流量感测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了与流量感测装置相关联的方法和设备。示例性流量感测装置包括流动顶盖部件和传感器部件。该流动顶盖部件或该传感器部件可包括加热元件。该流动顶盖部件可至少部分地限定流动通道，该流动通道被构造成用于介质流过其中。该加热器元件可正交于或垂直于该流动通道。该传感器部件可包括设置在该加热器元件上游的至少一个热感测元件和设置在该加热器元件下游的至少一个热感测元件。该传感器部件可包括设置在该加热器元件的该上游方向或该下游方向上的两个或更多个热感测元件。热感测元件可与该加热器元件间隔开不同距离，以增加在低流量下的流量测量的准确度和精度。加在低流量下的流量测量的准确度和精度。加在低流量下的流量测量的准确度和精度。

【技术实现步骤摘要】
流量感测装置

技术介绍

[0001]流量传感器可用于测量移动液体或气体的流量和/或量，并且可在各种应用中实现。例如，流量传感器可以是用于测量和/或控制液体或气体的剂量的系统的一部分。
[0002]然而，现有流量传感器受到挑战和限制的困扰。例如，现有流量传感器无法使用具有小系统占地面积的微电子系统来提供低液体流量的准确且经济的测量。

技术实现思路

[0003]根据本公开的各种示例，可以提供示例性流量感测装置。
[0004]在一些示例中，示例性流量感测装置可包括流动顶盖部件和传感器部件。
[0005]在一些示例中，流动顶盖部件或传感器部件可包括设置在流动顶盖部件或传感器部件的第一层中的加热元件。
[0006]在一些示例中，传感器部件可包括设置在传感器部件的第二层中的至少一个热感测元件。
[0007]在一些示例中，所述流动顶盖部件可粘结到所述传感器部件的第一表面以形成流动通道。在一些示例中，所述第一层和所述第二层可以是非共面的并且由所述流动通道分开。在一些实施方案中，流动顶盖部件可完全限定流动通道。<br/>[0008]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流量传感器，包括：流动通道，所述流动通道被构造成通过其输送流体，所述流动通道沿第一轴线设置；加热元件，所述加热元件设置在所述流动通道附近，其中所述加热元件被构造成释放预先确定的量的热能，所述加热元件的中心沿至少基本上垂直于所述第一轴线的第二轴线设置；一个或多个第一热感测元件，所述一个或多个第一热感测元件被设置成沿所述第一轴线距所述加热元件的所述中心第一距离，其中所述一个或多个第一热感测元件的入口和出口之间的第一电压差的变化指示所述一个或多个第一热感测元件处的温度变化；和一个或多个第二热感测元件，所述一个或多个第二热感测元件被设置成沿所述第一轴线距所述加热元件的所述中心第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，其中所述一个或多个第二热感测元件的入口和出口之间的第二电压差的变化指示所述一个或多个第二热感测元件处的温度变化，其中所述流量传感器被构造成基于所述第一电压差和所述第二电压差的总和与通过所述流动通道的所述流体的流量之间的关联来确定通过所述流动通道的所述流体的所述流量。2.根据权利要求1所述的流量传感器，其中所述一个或多个第一热感测元件或所述一个或多个第二热感测元件包括下列中的至少一者：电阻器、电阻电桥、二极管、电阻惠斯通电桥、热电偶或热电堆。3.根据权利要求1所述的流量传感器，其中所述一个或多个第一热感测元件被设置成在相对于所述流动通道中所述流体的流动方向的上游方向上距所述加热元件的所述中心所述第一距离，其中所述一个或多个第二热感测元件被设置成在相对于所述流动通道中所述流体的所述流动方向的所述上游方向上距所述加热元件的所述中心所述第二距离，并且其中所述流量传感器还包括：一个或多个第三热感测元件，所述一个或多个第三热感测元件被设置成在相对于所述流动通道中所述流体的所述流动方向的下游方向上距所述加热元件的所述中心所述第一距离；和一个或多个第四热感测元件，所述一个或多个第四热感测元件被设置成在相对于所述流动通道中所述流体的所述流动方向的下游方向上距所述加热元件的所述中心所述第二距离。4.根据权利要求1所述的流量传感器，所述流量传感器还包括：传感器部件，所述传感器部件包括顶表面并且限定内腔体；和膜，所述膜设置在所述传感器部件的所述顶表面的一部分上，其中所述一个或多个第一热感测元件和所述一个或多个第二热感测元件设置在所述膜上或所述膜内，...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯科特，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：