所获得的膜进行曝光，然后进行显影的方法。
[0004]并且，在专利文献1中，公开有在制造感放射线性树脂组合物时实施使用了过滤器的过滤处理的方法。
[0005]以往技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2014
‑
178566号公报
技术实现思路
[0008]专利技术要解决的技术课题
[0009]通常，通过了过滤器的感放射线性树脂组合物按通过顺序细分并回收到容器中来出货。此时，要求被细分的感放射线性树脂组合物分别显示相同的性能。
[0010]本专利技术人等发现，按照专利文献1中所记载的方法用过滤器过滤感放射线性树脂组合物，并分别使用按过滤顺序细分的感放射线性树脂组合物形成图案的结果，图案形状(例如，空间线宽或孔的尺寸)产生偏差。以下，如上所述，将实施过滤器过滤而按回收顺序细分的感放射线性树脂组合物之间产生图案形状的偏差的情况称为“经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间产生性能偏差”。
[0011]本专利技术的课题在于，提供一种经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间的性能偏差得到抑制的感放射线性树脂组合物的制造方法。
[0012]并且，本专利技术的课题还在于，提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。
[0013]用于解决技术课题的手段
[0014]本专利技术人等发现了通过以下结构能够解决上述课题。
[0015](1)一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其包括：
[0016]工序1，使包含第1有机溶剂的第1溶液与第1过滤器接触以清洗第1过滤器；及
[0017]工序2，使用在工序1中清洗的第1过滤器过滤感放射线性树脂组合物。
[0018](2)根据(1)所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，感放射线性树脂组合物包含通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及有机溶剂，
[0019]作为第1溶液，使用感放射线性树脂组合物。
[0020](3)根据(1)或(2)所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，工序1中的第1过滤器与第1溶液的接触时间为1小时以上。
[0021](4)根据(1)至(3)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，第1有机溶剂的SP值为17.0MPa
1/2
以上且小于25.0MPa
1/2
。
[0022](5)根据(1)至(4)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，在50kPa以上的压力下进行工序1中的第1过滤器与第1溶液的接触。
[0023](6)根据(1)至(5)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，第1过滤器以使通液方向成为从铅直方向下方向上方的方式配置。
[0024](7)根据(1)至(6)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，第1过滤器中的至少1个为聚酰胺系过滤器。
[0025](8)根据(1)至(7)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，包含第1有机溶剂的第1溶液通过第1过滤器时的线速度为40L/(hr
·
m2)以下。
[0026](9)根据(1)至(8)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，工序2为使用第1过滤器循环过滤感放射线性树脂组合物的工序。
[0027](10)根据(1)至(9)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其包括:
[0028]工序3，在工序2之前，使包含第2有机溶剂的第2溶液与第2过滤器接触以清洗第2过滤器；
[0029]工序4，使用在工序3中清洗的第2过滤器过滤感放射线性树脂组合物中所包含的构成成分中的至少1个化合物；及
[0030]工序5，使用在工序4中获得的化合物来制备感放射线性树脂组合物。
[0031](11)根据(10)所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，工序3中的第2过滤器与第2溶液的接触时间为1小时以上。
[0032](12)根据(10)或(11)所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，第2有机溶剂的SP值为17.0MPa
1/2
以上且小于25.0MPa
1/2
。
[0033](13)根据(10)至(12)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，在50kPa以上的压力下进行工序3中的第2过滤器与第2溶液的接触。
[0034](14)根据(10)至(13)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，第2过滤器以使通液方向成为从铅直方向下方向上方的方式配置。
[0035](15)根据(10)至(14)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，第2过滤器中的至少1个为聚酰胺系过滤器。
[0036](16)根据(10)至(15)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，包含第2有机溶剂的第2溶液通过第2过滤器时的线速度为40L/(hr
·
m2)以下。
[0037](17)根据(10)至(16)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，工序4为使用第2过滤器循环过滤感放射线性树脂组合物中所包含的构成成分中的至少1个化合物的工序。
[0038](18)根据(1)至(17)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，感放射线性树脂组合物的固体成分浓度为10质量％以上。
[0039](19)一种图案形成方法，其包括：
[0040]使用通过(1)至(18)中任一项所述的制造方法进行制造的感放射线性树脂组合物在基板上形成抗蚀剂膜的工序；
[0041]对抗蚀剂膜进行曝光的工序；及
[0042]使用显影液对经曝光的抗蚀剂膜进行显影以形成图案的工序。
[0043](20)一种电子器件的制造方法，其包括(19)所述的图案形成方法。
[0044]专利技术效果
[0045]根据本专利技术，能够提供一种经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间的性能偏差得到抑制的感放射线性树脂组合物的制造方法。
[0046]并且，根据本专利技术，能够提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。
附图说明
[0047]图1表示本专利技术的感放射线性树脂组合物的制造方法中所使用的制造装置的一实施方式的示意图。
具体实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其包括：工序1，使包含第1有机溶剂的第1溶液与第1过滤器接触以清洗所述第1过滤器；及工序2，使用在所述工序1中清洗的所述第1过滤器过滤感放射线性树脂组合物。2.根据权利要求1所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，所述感放射线性树脂组合物包含通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及有机溶剂，作为所述第1溶液，使用所述感放射线性树脂组合物。3.根据权利要求1或2所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，所述工序1中的所述第1过滤器与所述第1溶液的接触时间为1小时以上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，所述第1有机溶剂的SP值为17.0MPa
1/2
以上且小于25.0MPa
1/2
。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，在50kPa以上的压力下进行所述工序1中的所述第1过滤器与所述第1溶液的接触。6.根据权利要求1至5中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，所述第1过滤器以使通液方向成为从铅直方向下方向上方的方式配置。7.根据权利要求1至6中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，所述第1过滤器中的至少1个为聚酰胺系过滤器。8.根据权利要求1至7中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，包含所述第1有机溶剂的第1溶液通过所述第1过滤器时的线速度为40L/(hr
·
m2)以下。9.根据权利要求1至8中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，所述工序2为使用所述第1过滤器循环过滤所述感放射线性树脂组合物的工序。10.根据权利要求1至9中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其包括：工序3，在所述工序2之前，使包含第2有机溶剂的第2溶液与第2过滤器接触以清洗所述第2过滤器；工序4，使用在所述工序3中清洗的所述第2过滤器过滤所述感放射线性树脂组合物中...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中匠，坂内隆，江副博之，岩谷彰一郎，本山宽大，原田宪一，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：
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