一种用于晶体炉的全自动电控柜制造技术

技术编号:33265295 阅读:29 留言:0更新日期:2022-04-30 23:18
本实用新型专利技术公开了一种用于晶体炉的全自动电控柜,包括晶体炉,以及设于固定面上的电控机柜,电控机柜的前端设有显示屏、按钮,电控机柜的右端设有耐撞防护组,耐撞防护组由固定座、转轴、防护罩、螺栓销、密封条组成,固定座设于电控机柜的右端,转轴转动设于固定座上,防护罩设于转轴上,螺栓销插设于防护罩上,密封条设于防护罩的前端。避免在晶体炉使用过程中造成外部直接碰撞到按钮而出现发送错误的控制指令,进而保证了晶体炉以及电控机柜的正常使用,避免由于内外温差造成防护罩内壁产生雾气而影响观察被密封罩住的显示屏上内容,提高了电控机柜的散热效率,保证电控机柜对于晶体炉的正常控制工作。炉的正常控制工作。炉的正常控制工作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体炉的全自动电控柜


[0001]本技术涉及晶体炉
,具体为一种用于晶体炉的全自动电控柜。

技术介绍

[0002]硅是目前最主要的半导体结构元件的基础,利用外来原子进行掺杂,能够获得一定的电性能,在全自动晶体生长炉内部熔炼晶体,使得硅与其他物质掺杂,方便制作硅晶体。
[0003]在公告号CN211420365U中公开了一种全自动晶体生长炉,包括底晶体炉、制冷机、第一高温电机、第二高温电机、控制机柜和炉压控制器,底晶体炉的内侧设置有保温桶,且保温桶的内侧设置有加热器,底晶体炉的内部下表面焊接有位于加热器内侧的侧板,且侧板的外侧设置有冷却管,并且冷却管的内端连接有喷头,制冷机位于底晶体炉的右侧,冷却管的内侧底端设置有安装横板,且安装横板的左端贯穿有垂直焊接在底晶体炉内部下表面的限定杆,第一高温电机安装在安装横板的下表面,且第一高温电机的输出端连接有坩埚,第二高温电机安装在底晶体炉的底端,且第二高温电机的输出端连接有丝杆,底晶体炉的上方设置有分段体,且分段体的外侧焊接有固定盘,并且分段体的顶端安装有炉盖,控制机柜位于制冷机的右侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体炉的全自动电控柜,其特征在于,包括:晶体炉(11),以及设于固定面(1)上的电控机柜(2),所述电控机柜(2)的前端设有显示屏(21)、按钮(22),所述电控机柜(2)的右端设有耐撞防护组(4),所述耐撞防护组(4)由固定座(5)、转轴(51)、防护罩(41)、螺栓销(7)、密封条(6)组成,所述固定座(5)设于电控机柜(2)的右端,所述转轴(51)转动设于固定座(5)上,所述防护罩(41)设于转轴(51)上,所述螺栓销(7)插设于防护罩(41)上,密封条(6)设于防护罩(41)的前端。2.根据权利要求1所述的一种用于晶体炉的全自动电控柜,其特征在于:所述防护罩(41)的侧端面上开设有气孔(42),所述气孔(42)内设有阻水透气层(43)。3.根据权利要求2所述的一种用于晶体炉的全...

【专利技术属性】
技术研发人员:张硕吕亚辉
申请(专利权)人:保定卓为电气有限公司
类型:新型
国别省市:

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