一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制作设备制造技术

本发明专利技术涉及纳米材料制备技术领域，具体涉及一种纳米银膜制备工艺及制备设备。为了为了提供一种绿色环保的生产纳米银膜的方法，本发明专利技术提供一种纳米银膜制备工艺及制备设备，该所述制备工艺包括如下步骤，将可溶性材料制成的基膜平整的固定在磁控溅射设备上，张力锁紧；将金属银通过磁控溅射工艺均匀附着在可溶性材料制成的基膜上，金属银附着完成后基膜收料；将附着银膜的基膜在浸除液中浸除；将银膜干燥后收取。本制备工艺可实现纳米级厚度银膜的稳定制备，且银膜厚度一致性好，制备工艺过程中无有害化学反应，不产生有害化学废液，绿色环保。色环保。色环保。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制作设备


[0001]本专利技术涉及纳米材料制备
，具体涉及一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制备设备。

技术介绍

[0002]随着微电子领域及生物技术的发展，对于纳米级银膜的需求越来越强烈，现阶段制备银膜采用的是压延法制备工艺，此工艺仅能保证稳定的微米级银膜的供给，无法达到纳米级别，目前，采用化学还原法制备的银膜可以达到纳米级，但会产生大量的化学废液，污染环境，无法大量生产，因此现急需要一种绿色环保的生产纳米级银膜的方法。

技术实现思路

[0003]为了提供一种绿色环保的生产纳米银膜的方法，本专利技术提供一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制备设备，该所述制备工艺包括如下步骤：
[0004]S1、将可溶性材料制成的基膜平整的固定在磁控溅射设备上，张力锁紧；
[0005]S2、将金属银通过磁控溅射工艺均匀附着在可溶性材料制成的基膜上，金属银附着完成后基膜收料；
[0006]S3、将附着银膜的基膜在浸膜液中将基膜浸除，获得银膜；
[0007]S4、将银膜脱水后收取。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括如下步骤：S1、将可溶性材料制成的基膜平整的固定在磁控溅射设备上，张力锁紧；S2、将金属银通过磁控溅射工艺均匀附着在可溶性材料制成的基膜上；S3、将附着银膜的基膜在浸膜液中将基膜浸除，获得银膜；S4、将银膜干燥后收取。2.根据权利要求1所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述步骤S1中，所述基膜在20
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30kgf/m张力作用下，表面无肉眼可见褶皱。3.根据权利要求1所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述步骤S1中的可溶性材料为水溶性材料，所述步骤S3中的浸膜液为去离子水。4.根据权利要求3所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述水溶性材料为直链淀粉、羧甲基纤维素钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮的其中一种。5.根据权利要求1所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述步骤S1中，可溶性材料为聚偏氟乙烯，所述步骤S3中的浸膜液为N
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甲基吡咯烷酮。6.根据权利要求1所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述步骤S2中，金属银附着在基膜的厚度在20nm
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2000nm之间。7.根据权利要求3所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述去离子水的电导率5μs/cm以下，所述去离子水的温度为60
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95℃。8.根据权利要求4所述的纳米银膜制备工艺，其特征在于，所述水溶性材料为直链淀粉时，所述去离子水的温度为70
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗赵新，史雅琦，赵正坤，
申请(专利权)人：安徽正合雅聚新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：