【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体炉的全自动电控柜
[0001]本技术涉及晶体炉
,具体为一种用于晶体炉的全自动电控柜。
技术介绍
[0002]硅是目前最主要的半导体结构元件的基础,利用外来原子进行掺杂,能够获得一定的电性能,在全自动晶体生长炉内部熔炼晶体,使得硅与其他物质掺杂,方便制作硅晶体。
[0003]在公告号CN211420365U中公开了一种全自动晶体生长炉,包括底晶体炉、制冷机、第一高温电机、第二高温电机、控制机柜和炉压控制器,底晶体炉的内侧设置有保温桶,且保温桶的内侧设置有加热器,底晶体炉的内部下表面焊接有位于加热器内侧的侧板,且侧板的外侧设置有冷却管,并且冷却管的内端连接有喷头,制冷机位于底晶体炉的右侧,冷却管的内侧底端设置有安装横板,且安装横板的左端贯穿有垂直焊接在底晶体炉内部下表面的限定杆,第一高温电机安装在安装横板的下表面,且第一高温电机的输出端连接有坩埚,第二高温电机安装在底晶体炉的底端,且第二高温电机的输出端连接有丝杆,底晶体炉的上方设置有分段体,且分段体的外侧焊接有固定盘,并且分段体的顶端安装有炉盖,控制 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶体炉的全自动电控柜,其特征在于,包括:晶体炉(11),以及设于固定面(1)上的电控机柜(2),所述电控机柜(2)的前端设有显示屏(21)、按钮(22),所述电控机柜(2)的右端设有耐撞防护组(4),所述耐撞防护组(4)由固定座(5)、转轴(51)、防护罩(41)、螺栓销(7)、密封条(6)组成,所述固定座(5)设于电控机柜(2)的右端,所述转轴(51)转动设于固定座(5)上,所述防护罩(41)设于转轴(51)上,所述螺栓销(7)插设于防护罩(41)上,密封条(6)设于防护罩(41)的前端。2.根据权利要求1所述的一种用于晶体炉的全自动电控柜,其特征在于:所述防护罩(41)的侧端面上开设有气孔(42),所述气孔(42)内设有阻水透气层(43)。3.根据权利要求2所述的一种用于晶体炉的全...
【专利技术属性】
技术研发人员:张硕,吕亚辉,
申请(专利权)人:保定卓为电气有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。