【技术实现步骤摘要】
一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液回收处理方法
[0001]本专利技术涉及一种电子酸废液及硫酸生产过程中产生的烟气综合处理领域，具体涉及一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液回收处理方法。
技术介绍
[0002]湿电子化学品
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电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，也应用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和电镀清洗。
[0003]申请人为一家专门生产电子酸、各种含量硫酸的化工企业，目前所销售的电子酸主要用于电子芯片的蚀刻、清洗过程使用电子级硫酸进行清洗，之后产生的电子酸废液目前国内还没有合理的回收办法，为提高公司产品的竞争力，申请人对已售出、已使用的电子酸废液回收进一步提高酸的利用率。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种电子酸废液与烟气不必单独处理的电子酸废液与烟气协同回收处理方法，通过本方法可以回收电子酸废液及烟气中的三氧化硫、二氧化...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子酸废液回收处理方法，其特征在于：包括如下步骤：
①
电子酸废液与烟气在蓄电池硫酸生产模块中的协同处理过程如下：将预处理后的电子酸废液分别输送到蓄电池硫酸吸收塔底部装有浓硫酸的循环槽Ⅰ及尾气吸收塔底部装有稀硫酸的循环槽Ⅱ内，将循环槽Ⅰ内的酸液从蓄电池硫酸吸收塔顶部打入蓄电池硫酸吸收塔内，与此同时，将硫酸装置产出的含三氧化硫和二氧化硫的烟气从填料层Ⅰ与循环槽Ⅰ之间的蓄电池硫酸吸收塔外通入进入到蓄电池硫酸吸收塔内，酸液经塔内分酸器使得酸液均匀分布后，依靠自身重力流经塔内的填料层Ⅰ与烟气逆向接触，三氧化硫与浓硫酸中的水反应生成的硫酸落回循环槽Ⅰ；
②
电子酸废液与尾气在尾气回收模块中的协同处理过程如下：上述步骤中反应后的含有二氧化硫的尾气由蓄电池硫酸吸收塔上部排出通过管道从循环槽Ⅱ通入到尾气吸收塔内，通过离心泵将循环槽Ⅰ内的酸液从尾气吸收塔顶部打入蓄电池硫酸吸收塔内，在填料层Ⅱ中尾气中的二氧化硫与电子酸废液中的双氧水反应生成的硫酸落回循环槽Ⅱ。2.根据权利要求1所述的一种电子酸废液回收处理方法，其特征在于：电子酸废液来源于电子芯片蚀刻、清洗过程使用电子级硫酸清洗使用后的废液。3.根据权利要求2所述的一种电子酸废液回收处理方法，其特征在于：通过向循环槽Ⅱ加入脱盐水来降低、控制酸液浓度。4.根据权利要求1
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3任一项所述的一种电子酸废液回收处理方法，其特征在于：对电子酸废液预处理前进行如下步骤：(1)将电子酸废液...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁永和，崔鹏慧，
申请(专利权)人：天津环渤新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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