高通量筛选软磁材料磁导率的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高通量筛选软磁材料磁导率的装置及方法。所述高通量筛选软磁材料磁导率的装置包括：测试探头，所述测试探头包括谐振电路，所述谐振电路的谐振频率和反射参数能够被待测样品影响而发生变化；矢量网络分析仪，其与所述测试探头电连接，并用于测量所述谐振电路的谐振频率和反射参数；数据处理机构，其至少用于对接收的多组谐振频率和反射参数进行处理，并获得待测样品的磁导率；三维移动平台，其至少用于放置待测样品，并以指定姿态将待测样品移动至指定的测试位置，同时测量所述待测样品与测试探头之间的距离。本发明专利技术可以实现待测样品的高通量实时测量，对于多个样品可以实现连续、无损的快速检测，且具有较高的分辨率与灵敏度。的分辨率与灵敏度。的分辨率与灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
高通量筛选软磁材料磁导率的装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种磁导率测试装置，特别涉及一种高通量筛选软磁材料磁导率的装置及方法，属于测试设备


技术介绍

[0002]磁性薄膜材料由于其尺寸小、频率响应高等特点，而被广泛应用在信息存储、电磁兼容、磁传感器和微波通讯等领域。磁导率是磁性薄膜材料重要的技术指标之一，对于设计和研制高性能的磁性器件非常关键。基于磁导率的有效检测，会直接关系到产品性能、成本、使用寿命、甚至产品安全。因此，准确可靠地测量磁导率具有重要意义。
[0003]目前，测量磁性薄膜材料磁导率的方法大致可以分为三类：谐振腔法、感应线圈法和传输/反射法。谐振腔法是将样品置于密闭谐振腔体中的电场最小和磁场最大处，根据放入前后其谐振频率f和品质因数Q值的变化来确定磁导率。谐振腔是由传输线闭合而构成。感应线圈法的测试装置由一个驱动线圈和一个感应线圈组成，基于法拉第电磁感应定律，磁性样品的插入会引起磁通量的变化导致感应电压发生变化，感应电压大小与材料性能密切相关，从而可推算出材料的磁导率。传输/反射法是一种单端口反射或双端口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高通量筛选软磁材料磁导率的装置，其特征在于包括：测试探头，所述测试探头包括谐振电路，所述谐振电路具有指定的谐振频率和反射参数，而当待测样品靠近所述测试探头且所述待测样品与测试探头之间具有指定距离时，所述谐振电路的谐振频率和反射参数能够被待测样品影响而发生变化；矢量网络分析仪，其与所述测试探头电连接，并用于测量所述谐振电路的谐振频率和反射参数，并将测量的谐振频率和反射参数发送至数据处理机构；数据处理机构，其与所述矢量网络分析仪电连接，并至少用于对接收的多组谐振频率和反射参数进行处理，并获得待测样品的磁导率；三维移动平台，其至少用于放置待测样品，并以指定姿态将待测样品移动至指定的测试位置，同时测量所述待测样品与测试探头之间的距离。2.根据权利要求1所述高通量筛选软磁材料磁导率的装置，其特征在于：所述谐振电路包括第一电容、第二电容和电感线圈，其中，所述第一电容和第二电容串联连接，所述电感线圈与所述第一电容、第二电容中的一者并联。3.根据权利要求2所述高通量筛选软磁材料磁导率的装置，其特征在于：所述第一电容和第二电容均为可调电容。4.根据权利要求2所述高通量筛选软磁材料磁导率的装置，其特征在于：所述第一电容和第二电容的电容量相同或不同。5.根据权利要求2所述高通量筛选软磁材料磁导率的装置，其特征在于：所述电感线圈包括直线、平面线圈、微带线中的任意一种。6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚冰楠，王军强，许巍，陈霄，李傲，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：