本发明专利技术属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅长晶废料的回收装置。本发明专利技术通过用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元，设置在箱体单元上并用于向石英舟上投放碳化硅废料的漏斗单元，以及设置在箱体单元上并用于调整漏斗单元位置的转盘单元起到了回收碳化硅长晶废料的技术效果。本发明专利技术具有结构简单、安装方便，通过一步转动转盘的动作即可实现研磨和投放碳化硅废料，并且转盘在不使用时具有脱离锁定功能避免意外转动导致碳化硅废料掉落造成污染，同时设计了转盘推动即可回归锁定使得使用时仅需操作转盘一个部件操作方式操作简便，以及额外设置筛网和投料板等结构实现了对研磨后废料进行筛选的优点。了对研磨后废料进行筛选的优点。了对研磨后废料进行筛选的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅长晶废料的回收装置
[0001]本专利技术属于碳化硅
，尤其涉及一种用于碳化硅长晶废料的回收装置。
技术介绍
[0002]碳化硅是一种无机物，是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅是现今最受关注的第三代半导体材料之一，其在高温、高压、高频等条件下性能优异，在半导体照明光电器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器件、太阳能电池和生物传感器等其他器件等方面展现出了巨大的潜力，但传统的碳化硅生产过程中产生的废料过多，导致制备的成本过高，以及存在废料堆积而产生的环境问题，所以市场上急需一种可以有效回收处理碳化硅废料的回收装置。
[0003]公开号为CN113564712A，公开日为2021
‑
10
‑
29的中国专利技术专利公开了一种碳化硅单晶生长中废料的回收处理方法，具体包括按顺序依次焙烧脱除碳单质、混酸处理脱除微量元素和碱氧化处理脱除硅单质三个步骤，其中脱除碳单质的方法为将碳化硅废料磨成粒径小于200微米的粉料后，装入石英舟放入管式炉内，管式炉加热到400℃
‑
600℃，焙烧2h
‑
5h，设定氧气瓶的通气速率以100kPa
‑
200kPa的压力值注入，冷却后取出石英舟，获得脱除碳单质的碳化硅废料。
[0004]虽然该专利技术具有提纯后得到高纯碳化硅粉料的优点；但是该专利技术还存在向石英舟上投放碳化硅废料过程不够均匀，导致后续加热焙烧过程受热不均匀的缺点。
专利技术内容
[0005]本专利技术目的是提供一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，本专利技术通过用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元，设置在箱体单元上并用于向石英舟上投放碳化硅废料的漏斗单元，以及设置在箱体单元上并用于调整漏斗单元位置的转盘单元起到了回收碳化硅长晶废料的技术效果。本专利技术具有结构简单、安装方便，通过一步转动转盘的动作即可实现研磨和投放碳化硅废料，并且转盘在不使用时具有脱离锁定功能避免意外转动导致碳化硅废料掉落造成污染，同时设计了转盘推动即可回归锁定使得使用时仅需操作转盘一个部件操作方式操作简便，以及额外设置筛网和投料板等结构实现了对研磨后废料进行筛选的优点。
[0006]本专利技术解决上述问题采用的技术方案是：一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，包括用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元，设置在所述箱体单元上并用于向石英舟上投放碳化硅废料的漏斗单元，以及设置在所述箱体单元上并用于调整所述漏斗单元位置的转盘单元。
[0007]进一步优选的技术方案在于：所述箱体单元包括箱体，设置在所述箱体上的进料口，设置在所述箱体内侧面上并用于研磨碳化硅废料的固定辊和活动辊，以及用于安装所述漏斗单元的出料管口；所述漏斗单元包括漏斗，以及设置在所述漏斗上并安装在所述出料管口上的出料管。
[0008]进一步优选的技术方案在于：所述箱体单元还包括设置在所述箱体内侧面上且位于所述固定辊和活动辊下方的筛网，设置在所述箱体内侧面上并用于固定所述筛网的筛网架，以及设置在所述筛网下底面上并用于向所述漏斗输送碳化硅废料的送料板。
[0009]进一步优选的技术方案在于：所述箱体单元还包括用于安装所述转盘单元的转盘柱孔，设置在所述箱体内侧面上并用于安装所述活动辊的活动辊柱；所述转盘单元包括转盘，以及设置在所述转盘上且安装在所述转盘柱孔上并用于连接所述活动辊柱的转盘柱部。
[0010]进一步优选的技术方案在于：所述箱体单元还包括设置在所述箱体上且与所述转盘柱孔连通的齿轮安装槽，设置在所述箱体上的侧壁空腔，设置在所述箱体上且与所述转盘柱孔和侧壁空腔连通的齿轮安装口，设置在所述箱体上且与所述侧壁空腔连通并用于安装所述漏斗单元的传动柱口，以及设置在所述侧壁空腔中并用于连接所述漏斗单元的转动柱部；所述漏斗单元还包括设置在所述出料管上且安装在所述传动柱口上并用于连接所述转动柱部的传动柱部；所述转盘单元还包括设置在所述转盘柱部且安装在所述齿轮安装槽和齿轮安装口中并用于啮合所述转动柱部的转盘柱齿轮。
[0011]进一步优选的技术方案在于：所述转动柱部包括用于啮合所述转盘柱齿轮的转动柱齿轮，设置在所述转动柱齿轮上的转动柱，以及设置在所述转动柱上的转动柱齿轮；所述传动柱部包括设置在所述出料管上的传动柱，设置在所述传动柱上的传动板，以及设置在所述传动板上并与所述转动柱齿轮啮合的传动齿。
