一种半导体厂用CMP废水高效回收设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，涉及流体输送技术领域，该半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道以及设置在输送管道端部的管道接头，所述输送管道水平设置，所述输送管道的内部设置有牵引绳，所述牵引绳的表面等距设置有固定片，所述固定片上连接有拖绳，所述输送管道进水端的外壁以及进水端设置有切槽，所述牵引绳的一端固定在切槽的内部，所述管道接头套接在输送管道的表面，且切槽以及切槽内部牵引绳均位于管道接头的内部。本实用新型专利技术通过在输送管道中设置牵引绳、固定片和拖绳，解决了半导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉降的问题，避免疏通管道，给工作带来便利。便利。便利。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体厂用CMP废水高效回收设备


[0001]本技术涉及流体输送
，具体为一种半导体厂用CMP废水高效回收设备。

技术介绍

[0002]半导体工厂CMP废水中含有大量铜等其他金属和非金属不溶颗粒杂质，从产生废水的设备到回收池之间通过管道输送废水，这一段管道分别用于连接各个设备，通常不设增加装置，管道的水平段在废水流速比较低时其中的杂质容易出现沉降，每天下班管道逐渐停水到次日上班管道开始排水，尤其是每次设备关闭之后的一段时间，沉降尤为明显，造成废水输送阻力增加，进一步导致废水流速降低，长期使用造成杂质沉降明显，需要打开管道接头进行疏通，给工作带来不便。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术提供了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，用于解决半导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉降的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道以及设置在输送管道端部的管道接头，所述输送管道水平设置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道(1)以及设置在输送管道(1)端部的管道接头(2)，其特征在于：所述输送管道(1)水平设置，所述输送管道(1)的内部设置有牵引绳(3)，所述牵引绳(3)的表面等距设置有固定片(4)，所述固定片(4)上连接有拖绳(5)，所述输送管道(1)进水端的外壁以及进水端设置有切槽(6)，所述牵引绳(3)的一端固定在切槽(6)的内部，所述管道接头(2)套接在输送管道(1)的表面，且切槽(6)以及切槽(6)内部牵引绳(3)均位于管道接头(2)的内部。2.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，其特征在于：所述固定片(4)上设置有穿孔(7)，所述固定片(4)通过穿孔(7)套接在牵引绳(3)的表面，所述牵引绳(3)上设置有绳结一(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶玉珊，
申请(专利权)人：江苏诺邦环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：