一种传感器阵列及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供一种传感器阵列及其制备方法和应用，所述传感器阵列包括依次设置的柔性衬底、第一电极层、第一保护层、第二电极层和传感层；所述第二电极层包括依次设置的第一粘附层、过渡层、第二粘附层和电极保护层。所述传感器阵列通过对结构的特殊设计以及对制备工艺的优化，使得所述传感器阵列兼具高密度、信号感知灵敏度高和失效率低等优点，为传感器阵列的设计和制备提供了一种新的思路，具有重要意义。义。义。

【技术实现步骤摘要】
一种传感器阵列及其制备方法和应用


[0001]本专利技术属于传感器
，具体涉及一种传感器阵列及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]随着科技的发展和现代化水平的不断提升，人们对健康医疗和智能交互的需求水平也越来越高；在医疗健康领域，通过可穿戴、可贴敷甚至可植入等方式获取心跳、脉搏、血压、呼吸等生理指标，是目前对身体健康水平监测的常用方法，检测信号的准确性、植入设备的生物安全性以及佩戴舒适性成为人们最为关注的几个问题；因此在健康医疗和人机交互和等领域的应用中，传感器除了必须具有较好的柔性来适应各种动作，还必须能够感知压力、湿度、温度等参数，以通过识别各类环境信息，来调节自身状态，完成各种复杂的任务。
[0003]柔性传感器由于其所使用的材料具有无毒无害且可以与生物体等柔性系统兼容的特点，成为目前传感器领域研究的焦点。CN210774448U公开了一种柔性压力传感器，包括柔性的基底，所述基底上设置有压力传感器阵列；所述压力传感器阵列包括均布在基底上的多个压力传感芯片，所述基底上还设置有行电极阵列和列电极阵列，行电极阵列包括与压力传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器阵列，其特征在于，所述传感器阵列包括依次设置的柔性衬底、第一电极层、第一保护层、第二电极层和传感层；所述第二电极层包括依次设置的第一粘附层、过渡层、第二粘附层和电极保护层。2.根据权利要求1所述的传感器阵列，其特征在于，所述柔性衬底的厚度0.5～20μm；优选地，所述柔性衬底的材料包括聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯或聚对二甲苯中的任意一种。3.根据权利要求1或2所述的传感器阵列，其特征在于，所述第一电极层包括插齿电极和导线；优选地，每个所述插齿电极之间的连接方式为串联和/或并联；优选地，所述插齿电极包括铬层和金层的组合；优选地，所述铬层的厚度为5～15nm；优选地，所述金层的厚度为45～100nm；优选地，所述第一电极层的厚度为50～200nm。4.根据权利要求1～3任一项所述的传感器阵列，其特征在于，所述第二电极层和所述传感层之间还设置有第二保护层；优选地，所述第一保护层和第二保护层的材料与所述柔性衬底的材料相同；优选地，所述第一保护层和第二保护层的厚度各自独立地为0.5～3μm。5.根据权利要求1～4任一项所述的传感器阵列，其特征在于，所述第二电极层与所述第一保护层的厚度比为1:(2～10)；优选地，所述第一粘附层的材料包括铬或钛；优选地，所述过渡层的材料包括铜或铝；优选地，所述第二粘附层的材料包括铬或钛；优选地，所述电极保护层的材料包括金或铂；优选地，所述第一粘附层的厚度为10～20nm；优选地，所述过渡层的厚度为200～500nm；优选地，所述第二粘附层的厚度为10～30nm；优选地，所述电极保护层的厚度为20～100nm；优选地，所述第二电极层包括依次设置的第一铬层、铜层、第二铬层和金层。6.根据权利要求1～5任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张珽，陆骐峰，孙富钦，王子豪，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：