能量射线管制造技术

本发明专利技术提供能够抑制内部空间的密封状态被破坏的能量射线管。能量射线管(3)具备框体部(40)、窗部(50)和密封部(70)。在框体部(40)形成有开口(40a)。窗部(50)从开口(40a)的开口方向观察时覆盖开口(40a)并且包含使能量射线透射的窗(53)。密封部(70)将窗部(50)相对于框体部(40)固定，并且密封由框体部(40)和窗部(50)包围的内部空间(R)。密封部(70)配置于窗部(50)中的沿开口(40a)的边缘的框状的区域(α)。当将区域(α)中的窗部(50)的厚度设为t，将区域(α)的宽度设为w，将从内部空间(R)的内侧至外侧的框体部(40)的厚度设为d时，满足w/d≥1和t/d≥0.3的关系式。≥1和t/d≥0.3的关系式。≥1和t/d≥0.3的关系式。

【技术实现步骤摘要】
能量射线管


[0001]本专利技术涉及一种能量射线管。

技术介绍

[0002]已知有照射或者入射能量射线的能量射线管(例如，专利文献1)。在专利文献1中，记载了一种放出能量射线的透射型的能量射线管。该能量射线管具备框体部和设置于框体部的窗部。窗部使能量射线透射。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2002
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042705号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]在能量射线管中，密封有框体部的内部空间。在上述能量射线管中，内部空间被保持为真空状态。但是，内部空间的密封状态存在由于因各种因素产生的应力而被破坏的风险。例如，在进行真空密封时，进行加热工序的情况较多。在该加热工序中，能量射线管被加热至高温后恢复到常温。此时，存在将窗部固定于框体部的固定部分产生由窗部与框体部的热膨胀系数之差引起的热应力的情况。该情况下，存在由于热应力，而在上述固定部分产生翘曲的风险。由于在上述固定部分发生翘曲，存在该固定部分破损，内部空间的密封状态被破坏的风险。例如，在制造时密封状态被破坏的话，可能会造成生产效率的降低。
[0008]本专利技术的一个方式的目的在于，提供能够抑制内部空间的密封状态被破坏的能量射线管。
[0009]用于解决技术问题的技术手段
[0010]本专利技术的一个方式中的能量射线管具备框体部、窗部和密封部。在框体部形成有开口并且包含划分开口的缘部。窗部从开口的开口方向观察时覆盖开口，并且包含使能量射线透射的窗。密封部将窗部固定于框体部，并且密封由框体部和窗部包围的内部空间。密封部配置于窗部中的沿开口的边缘的框状的区域。当将区域中的窗部的厚度设为t，将区域的宽度设为w，将缘部中的框体部的厚度设为d时，满足w/d≥1和t/d≥0.3的关系式。
[0011]在上述一个方式中，能量射线管具备将窗部固定于框体部的上述密封部。当能量射线管满足上述关系式时，内部空间的密封状态不容易被破坏。
[0012]在上述一个方式中，也可以为，密封部通过钎焊形成。该情况下，能够将内部空间在容易制造的结构中密封。
[0013]在上述一个方式中，也可以为，还具备框部，其沿开口的边缘设置并且通过熔接固定于框体部。也可以为，密封部固定窗部和框部。该情况下，能够容易地密封内部空间。
[0014]在上述一个方式中，也可以为，框部从开口的开口方向观察时在比窗部更近靠外侧的位置上固定于框体部。该情况下，框部和框体部能够容易地熔接。
[0015]在上述一个方式中，也可以为，窗部包含在开口的开口方向上与缘部相对的端部。该情况下，能够抑制窗部与框体部之间的移位。因此，内部空间的密封状态不容易被破坏。
[0016]在上述一个方式中，也可以为，满足0.5mm≤d≤20mm的关系式、0.5mm≤t≤10mm的关系式和1.0mm≤w≤20mm的关系式中的至少1个。
[0017]专利技术效果
[0018]本专利技术的一个方式能够提供能够抑制内部空间的密封状态被破坏的能量射线管。
附图说明
[0019]图1是表示本实施方式中的能量射线产生装置的截面图。
[0020]图2是表示能量射线管的截面图。
[0021]图3是表示能量射线管的一部分的图。
[0022]图4是能量射线管的局部放大图。
[0023]图5是表示能量射线管的制造工序的图。
[0024]图6是表示能量射线管的制造工序的图。
