在扫描及静态模式中的敏感光学计量制造技术

一种计量系统可包含用于在其中样本上的一或多个计量目标在测量期间静止的静态模式中或其中一或多个计量目标在测量期间处于运动中的扫描模式中选择性地执行计量测量的计量工具及通信地耦合到平移载物台及一或多个检测器中的至少一者的控制器。所述控制器可接收待检验的所述样本上的计量目标的位置，针对使用所述静态模式或所述扫描模式的检验指定所述计量目标，基于所述指定引导所述计量工具在所述静态模式或所述扫描模式中对所述计量目标执行计量测量，及基于对所述计量目标的所述计量测量产生所述样本的计量数据。述计量测量产生所述样本的计量数据。述计量测量产生所述样本的计量数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在扫描及静态模式中的敏感光学计量


[0001]本公开大体上涉及光学计量且更特定来说，涉及扫描及静态模式中的光学计量。

技术介绍

[0002]计量系统通常通过测量或否则检验跨样本分布的专属计量目标而产生与样本相关联的计量数据。此外，不同计量工具可经设计以使用不同技术检验计量目标。例如，一些计量工具可经设计以在计量目标在视场内为静态时检验目标。因此，此类工具可使用移动及测量(MAM)操作模式检验跨样本的多个计量目标，在所述MAM操作模式中平移样本以将所关注计量目标放置于测量视场内，在样本为静态时采取测量，且接着平移样本以将额外所关注计量目标放置于测量视场中。通过另一实例，一些计量工具可经设计以在样本处于运动(例如，扫描操作模式)中时检验计量目标。
[0003]对于更小半导体装置的需求增加导致对于准确及有效计量的需求对应地增加。然而，具有专属MAM或扫描模式的计量工具可提供跨样本分布的计量目标的无效检验。
[0004]另外，无关于操作模式，计量工具可使用一或多个光学配置(例如，照明光谱、偏光或类似者)检验特定计量目标且基于经组合检验产本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种计量系统，其包括：计量工具，其经配置以在其中样本上的一或多个计量目标在测量期间静止的静态模式中或其中一或多个计量目标在测量期间处于运动中的扫描模式中选择性地执行计量测量；及控制器，其通信地耦合到平移载物台及一或多个检测器中的至少一者，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收待检验的所述样本上的多个计量目标的位置；针对使用所述静态模式或所述扫描模式的检验指定所述多个计量目标；基于所述指定引导所述计量工具在所述静态模式或所述扫描模式中对所述多个计量目标执行计量测量；及基于对所述多个计量目标的所述计量测量产生所述样本的计量数据。2.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述一或多个处理器经配置以基于目标类型、目标位置、与所述多个计量目标中的一或多个额外计量目标的接近性或目标密度中的至少一者针对使用所述静态模式或所述扫描模式的检验指定所述多个计量目标。3.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述一或多个处理器经配置以将针对使用所述扫描模式的检验指定的至少一些所述多个计量目标分离成一或多个扫描群组，其中所述一或多个扫描群组中的特定扫描群组包含将在共同扫描中通过所述计量工具测量的所述多个计量目标中的至少两者。4.根据权利要求3所述的计量系统，其中所述一或多个处理器经配置以基于沿着扫描方向的目标密度中的至少一者将针对使用所述扫描模式的检验指定的至少一些所述多个计量目标分离成一或多个扫描群组。5.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述计量工具包含延时积分(TDI)传感器，其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行扫描模式测量：在曝光窗口期间使用来自照明源的照明使所述样本曝光；在所述曝光窗口期间使所述TDI传感器与所述样本的运动同步；及在所述样本的所述运动期间逐行产生图像。6.根据权利要求5所述的计量系统，其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行静态模式测量：在所述曝光窗口期间在所述样本为静态时使用来自所述照明源的所述照明使所述样本曝光而不对所述TDI传感器计时以传送电荷；及在所述样本未曝光于来自所述照明源的所述照明时，对所述TDI传感器计时以逐行传送电荷以产生图像。7.根据权利要求5所述的计量系统，其中所述计量工具进一步包含成像检测器；其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行静态模式测量：在所述曝光窗口期间在所述样本为静态时使用来自所述照明源的所述照明使所述样本曝光；及在所述曝光窗口之后使用所述成像检测器读出所述样本的图像。8.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述计量工具包括：多通道成像子系统，其经配置以在检测器的曝光窗口中循序提供用于使样本成像的N
个光学配置且在与所述曝光窗口相关联的所述检测器的读出阶段期间产生所述样本的N个图像，其中所述N个图像中的特定图像对应于所述N个光学配置中的特定光学配置。9.根据权利要求8所述的计量系统，其中所述检测器包括：延时积分(TDI)传感器，其用于扫描模式测量。10.根据权利要求9所述的计量系统，其中所述计量系统进一步包括：柱面透镜阵列，其经配置以将从所述样本发出的光引导到所述TDI传感器的每第N个像素行，其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行扫描模式测量：按所述TDI传感器的电荷传送速率平移所述样本；循序提供用于使所述样本成像的所述N个光学配置，其中所述多通道成像子系统的连续光学配置之间的切换时间对应于所述TDI传感器的所述电荷传送速率；使用所述TDI传感器在所述曝光窗口期间产生包含所述N个图像的交错图像；及将所述交错图像分离成所述N个图像。11.根据权利要求10所述的计量系统，其中所述计量系统进一步包括：狭缝阵列，其经定位以阻挡未由所述柱面透镜阵列照明的所述TDI传感器的像素行。12.根据权利要求9所述的计量系统，其中所述计量系统进一步包括：狭缝阵列，其经定位以将光传递到所述TDI传感器的每第N个像素行且阻挡所述TDI传感器的剩余像素行，其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行扫描模式测量：按所述TDI传感器的电荷传送速率平移所述样本；循序提供用于使所述样本成像的所述N个光学配置，其中所述多通道成像子系统的连续光学配置之间的切换时间对应于所述TDI传感器的所述电荷传送速率；使用所述TDI传感器在所述曝光窗口期间产生包含所述N个图像的交错图像；及将所述交错图像分离成所述N个图像。13.根据权利要求9所述的计量系统，其中所述检测器进一步包括：多分接头成像传感器，其用于静态模式测量，所述多分接头成像传感器具有两个或更多个合适分接头，其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行静态模式测量：当所述样本为静态时循序提供用于使所述样本成像的所述N个光学配置，其中所述多分接头成像传感器与所述多通道照明源同步使得所述两个或更多个分接头中的不同分接头在所述曝光窗口期间针对所述N个光学配置中的每一者接收电荷；及在读出阶段期间从所述多分接头成像传感器读出所述N个图像。14.一种计量方法，其包括：使用一或多个处理器接收待检验的样本上的多个计量目标的位置；使用一或多个处理器针对使用其中所述样本上的一或多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：