【技术实现步骤摘要】
一种环形光斑激光清洗系统
[0001]本申请属于激光清洗加工
,尤其涉及一种环形光斑激光清洗系统。
技术介绍
[0002]目前,蒸发镀膜技术已经非常的成熟,国内外的相关制造商都在使用。真空蒸发镀膜技术具有简单便利、操作方便、成膜速度快等特点,是应用广泛的镀膜技术,被应用于光学元器件、LED、平板显示、半导体行业以及光伏产业等的镀膜。
[0003]蒸发镀膜的过程中,除了产品表面的正常镀膜之外,镀膜挡板会逐渐地覆盖一层镀膜材料。镀膜挡板上的镀膜材料积累到一定厚度之后,就必须进行清洗,否则会影响产品质量。目前,行业内的清洗方法主要由两种,一是对挡板进行辊压之后的喷砂清洗,这种清洗方式,耗时费事,污染环境,损坏挡板基材。二是化学试剂清洗,清洗污染严重。
技术实现思路
[0004]本申请实施例提供一种环形光斑激光清洗系统,以解决现有的蒸发镀膜金属挡板的清洗方式存在效率低、污染环境和损伤挡板基材的问题。
[0005]第一方面,本申请实施例提一种环形光斑激光清洗系统,用于清洗工件表面的镀膜金属,包括:r/>[0006]清本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种环形光斑激光清洗系统,用于清洗工件表面的镀膜金属,其特征在于,包括:清洗平台,包括至少两台清洗工位,所述至少两台清洗工位分别用于固定待清洗的工件;环形光斑激光器,用于同时发出脉冲激光和连续激光,所述脉冲激光和所述连续激光作用于所述工件上,以清洗所述工件;激光清洗头,与所述环形光斑激光器连接;吸尘净化组件,包括若干吸取部和净化器,所述吸取部和净化器连通,所述吸取部的数量与所述清洗工位的数量对应,所述吸取部位于所述清洗工位一侧;水冷机,用于给所述环形光斑激光器和所述激光清洗头降温;控制系统,分别与所述环形光斑激光器、所述激光清洗头、所述净化器和所述水冷机连接,用于控制所述环形光斑激光器与所述激光清洗头连通。2.根据权利要求1所述的环形光斑激光清洗系统,其特征在于,还包括机械手,所述机械手与所述激光清洗头连接,所述控制系统与所述机械手连接,用于控制所述机械手按照预设的轨迹带动所述激光清洗头移动。3.根据权利要求2所述的环形光斑激光清洗系统,其特征在于,所述控制系统用于控制所述机械手带动所述激光清洗头循环清洗所述至少两台清洗工位上的工件。4.根据权利要求3所述的环形光斑激光清洗系统,其特征在于,所述控制系统用于控制所述机械手驱动所述激光...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘亚辉,汪军,张春芳,卢昆忠,闫大鹏,
申请(专利权)人:武汉锐科光纤激光技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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