一种夹持效果好的电镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种夹持效果好的电镀装置，包括电镀台和电镀池，还包括夹持机构和导镀机构，所述夹持机构包括手持板，所述手持板的表面固定连接有空管，且空管的顶端管口处插入有弹性胶杆，通过设有夹持机构，将晶圆片向下塞入空心环盘表面的C形夹板处卡入，此时握住手持板将C形夹板和晶圆片向电镀台的电镀池内放入进行电镀，电镀完成后，晶圆片和C形夹板向上提出电镀池后侧向放置在收料区域，然后使用弹性胶杆从空管和空心环盘处插入C形夹板之间，借助弹性胶杆插入从C形夹板之间抵出电镀完成后的晶圆片，实现了电镀台处的简单有效夹持电镀。夹持电镀。夹持电镀。

【技术实现步骤摘要】
一种夹持效果好的电镀装置


[0001]本技术涉及电镀装置
，特别涉及一种夹持效果好的电镀装置。

技术介绍

[0002]电镀就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。不少硬币的外层亦为电镀。
[0003]专利号CN201910828723.3公开了一种半导体晶圆电镀夹持装置，包括工作台、液压杆、气缸、夹持主板和电镀盘，所述工作台为L型结构，其内侧底端面开设有横向贯通的且呈矩形结构的底槽，其外侧顶端面远离竖直端的一侧安装有液压杆，其内侧顶端面设置有支撑顶板，所述液压杆的活塞端底端穿过工作台与支撑顶板焊接固定，所述支撑顶板的底端焊接有竖直设置的电机，所述电机的机轴通过支撑底板连接有搅拌扇叶。该半导体晶圆电镀夹持装置，能够对电镀槽内的电镀液进行搅拌，能够保证电镀液的搅拌流动充分，从而保证了电镀沉积厚度的均匀性，提高了电镀的效果，并由气缸的推动，完成夹持，使夹紧的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹持效果好的电镀装置，包括电镀台(1)和电镀池(2)，其特征在于：还包括夹持机构(3)和导镀机构(4)，所述夹持机构(3)包括手持板(301)，所述手持板(301)的表面固定连接有空管(302)，且空管(302)的顶端管口处插入有弹性胶杆(303)，所述空管(302)伸出手持板(301)的底端管体外侧焊接有空心环盘(304)，且空心环盘(304)的盘体底端对称固定有C形夹板(305)，所述手持板(301)的两端板体处与电镀台(1)之间设置有导镀机构(4)。2.根据权利要求1所述的一种夹持效果好的电镀装置，其特征在于：所述电镀池(2)设置在电镀台(1)的表面。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘圣宝，
申请(专利权)人：博罗县环贸精密电镀有限公司，
类型：新型
国别省市：