一种半导体厂用CMP废水高效回收设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，涉及流体输送技术领域，该半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道以及设置在输送管道端部的管道接头，所述输送管道水平设置，所述输送管道的内部设置有牵引绳，所述牵引绳的表面等距设置有固定片，所述固定片上连接有拖绳，所述输送管道进水端的外壁以及进水端设置有切槽，所述牵引绳的一端固定在切槽的内部，所述管道接头套接在输送管道的表面，且切槽以及切槽内部牵引绳均位于管道接头的内部。本实用新型专利技术通过在输送管道中设置牵引绳、固定片和拖绳，解决了半导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉降的问题，避免疏通管道，给工作带来便利。便利。便利。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体厂用CMP废水高效回收设备


[0001]本技术涉及流体输送
，具体为一种半导体厂用CMP废水高效回收设备。

技术介绍

[0002]半导体工厂CMP废水中含有大量铜等其他金属和非金属不溶颗粒杂质，从产生废水的设备到回收池之间通过管道输送废水，这一段管道分别用于连接各个设备，通常不设增加装置，管道的水平段在废水流速比较低时其中的杂质容易出现沉降，每天下班管道逐渐停水到次日上班管道开始排水，尤其是每次设备关闭之后的一段时间，沉降尤为明显，造成废水输送阻力增加，进一步导致废水流速降低，长期使用造成杂质沉降明显，需要打开管道接头进行疏通，给工作带来不便。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术提供了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，用于解决半导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉降的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道以及设置在输送管道端部的管道接头，所述输送管道水平设置，所述输送管道的内部设置有牵引绳，所述牵引绳的表面等距设置有固定片，所述固定片上连接有拖绳，所述输送管道进水端的外壁以及进水端设置有切槽，所述牵引绳的一端固定在切槽的内部，所述管道接头套接在输送管道的表面，且切槽以及切槽内部牵引绳均位于管道接头的内部。
[0006]优选的，所述固定片上设置有穿孔，所述固定片通过穿孔套接在牵引绳的表面，所述牵引绳上设置有绳结一，所述绳结一位于固定片远离输送管道进水端的一侧，所述固定片通过绳结一固定在牵引绳的表面。
[0007]优选的，所述固定片上设置有通孔，所述固定片通过通孔与拖绳的一端固定，所述拖绳的表面等距设置有绳结二。
[0008]优选的，所述牵引绳的长度不大于输送管道的长度。
[0009]优选的，所述切槽位于输送管道的上方。
[0010]优选的，所述切槽的内部设置有密封填料。
[0011]与现有技术相比，本技术具备以下有益效果：
[0012]本技术通过在输送管道中设置牵引绳、固定片和拖绳，拖绳上还设置有绳结二，废水回收过程中带动牵引绳、固定片、拖绳和绳结二在输送管道中摆动，对沉降的杂质具有刮除的作用，避免沉降杂质积累，确保废水回收畅通无阻，提高了回收效率，解决了半导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉降的问题，避免疏通管道，给工作带来便利。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构立体图；
[0014]图2为本技术内部结构立体图；
[0015]图3为本技术牵引绳、固定片和拖绳结构示意图；
[0016]图4为本技术切槽位置处正剖图。
[0017]图中：1、输送管道；2、管道接头；3、牵引绳；4、固定片；5、拖绳；6、切槽；7、穿孔；8、绳结一；9、通孔；10、绳结二。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1
‑
4所示，本技术提供一种技术方案：一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道1以及设置在输送管道1端部的管道接头2，输送管道1水平设置，输送管道1的内部设置有牵引绳3，牵引绳3的表面等距设置有固定片4，固定片4上连接有拖绳5，输送管道1进水端的外壁以及进水端设置有切槽6，牵引绳3的一端固定在切槽6的内部，管道接头2套接在输送管道1的表面，且切槽6以及切槽6内部牵引绳3均位于管道接头2的内部。
[0020]作为本技术的一种技术优化方案，固定片4上设置有穿孔7，固定片4通过穿孔7套接在牵引绳3的表面，牵引绳3上设置有绳结一8，绳结一8位于固定片4远离输送管道1进水端的一侧，固定片4通过绳结一8固定在牵引绳3的表面，固定片4可以采用金属片或塑料片，结构简单，容易获取原材料，制造和使用成本低。
[0021]作为本技术的一种技术优化方案，固定片4上设置有通孔9，固定片4通过通孔9与拖绳5的一端固定，拖绳5的表面等距设置有绳结二10，绳结二10能够增加刮除沉降杂质的效果。
[0022]作为本技术的一种技术优化方案，牵引绳3的长度不大于与输送管道1的长度。
[0023]作为本技术的一种技术优化方案，切槽6位于输送管道1的上方，输送管道1中有废水输送时，对牵引绳3、固定片4和拖绳5具有浮力，牵引绳3固定在上方能够提高牵引绳3的漂浮效果，提高摆动幅度，从而提高杂质刮除效果。
[0024]作为本技术的一种技术优化方案，切槽6的内部设置有密封填料，确保密封性。
[0025]工作原理：输送管道1输送废水时，废水对牵引绳3、固定片4和拖绳5具有浮力作用，废水不断输送，带动牵引绳3、固定片4和拖绳5在输送管道1中不断摆动，从而刮除输送管道1内壁底部沉降的杂质，避免杂质积累，确保废水回收输送畅通无阻。
[0026]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要
素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0027]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括输送管道(1)以及设置在输送管道(1)端部的管道接头(2)，其特征在于：所述输送管道(1)水平设置，所述输送管道(1)的内部设置有牵引绳(3)，所述牵引绳(3)的表面等距设置有固定片(4)，所述固定片(4)上连接有拖绳(5)，所述输送管道(1)进水端的外壁以及进水端设置有切槽(6)，所述牵引绳(3)的一端固定在切槽(6)的内部，所述管道接头(2)套接在输送管道(1)的表面，且切槽(6)以及切槽(6)内部牵引绳(3)均位于管道接头(2)的内部。2.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，其特征在于：所述固定片(4)上设置有穿孔(7)，所述固定片(4)通过穿孔(7)套接在牵引绳(3)的表面，所述牵引绳(3)上设置有绳结一(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶玉珊，
申请(专利权)人：江苏诺邦环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：