支撑结构、多层膜透射滤光元件及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种金属网格支撑结构、多层膜透射滤光元件及制备，所述支撑结构包括金属网格(1)和填充物(2)，所述金属网格(1)中规则分布圆柱形通孔(3)，所述填充物(2)填充在通孔(3)中。所述多层膜透射滤光元件包括金属网格(1)以及镀覆在金属网格(1)上的多层膜(5)。与现有技术相比，本发明专利技术的金属网格结构稳定且易于制备，有效提高多层膜滤光元件的通光面积占比，优化过滤性能，更有利于极紫外和X射线波段的透射率。同时，多层膜结构有效的改善应力和表面针孔结构的存在，有效提升机械性能和环境稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
支撑结构、多层膜透射滤光元件及其制备方法


[0001]本专利技术属于精密光学元件领域，具体涉及一种支撑结构、多层膜透射滤光元件及其制备方法。

技术介绍

[0002]在短波长领域，有些元素在被超薄金属膜吸收前后透射特性会发生变化，而透射滤光元件(滤片)就是采用这种超薄金属膜制备得到的，并且滤片对于极紫外和软X射线具有较高透射性，对于红外、可见光和紫外有较强的吸收和反射特性，滤片被广泛用于天文观测、同步辐射、极紫外光刻以及等离子体诊断等领域。使用磁控溅射制备得到的滤片，厚度在10
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100nm，这种自支撑滤片非常容易破损，在应力作用下容易产生褶皱、破裂，进而形成砂眼。通过使用聚合物膜、金属网格等结构来支撑滤片，在提高滤片的机械性能的同时，可保持滤片的光学性能。
[0003]滤片支撑结构技术的进步极大地推动了相关领域的发展。以观测太阳为例，美国国家宇航局(NASA)于1994年发射的MSSTA
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种支撑结构，其特征在于，包括金属网格(1)和填充物(2)，该金属网格(1)内均匀排布有圆柱形通孔(3)，该通孔(3)内填满填充物(2)。2.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，所述金属网格(1)的材质为Mo或者W。3.根据权利要求1或2所述的支撑结构，其特征在于，所述金属网格(1)呈圆柱体状，厚度为15
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20μm，直径为10
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30mm。4.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，所述通孔(3)的内径为30
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200μm，相邻孔道(3)之间的孔间距为50
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100μm。5.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，所述填充物(2)为石蜡或光刻胶。6.一种含有权利要求1
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5任一所述的支撑结构的多层膜透射滤光元件，其特征在于，在所述的支撑结构的上表面镀有多层膜结构(5)。7.根据权利要求6所述的多层膜透射滤光元件，其特征在于，所述的多层膜为周期多层膜，采用的材料为Zr、Si、B4C、Nb、Mo一种或者多种的组合，多层膜滤片的总厚度为80
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500nm。8.根据权利要求6所述的多层膜透射滤光元件，其特征在于，所述的多层膜为一个周期包含的材料为高原子序数和低原子序数的材料组合。...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵娇玲，郭胜，李笑然，朱美萍，邵宇川，王涛，张益彬，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：