[0012]进一步优选的技术方案在于：所述转盘柱部包括活动柱和固定柱，设置在所述固定柱上并用于安装所述活动柱的活动柱槽，设置在所述固定柱上且与所述活动柱槽连通的插接槽，设置在所述插接槽内侧面上的顶起块，设置在所述活动柱上并用于插入所述插接槽的插接柱，以及设置在所述顶起块上并用于顶起所述活动柱的顶起弹簧。
[0013]进一步优选的技术方案在于：所述转动柱部还包括设置在所述侧壁空腔内侧底面上并用于安装所述转动柱的滑动筒。
[0014]进一步优选的技术方案在于：所述传动柱部还包括设置在所述传动柱口内侧面上并用于安装所述传动柱的滑动柱。
[0015]进一步优选的技术方案在于：所述漏斗单元还包括设置在所述箱体内侧面上并用于安装所述出料管的支撑柱。
[0016]本专利技术通过用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元，设置在箱体单元上并用于向石英舟上投放碳化硅废料的漏斗单元，以及设置在箱体单元上并用于调整漏斗单元位置的转盘单元起到了回收碳化硅长晶废料的技术效果。本专利技术具有结构简单、安装方便，通过一步转动转盘的动作即可实现研磨和投放碳化硅废料，并且转盘在不使用时具有脱离锁定功能避免意外转动导致碳化硅废料掉落造成污染，同时设计了转盘推动即可回归锁定使得使用时仅需操作转盘一个部件操作方式操作简便，以及额外设置筛网和投料板等结构实现了对研磨后废料进行筛选的优点。
附图说明
[0017]图1为本专利技术中回收装置使用方式的结构示意图。
[0018]图2为本专利技术中箱体单元及其内部零部件的结构示意图。
[0019]图3为本专利技术中箱体单元及其内部零部件侧视图的结构示意图。
[0020]图4为本专利技术中转盘柱部与箱体连接方式的结构示意图。
[0021]图5为本专利技术中侧壁空腔及其内部零部件的结构示意图。
[0022]图6为本专利技术中侧壁空腔及其内部零部件侧视图的结构示意图。
[0023]图7为本专利技术中转盘柱部的结构示意图。
具体实施方式
[0024]以下所述仅为本专利技术的较佳实施例，并非对本专利技术的范围进行限定。
[0025]实施例：如附图1、2、3、4、5、6以及附图7所示，一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，包括用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元1，设置在所述箱体单元1上并用于向石英舟A上投放碳化硅废料的漏斗单元2，以及设置在所述箱体单元1上并用于调整所述漏斗单元2位置的转盘单元3。
[0026]在本实施例中，所述箱体单元1设置在外置固定架上，可以在半空中保持固定，操作人员可通过容器将碳化硅本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，其特征在于，包括用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元（1），设置在所述箱体单元（1）上并用于向石英舟（A）上投放碳化硅废料的漏斗单元（2），以及设置在所述箱体单元（1）上并用于调整所述漏斗单元（2）位置的转盘单元（3）。2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，其特征在于，所述箱体单元（1）包括箱体（101），设置在所述箱体（101）上的进料口（102），设置在所述箱体（101）内侧面上并用于研磨碳化硅废料的固定辊（103）和活动辊（104），以及用于安装所述漏斗单元（2）的出料管口（105）；所述漏斗单元（2）包括漏斗（201），以及设置在所述漏斗（201）上并安装在所述出料管口（105）上的出料管（202）。3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，其特征在于，所述箱体单元（1）还包括设置在所述箱体（101）内侧面上且位于所述固定辊（103）和活动辊（104）下方的筛网（106），设置在所述箱体（101）内侧面上并用于固定所述筛网（106）的筛网架（107），以及设置在所述筛网（106）下底面上并用于向所述漏斗（201）输送碳化硅废料的送料板（108）。4.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，其特征在于，所述箱体单元（1）还包括用于安装所述转盘单元（3）的转盘柱孔（109），设置在所述箱体（101）内侧面上并用于安装所述活动辊（104）的活动辊柱（110）；所述转盘单元（3）包括转盘（301），以及设置在所述转盘（301）上且安装在所述转盘柱孔（109）上并用于连接所述活动辊柱（110）的转盘柱部（302）。5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅长晶废料的回收装置，其特征在于，所述箱体单元（1）还包括设置在所述箱体（101）上且与所述转盘柱孔（109）连通的齿轮安装槽（111），设置在所述箱体（101）上的侧壁空腔（112），设置在所述箱体（101）上且与所述转盘柱孔（109）和侧壁空腔（112）连通的齿轮安装口（113），设置在所述箱体（101）上且与所述侧壁空腔（112）连通并用于安装所述漏斗单元（2）的传动柱口（114），以及设置在所述侧壁空腔（112）中并用于连接所述漏斗单元（2）的转动柱...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈晓宇，郁思烨，叶国伟，肯尼斯，
申请(专利权)人：浙江东尼电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。