流动室、包括该流动室的流动纳米颗粒测量设备和测量方法技术

本申请公开了流动室、包括该流动室的流动纳米颗粒测量设备和测量方法。所述流动室包括：主流动部，所述主流动部被配置成在一个方向上从一端延伸并通向另一端，脉冲激光束辐照到所述主流动部，所述主流动部包括液态样本在其中流动的流动空间；入口引导部，所述入口引导部在与所述一个方向不同的方向上连接到所述主流动部并且被配置成引导所述液态样本进入所述主流动部中；以及出口引导部，所述出口引导部在与所述一个方向不同的方向上连接到所述主流动部并且被配置成引导所述液态样本从所述主流动部排出。从所述主流动部排出。从所述主流动部排出。

【技术实现步骤摘要】
流动室、包括该流动室的流动纳米颗粒测量设备和测量方法
[0001]本申请要求2020年10月20日递交的韩国专利申请No.10
‑
2020
‑
0136219的优先权权益，该韩国专利申请出于所有目的通过引用并入本文，就像在本文中完全阐述一样。


[0002]本专利技术涉及流动室和包括该流动室的流动纳米颗粒测量设备。更具体地，本专利技术涉及用于测量流动样本中存在的微量纳米颗粒的测量设备。
[0003]本专利技术涉及高灵敏度检测方法，该方法能够在分析处于具有流速的状态下的高纯度化学品(诸如液态化学品，即溶剂)时检测小于或等于100nm的具有ppt水平的低浓度的样本。本专利技术涉及测量设备，该测量设备收集和分析通过由具有特定能量的光源从纳米级颗粒生成诱导等离子体而生成的信号。

技术介绍

[0004]在需要高精度的产品(诸如显示器和半导体)的制造工艺中使用的各种有机和无机化学品需要比当前更高纯度的化学品，以防止产量降低，并且已经开发并新应用了高水平分析技术，以检查高纯度化学品的质量。其中，颗粒分析的重要性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流动室，包括：主流动部，所述主流动部形成为在一个方向上从一端延伸并通向另一端，脉冲激光束辐照到所述主流动部，所述主流动部包括液态样本在其中流动的流动空间；入口引导部，所述入口引导部在与所述一个方向不同的方向上连接到所述主流动部并且被配置成引导所述液态样本进入所述主流动部中；以及出口引导部，所述出口引导部在与所述一个方向不同的方向上连接到所述主流动部并且被配置成引导所述液态样本从所述主流动部排出。2.如权利要求1所述的流动室，还包括：透射部，所述透射部具有暴露于所述流动空间的透射面，其中，所述脉冲激光束穿过所述透射面并朝向所述流动空间行进。3.如权利要求2所述的流动室，其中，所述透射部位于所述主流动部的所述一端或所述另一端，以及其中，所述脉冲激光束在所述一个方向上行进，穿过所述透射面，并辐照到所述主流动部。4.如权利要求2所述的流动室，其中，所述主流动部包括流动路径形成面，所述流动路径形成面连接到所述透射面，在所述一个方向上延伸，并形成所述液态样本的流动路径，以及其中，所述入口引导部和所述出口引导部连接到所述流动路径形成面并且位于所述脉冲激光束的路径之外。5.如权利要求4所述的流动室，其中，所述入口引导部和所述出口引导部在不同的方向上连接到所述流动路径形成面。6.如权利要求4所述的流动室，其中，所述流动路径形成面的一端位于所述主流动部的所述一端，其中，所述流动路径形成面的另一端位于所述主流动部的所述另一端，以及其中，所述入口引导部和所述出口引导部分别连接到所述流动路径形成面的所述一端和所述另一端并且使用所述主流动部作为轴在周向方向上彼此间隔开。7.如权利要求4所述的流动室，其中，所述流动路径形成面的一端位于所述主流动部的所述一端，其中，所述流动路径形成面的另一端位于所述主流动部的所述另一端，其中，所述入口引导部从所述流动路径形成面的所述一端延伸并位于所述流动室的正面的后面，以及其中，所述出口引导部从所述流动路径形成面的所述另一端延伸并位于所述流动室的所述正面的后面。8.如权利要求4所述的流动室，其中，所述流动路径形成面包括在所述一个方向上延伸的弯曲表面。9.如权利要求4所述的流动室，还包括：位于所述主流动部的前面的窗口，其中，所述窗口包括观察面，所述观察面形成所述流动路径形成面的至少一部分并暴露于所述流动空间。
10.如权利要求9所述的流动室，其中，所述流动路径形成面还包括内表面，所述内表面面向所述观察面并形成从所述主流动部向后凹进的弯曲形状。11.如权利要求9所述的流动室，其中，所述透射面位于所述窗口后面。12.如权利要求1所述的流动室，其中，所述入口引导部的内径大于或等于所述出口引导部的内径。13.如权利要求12所述的流动室，其中，所述入口引导部的内径与所述出口引导部的内径的比率为1:1至2:1。14.如权利要求2所述的流动室，其中，所述透射部包括石英材料。15.一种流动纳米颗粒测量设备，包括：激光发生器，所述激光发生器被配置成生成脉冲激光束；以及流动室，所述脉冲激光束入射在所述流动室上，其中，所述流动室包括：主流动部，所述主流动部形成为在一个方向上从一端延伸并通向另一端，所述脉冲激光束辐照到所述主流动部，所述主流动部包括液态样本在其中流动的流动空间；入口引导部，所述入口引导部在与所述一个方向不同的方向上连接到所述主流动部并且被配置成引导所述液态样本进入所述主流动部中；以及出口引导部，所述出口引导部在与所述一个方向不同的方向上连接到所述主流动部并且被配置成引导所述液态样本从所述主流动部排出。16.如权利要求15所述的流动纳米颗粒测量设备，其中，所述流动室还包括透射部，所述透射部具有暴露于所述流动空间的透射面，其中，所述透射部位于所述主流动部的所述一端或所述另一端，以及其中，所述脉冲激光束在所述一个方向上行进，穿过所述透射面，并辐照到所述主流动部。17.如权利要求16所述的流动纳米颗粒测量设备，其中，所述主流动部包括流动路径形成面，所述流动路径形成面连接到所述透射面，在所述一个方向上延伸，并形成所述液态样本的流动路径，以及其中，所述入口...

【专利技术属性】
技术研发人员：金永勋，吴受莲，崔政珉，韩盛弼，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：