减压干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种能够提高基板的品质的减压干燥装置。减压干燥装置通过减压使在第一面附着有处理液的基板干燥，减压干燥装置具有腔室、支撑部、排气部以及加热部。腔室具有容纳基板的处理空间。支撑部在处理空间中以使第一面朝向上方的状态支撑基板的与第一面相反一侧的第二面。排气部通过从处理空间排出气体来使处理空间内减压。加热部从腔室外部对支撑于支撑部的基板进行加热。于支撑部的基板进行加热。于支撑部的基板进行加热。

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置


[0001]本技术涉及一种通过减压来使附着有处理液的基板干燥的技术。

技术介绍

[0002]以往，在半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示器(PDP)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、滤色器用基板、记录盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板的制造工序中，为了使涂敷在基板上的处理液干燥，使用减压干燥装置(例如，专利文献1等)。该减压干燥装置通过对容纳基板的腔室的内部进行减压，能够使附着在基板上的处理液干燥。
[0003]在专利文献2中，记载了一种减压干燥装置，其包括：腔室，通过使盖部经由O形环与基座部接触来形成密闭的处理空间；支撑部，具有在该腔室内对载体玻璃板等基板进行支撑的多个支撑销；加热部，包括水平安装于基座部的上方的加热板和安装于盖部的橡胶加热器；减压单元，通过从基座部的底板部的开口排气来对处理空间进行减压；以及供气单元，向处理空间供给氮气等非活性气体(例如，参照专利文献2的图2等)。在该减压干燥装置中，通过贯通基座部和加热板并凸出设置于基座部的处理空间的各支撑销的头部与基板的下表面抵接，基板被水平地支撑，并且在向处理空间搬入基板或从处理空间搬出基板时支撑部上升，而在干燥基板上的处理液时支撑部下降。在具有这样的结构的减压干燥装置中，通过使加热部的加热和处理空间的减压并行执行，来促进基板上的处理液中的液体成分的气化。
[0004]专利文献1：日本特开平7
‑
283108号公报
[0005]专利文献2：日本特开2018
‑/>40512号公报
[0006]然而，在上述专利文献2所公开的减压干燥装置中，例如，当加热部对基板进行加热时，因热膨胀等而使构成加热板的多个构件之间相互摩擦以及加热板与其周边部之间发生摩擦等，从而可能会产生灰尘。另外，例如，当支撑部升降时，因多个支撑销与加热板之间的摩擦而可能会产生灰尘。在此，例如，若为了对升降的支撑部与腔室的基座部之间进行密闭而设置有波纹管等，则可能在多个支撑销和波纹管等堆积灰尘。另外，例如，由于设有用于使支撑部升降的结构和驱动机构等，因此难以设置用于加热基座部的结构，从而来自在腔室内被加热的处理液的升华物易于在基座部的内表面冷却而成为附着物。因此，例如，在向减压后的处理空间内供给非活性气体时，可能由基座部的内表面的附着物产生颗粒。在此，例如，由于腔室内产生的灰尘和颗粒附着于基板，因此基板可能会被污染。其结果，难以将腔室内的灰尘和颗粒的产生数量和产生率降低至规定值以下，从而可能会使基板的品质降低。
[0007]另外，例如，通过利用加热板从接近基板的下表面(背面)的位置对基板进行加热，由于在加热板上设有供多个支撑销贯通的多个贯通孔等，因此基板上的处理液的干燥可能会产生不均匀(转印不均匀)。由此，例如，可能会使基板的品质降低。

