一种光栅测量系统读头安装机构技术方案

本实用新型专利技术涉及光栅测量领域，尤其涉及一种光栅测量系统读头安装机构，包括弹簧弹片、无弹簧弹片，工件台读数头上设有微调组件和紧固组件，所述微调组件与弹簧弹片相连，所述紧固组件与无弹簧弹片相连。所述微调组件由反扣、弹簧、弹簧读头镶嵌件、微调螺钉组成，所述微调螺钉依次穿过弹簧读头镶嵌件、弹簧和反扣；所述紧固组件由无弹簧读头镶嵌件和紧固螺钉组成，所述紧固螺钉穿过无弹簧读头镶嵌件。该机构可保证读头安装在工件台上的稳定性，满足读头相对于光栅俯仰角度调节需求。足读头相对于光栅俯仰角度调节需求。足读头相对于光栅俯仰角度调节需求。

【技术实现步骤摘要】
一种光栅测量系统读头安装机构


[0001]本技术涉及光栅测量
，特别是涉及一种光栅测量系统读头安装机构。

技术介绍

[0002]目前，在精密和超精密设备领域，光学仪器的三维精密调整通常是使用三颗普通螺钉，每个钉上均套有弹簧，三个螺钉之间呈三角形分布，通过调整第一调整螺钉、第二调整螺钉和第三调整螺钉其中之一或者组合来实现机构的三位移动，即采用直角三角形分布的三点弹性支承，实现对精密机构俯仰角度的三维调整。虽然，该结构可以实现零件的三个自由度调节，但是此结构不适于应用在高速运动下的光栅测量系统上。因为，工件台的工作速度通常为1.5m/s，在工件台高速度及高加速度的情况下，光学仪器的机械稳定性会因为弹簧的弹性形变而产生晃动，影响读头出光表面相对于光栅之间的距离和角度，从而影响整个平面光栅分系统位置测量的准确性和精度。并且此结构如果应用在光栅测量系统领域，会使工件台读数头的一阶模态与工件台的一阶模态相差很远，从而会大大降低平面光栅测量系统的测量精度。
[0003]另外，根据目前的结构设计，当弹簧被压缩到最短时，仪器的X向位置调整将受限，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光栅测量系统读头安装机构，其特征在于：包括弹簧弹片、无弹簧弹片，工件台读数头上设有微调组件和紧固组件，所述微调组件与弹簧弹片相连，所述紧固组件与无弹簧弹片相连。2.根据权利要求1所述的光栅测量系统读头安装机构，其特征在于：所述弹簧弹片和微调组件均为2个，所述无弹簧弹片和紧固组件均为1个。3.根据权利要求2所述的光栅测量系统读头安装机构，其特征在于：所述微调组件由反扣、弹簧、弹簧读头镶嵌件、微调螺钉组成，所述微调螺钉依次穿过弹簧读头镶嵌件、弹簧和反扣；所述紧固组件由无弹簧读头镶嵌件和紧固螺钉组成，所述紧固螺钉穿过无弹簧读头镶嵌件。4.根据权利要求3所述的光栅测量系统读头安装机构，其特征在于：包括2个弹簧弹片(1)、1个无弹簧弹片(2)、2个反扣(3)、2个弹簧(4)、2个弹簧读头镶嵌件(5)、1个无弹簧读头镶嵌件(6)、第一微调螺钉(8)、紧固螺钉(9)、第二微调螺钉(10)；所述2个弹簧读头镶嵌件(5)及1个无弹簧读头镶嵌件(6)粘接在工件台读数头(7)相对应的孔位中，呈直角三角形分布；所述无弹簧读头镶嵌件(6)安装在直角三角形的直角顶点处；所述第一微调螺钉(8)和第二微调螺钉(10)各穿过1个弹簧读头镶嵌件(5)，所述紧固螺钉(9)穿过无弹簧读头镶嵌件(6)；所述第一微调螺钉(8)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：高嘉铭，高立冬，邵禹韬，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：