[0025]图7是用于说明施加到能量射线管的应力的图。
[0026]图8中的(a)～(c)是用于说明在比较例的能量射线管中在窗部产生的裂缝的图。
具体实施方式
[0027]以下，参照附图，对本专利技术的实施方式详细地进行说明。此外，在说明中，对相同要素或者具有相同功能的要素，标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0028]首先，参照图1和图2，对本实施方式中的能量射线管的结构进行说明。图1是表示本实施方式中的能量射线产生装置的结构的概略图。图2是本实施方式中的能量射线管的纵截面图。如图1和图2所示，能量射线产生装置100例如是照射X射线的X射线产生装置。X轴方向、Y轴方向、Z轴方向彼此正交。在本实施方式中，在Z轴方向上照射X射线。能量射线产生装置100具备装置壳体1、电源部2和能量射线管3。
[0029]装置壳体1具备筒构件10和电源部壳体20。筒构件10由金属形成。筒构件10呈在其一个端部形成有开口10a，并在另一个端部形成有开口10b的圆筒状。筒构件10在开口10a插入有能量射线管3的一部分。
[0030]在筒构件10的一个端部，抵接且利用螺纹件等固定有能量射线管3的安装凸缘3a。能量射线管3固定于筒构件10的开口10a，将开口10a密封。在筒构件10的内部，被封入有作为液状的电绝缘性物质的绝缘油11。
[0031]电源部2对能量射线管3供给电力。电源部2除了具有上述的电源部壳体20之外，还具有绝缘块21、升压电路22和控制基板23。电源部壳体20容纳绝缘块21、升压电路22和控制基板23。绝缘块21由塑模成型得到的固体的绝缘材料，例如作为绝缘树脂的环氧树脂构成。升压电路22被塑模于绝缘块21中。升压电路22产生高电压V。绝缘块21利用绝缘材料对升压电路22进行密封。控制基板23控制能量射线产生装置100的动作。控制基板23进行与能量射线的产生有关的控制。控制基板23例如进行对能量射线管3供给的电压或者电流的控制，并且控制升压电路22的驱动。控制基板23具有被塑模于绝缘块21中的内部基板23a和配置于绝缘块21的外部的外部基板23b。
[0032]在电源部2固定有筒构件10的另一个端部。由此，筒构件10的开口10b被密封，绝缘油11被气密地封入筒构件10的内部。开口10b位于开口10a的相反侧。
[0033]能量射线产生装置100还具备高电压供电部4。高电压供电部4配置于绝缘块21上。高电压供电部4包含与升压电路22和控制基板23电连接的圆筒状的套筒(socket)。能量射线管3经由高电压供电部4与电源部2电连接。并且，高电压供电部4以与升压电路22和控制基板23电连接的状态下被固定于绝缘块21。
[0034]能量射线管3是将在后述的内部空间R中产生的X射线照射到外部的X射线管。能量射线管3具备绝缘管6和头部7。绝缘管6由绝缘性材料形成。作为绝缘性材料，能够例举出例如玻璃、陶瓷等。绝缘管6例如由玻璃或者陶瓷构成。绝缘管6插入于筒构件10。头部7包含金属。作为金属材料，能够例举出例如不锈钢、可伐合金等。头部7例如由不锈钢或者可伐合金构成。绝缘管6和头部7形成内部空间R。内部空间R被密封成为真空空间。能量射线管3在内部空间R内还具备电子枪110。电子枪110在电位上相当于能量射线管3的阴极，产生并出射电子束B。
[0035]电子枪110被固定于绝缘管6。绝缘管6呈沿能量射线管3的管轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能量射线管，其中，具备：框体部，其形成有开口，并且包含划分所述开口的缘部；窗部，其从所述开口的开口方向观察时覆盖所述开口，并且包含使能量射线透射的窗；以及密封部，其将所述窗部固定于所述框体部，并且密封由所述框体部和所述窗部包围的内部空间，所述密封部配置于所述窗部的表面中的沿所述开口的边缘的框状的区域，当将所述缘部中的所述框体部的厚度设为d，将所述区域中的所述窗部的厚度设为t，将所述区域的宽度设为w时，满足w/d≥1和t/d≥0.3的关系式。2.如权利要求1所述的能量射线管，其中，所述密封部通过钎焊形成。3.如权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉浦银治，清水亮迪，石井淳，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：