一种静电消除系统和静电消除方法技术方案

本发明专利技术实施例公开了一种静电消除系统及静电消除方法，该静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；服务器用于向静电检测装置发送启停指令，且生成控制指令，并根据控制指令控制离子风机运行，以使离子风机进行静电消除，通过各个模块获取到环境参数，并获取到易发生静电区域，并向离子风机发送控制指令，以使离子风机消除静电，可以灵活配置静电检测设备和离子风机，提高消除静电效率。提高消除静电效率。提高消除静电效率。

【技术实现步骤摘要】
一种静电消除系统和静电消除方法


[0001]本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种静电消除系统和静电消除方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，由于静电带来的负面影响包括：尘埃微粒污染、静电放电损坏及相关设备的停机，使得半导体高产、高质的成品率降低，半导体生产车间对静电控制及消除的制定方案随着全球半导体产业的发展在不断的提高。
[0003]在半导体生产车间，为尽可能降低静电放电现象，静电检测及静电消除装置安装数量的需求在日益增长。但由于现有有线传输式的静电检测及静电消除装置数量的增加伴随着组网难，通信效率低，功耗高的缺点，现有技术无法提供一个可灵活配置的静电检测及静电消除装置多连接的组网方式。

技术实现思路

[0004]针对上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种静电消除系统和静电消除方法。
[0005]本专利技术实施例第一方面提供一种静电消除系统，所述静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，其中，所述视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电消除系统，其特征在于，所述静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，其中，所述视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；所述静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；所述温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；所述湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；所述服务器用于根据所述静电数据生成静电产生分布图，并根据所述静电产生分布图，向静电检测装置发送启停指令；还用于将所述视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令，并根据所述控制指令控制离子风机运行，以使所述离子风机进行静电消除。2.根据权利要求1所述的静电消除系统，其特征在于：所述视频监控模块用于根据各个监控设备的无线自适应地址，对各个监控设备进行编号，并接收各个监控设备采集的视频监控数据，并将所述各个监控设备采集的视频监控数据存储在与监控设备编号对应的存储空间内。3.根据权利要求2所述的静电消除系统，其特征在于：所述静电检测模块用于根据各个静电检测设备的无线自适应地址，对各个静电检测设备进行编号，并接收各个静电检测设备采集的静电数据，并将所述各个静电检测设备采集的静电数据存储在与静电检测设备编号对应的存储空间内。4.根据权利要求2所述的静电消除系统，其特征在于：所述温度检测模块用于根据各个温度传感器的无线自适应地址，对各个温度传感器进行编号，并接收各个温度传感器采集的温度数据，并将所述各个温度传感器采集的温度数据存储在与温度传感器编号对应的存储空间内。5.根据权利要求2所述的静电消除系统，其特征在于：所述湿度检测模块用于根据各个湿度传感器的无线自适应地址，对各个湿度传感器进行编号，并接收各个湿度传感器采集的湿度数据，并将所述各个湿度传感器采集的湿度数...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆文通，乔畅君，刘波文，张华平，苏友金，钟权宝，黄强，罗雪莲，韩玲玲，顾大元，
申请(专利权)人：深圳市中明科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：