技术实现思路

[0008]本技术鉴于上述课题而提出，其目的在于，提供一种能够提高基板的品质的减压干燥装置。
[0009]为了解决上述问题，第一方式的减压干燥装置，通过减压来使在第一面附着有处理液的基板干燥的装置，所述减压干燥装置具有腔室、支撑部、排气部以及加热部。所述腔室具有容纳所述基板的处理空间。所述支撑部在所述处理空间以使所述第一面朝向上方的状态支撑所述基板的与所述第一面相反一侧的第二面。所述排气部通过从所述处理空间排出气体来使所述处理空间内减压。所述加热部从所述腔室外部对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热。
[0010]第二方式的减压干燥装置，在第一方式的减压干燥装置的基础上，所述加热部包括：第一加热部分，从所述腔室的上方对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热；以及第二加热部分，从所述腔室的下方对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热。
[0011]第三方式的减压干燥装置，在第二方式的减压干燥装置的基础上，所述加热部包括从所述腔室的侧方对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热的第三加热部分。
[0012]第四方式的减压干燥装置，在第一至第三中的任一个方式的减压干燥装置的基础上，所述减压干燥装置包括控制部，所述控制部通过控制所述加热部和所述排气部，来使所述加热部对所述基板的加热和所述排气部对所述腔室内的减压并行执行。
[0013]第五方式的减压干燥装置，在第一至第四中的任一个方式的减压干燥装置的基础上，所述腔室包括彼此能够接触或分离的第一腔室部分和第二腔室部分，所述第二腔室部分位于所述第一腔室部分的上方，所述支撑部安装于所述第一腔室部分，所述减压干燥装置还包括驱动部，所述驱动部通过使所述第一腔室部分和所述第二腔室部分彼此接触来关闭所述处理空间，通过使所述第一腔室部分和所述第二腔室部分彼此分离来打开所述处理空间。
[0014]第六方式的减压干燥装置，在第五方式的减压干燥装置的基础上，所述支撑部包括与所述第二面接触的接触部分，所述接触部分配置于在上下方向上比所述第一腔室部分的上端更高的位置。
[0015]第七方式的减压干燥装置，在第一至第六中的任一个方式的减压干燥装置的基础上，所述减压干燥装置具有整流板，所述整流板在所述处理空间内的所述支撑部的下方沿水平方向配置。
[0016]第八方式的减压干燥装置，在第七方式的减压干燥装置的基础上，所述腔室具有排气口，所述排气口位于所述整流板的下方并与所述排气部连接。
[0017]根据第一方式的减压干燥装置，例如，由于在腔室内未设有加热部，因此能够降低腔室内的灰尘产生。由此，例如，在减压干燥装置中基板难以被污染。其结果，例如，能够提高基板的品质。
[0018]根据第二方式的减压干燥装置，例如，通过从上方和下方对基板进行加热，能够更均匀地加热基板。由此，例如，附着有处理液的基板难以产生干燥不均匀。其结果，例如，能够提高基板的品质。
[0019]根据第三方式的减压干燥装置，例如，通过从侧方对基板进行加热，由处理液内的成分产生的升华物难以附着在腔室的内表面。由此，例如，难以产生来自腔室的内表面的附
着物的颗粒。其结果，例如，能够提高基板的品质。
[0020]根据第四方式的减压干燥装置，例如，通过使基板的加热和腔室内的减压并行进行，能够使附着有处理液的基板迅速地干燥。
[0021]根据第五方式的减压干燥装置，例如，能够访问腔室内的开口变大，从而能够容易地向腔室内搬入基板和从腔室内搬出基板。另外，例如，能够使腔室内的维护变得容易。
[0022]根据第六方式的减压干燥装置，例如，能够容易地向腔室内搬入基板和从腔室内搬出基板。
[0023]根据第七方式的减压干燥装置，例如，通过设置整流板来控制腔室内的气流，从而附着有处理液的基板上难以产生干燥不均匀。其结果，例如，能够提高基板的品质。
[0024]根据第八方式的减压干燥装置，例如，由于排气口位于从基板的表面沿着整流板的下表面流动的气流聚集的位置，因此，由处理液内的成分产生的升华物易于经由排气口排出。由此，例如，由处理液内的成分产生的升华物难以附着在腔室的内表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，通过减压使在第一面附着有处理液的基板干燥，其中，所述减压干燥装置具有：腔室，具有容纳所述基板的处理空间；支撑部，在所述处理空间中以使所述第一面朝向上方的状态支撑所述基板的与所述第一面相反一侧的第二面；排气部，通过从所述处理空间排出气体来使所述处理空间内减压；以及加热部，从所述腔室的外部对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热。2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其中，所述加热部包括：第一加热部分，从所述腔室的上方对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热；以及第二加热部分，从所述腔室的下方对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热。3.根据权利要求2所述的减压干燥装置，其中，所述加热部包括从所述腔室的侧方对支撑于所述支撑部的所述基板进行加热的第三加热部分。4.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其中，所述减压干燥装置包括控制部，所述控制部通过控制所述加热部和所述排气部，来使所述加热部对所述基板的加热和...

【专利技术属性】
技术研发人员：大森雅文，佐藤隆行，芳川典生，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：新型
国别省市：