交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种交联性弹性体组合物，其在特定条件下的等离子体照射后的重量减少率与颗粒产生量、以及高温下的压缩永久变形小。本发明专利技术涉及一种交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品，组合物含有交联性弹性体、和表面被氧化的非氧化物系陶瓷，氟橡胶成型品在特定条件下的O2等离子体照射后的重量减少率为2.5质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，NF3等离子体照射后的重量减少率为1.8质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，300℃、70小时下的压缩永久变形为50％以下。小时下的压缩永久变形为50％以下。

【技术实现步骤摘要】
交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品
[0001]本申请是分案申请，其针对的申请的中国国家申请号为201880067141.1、国际申请号为PCT/JP2018/038627，申请日为2018年10月17日、进入中国的日期为2020年4月15日，专利技术名称为“交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品”。


[0002]本专利技术涉及交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品。

技术介绍

[0003]CVD、Ercher等半导体制造装置中使用的部件需要对制造工序中暴露的NF3等离子体处理和O2处理具有耐性。作为构成这种部件的组合物，在专利文献1中，已知含有交联性含氟弹性体和SiO2的组合物。另外，在专利文献2中，已知含有交联性含氟弹性体和堆积密度为0.15g/cm3以下的碳化硅颗粒的组合物。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2005/17017号
[0007]专利文献2：日本特表2012
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509975号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种交联性弹性体组合物，其含有交联性弹性体、和表面被氧化的非氧化物系陶瓷填料。2.如权利要求1所述的交联性弹性体组合物，其中，非氧化物系陶瓷填料为碳化硅。3.如权利要求1或2所述的交联性弹性体组合物，其中，非氧化物系陶瓷填料的平均粒径为0.1μm以下。4.如权利要求1～3中任一项所述的交联性弹性体组合物，其中，所述交联性弹性体为四氟乙烯与全氟(烷基乙烯基醚)的共聚物。5.一种氟橡胶成型品，其在下述条件下的O2等离子体照射后的重量减少率为2.5质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，NF3等离子体照射后的重量减少率为1.8质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，300℃、70小时下的压缩永久变形为50％以下，记样品：O型圈(AS
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【专利技术属性】
技术研发人员：平野诚一，野口刚，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：